2019年薄膜太阳能电池工厂设计标准

1、前言1和标隔根据住房曲【城乡建设部直关于甲发£缨1i年工程建设标准规范制订3修订计划的通知:M逢标要求，由工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站.中国电子工程设计皖有限公司和世源科技工程有限公司会同有关单位编制而赵在本揃准的編制过程中.编制组经广眨调杵研究在总结国內右关薄膜文阳能电池绡件的住严单位、设计单位和施工单值的宴践经验借鉴有关国际标准和阿外先进标准的基础L-广泛征求相关单位的意见.反复修改+堆庙经审査定稿0本标褴井分12章和1个附录，王耍技术内容包括息则术语，基本规韌送障會涯瓠结构，德动力，供暫通凤、空气调节与浄彳匕给水排水、电气、节能等。壽轆啊黑休字标志的条文

2、旳强制杵条丈、必须严稱执行木标准由住馬和城乡建设部员夷官理和对强制性条文的解释+由工业和信息化部负责日帮管理由中国电子工程设计院有限公可和世源科技工程有限公司旬责具体技术内容的解释.本标淮在执行过程中，晴各单位结合工程集践认真总结经验.积累资料,如发现需耍修改或补充之处-溝将有关意见、建议和#1关従料寄交中国电于工程设计院有限公司（地址：北京市海餐區西四环北路玮0号.邮政编码=10014）,供令后修订时参瓠木标淮主编草位*塞编.单位*主要起人咬主要审査人：主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定飄站中国电于工稈试计院有限公司世源科技工程有限会同参编单拉：仃息产业电子第十一设计

3、研究院科技工程股悅有限公司匸海电子工程说计硏究院有限公司汉能移动能源控加秦团冇限公司主要起草人：李强罗桥李弟生秦学礼同向荣肖红梅夏双练张灭逸洪明朱紘文周锦涛赵玉妍杜宝霜癘花郭振聘主要审查人：徐征申云江张索帖伍稚华何健E张阳畅佚荣髙那称文华(1)12344.1一般规定4.3工艺区划4.设铮陀置5.1厂址选择5.36t1一般规疋5.2恵平面7.I一般规疋7.2结构方枭气体动力(21)(4)t4)4)(5)(5(i)(G)(6、(7)(7)(8)(8(8)(3)(10)(ID)(10)(It)(12)(12>(1?)*8.3擀帥岂体拱应8.压墙空气H,5工艺直空和肯扫直空9供啖、通风，空气调节

4、与球化乩I-般规定(14)I15)W9.8供暧、逋风与废气处理9.3空气调节与浄化艮1防烟排烟10給水排水10.I一址规定(19)(20)(21'10.4工艺冷却術艸水fv«10.5墟水10.&消防一“匕.电r.品S“11L供电系统t10.2给水挪水10,3纯水(21)(22)<25)(25)<爲)(261(28)(29J(33)(31)(35)11.2低压配电肚电吒縣明H.3倍魁4自栓ILI阴宙按地1E节能附录A薄膜太阳能迪他典世生产工艺流程木标准用词说明引用标准名录.2234-L4.14536(ID10IDID312124.16.2ArchitectL

5、iraldesign5.3VertiuldusifiiiAX】，5,IIr;.rJi'Or7iiliz?iLLUEiContentsPrimitiveprovisionsGeneeilrequirements4.2BiiwicaJ4飞ProcessdesignJX31:PrMtKs.l-ayoutu小，卄Ekiuipnitni:ccnfigumtion-Sitedesign3,I錘血酗。送5.2Sitemacrplanp,T_StructuriFildesign7,1(lerie訂1requiremtinis7.3Micro-vibrationcontrolGases&unli

6、tiesK,1(andhealinsourcie8.2Bulk百抚忙亡吕supply(6>(9>(12)(Sene舀1reciuirementsFireproteeTion3Interiofinisliing7,2SLrucLijraldesignGeneralprovisions+Terms8.3Specifilgasessupply(14)t'ompri.'HsuJ-HirsupplyProcesssndliQtisccJcaninvacuLtmB,59Heating,vcniibition*aircontlitioningandulcnning9,I(M

7、9;nrr?ilrcciiiirrrtiL'THs(17)19)(20)(21)(23)(24)(25)(25)(25)9.2HeatingandventilationFtndwfistcj：H5trctitnirm9.3AirccmdilinninftfindcliFliinf；9.1Smokeventing1(JWalersupplyfind<lrain;ig(21)10.110.210,310.410.510.6jtneralretuirenietnsWatersupplymncltlraitiitgelurcWAicrProcessinRwaterWaStCWfltilF

8、卜irerxlinEuiThing11ElectricaldesignIL11.2FewersupplysysiempowersupplyandHXhiationITautomaticcon«rol(26)11.4Lightningprotectionandgrounding!八12EnergysiiviAppendixATypicalprocessflowsofilini-filnisolarcells(28)(29)Ex卩IfniHiicnofwordiuinthissLFinclHrtListofcjuotedstanchirds*(34)(35)1总则1.0.t为规范曲膜丈阳

9、能电池厂设计.提髙孩类工程的蛙计水平达到节约能源保护环境、技术先进、鏡挤合卵和确保成赶的要求制定木标准a1.0.2本标准适用于新建、改崖、扩建的薄膜龙阳能电池工厂的设计。瘗？UI.3薄脆丈阳龍吐辘工厂设计除应执'行本标准外，尚应符合国*2JKI薄膜龙阳能电池本标准特扌目以硅基、啊期據硒、晞化捅、砂化傢半导体曲膜作为光电转换材料的衣阳能电池°2»IL2激光刻线bjiErstrihf；利用激光的能量将连续的膜层切刑岀椚细的沟槽以将膜层分割吨他立的窄条+形成讹个电池之间的串联辻接结构的ijji工工艺。vX/2.*3化学气*11沉积chemicalvapordepositi

10、onCCVD)通过一种或数种物质的吒体以某种方彎閱望曲底表面瞪牛一化学反应*并淀积出所帝固休薄膜的生氏技术匚2.S4物理physicalvapAyition(PVB)在真空条杵卜用物理的方袪使林料沉积在衬底点血上的薄膜制备技术八】追2.0*5FWB膜polyvinylbutyralfilm山聚乙烯醉犒丁酶树脂经成型制成的一种成分子棘膜材料.川于薄膜太阳电池基板和盖板之间的粘合林料.2-(kftEVA膜ethylene-vinylaeclatccopolymerfilm由乙烯醋酸乙烯晡共聚鞠经膻型制成的一种髙分子薄临材料、用于薄膜点阳电池基-板和盖扳之间的粘合材料"1.(L7徴振动控制

11、micro-vilirarioncontrol为摘足梢密说备的止常建用要求*对设爸生产坏境中扳福做小、振动能址主要柴中在低频殷的振动采収的一系列技术措施。3基本规定工亿1薄膜太阳能电池工厂设计应合理利用资源保护环境.汗应防止在生产建设活动屮产生的废气、废出、废遒.粉尘叫及嗓声*振动、电磁波辐射对环境的污渠和危害。3”山2薄膜木阳能电池工厂设计应欝合下列规定：根据生产工艺的特点釆用新技术、新设黔、新材料；满足设箝安装、隅试检修、安全如产、维护管理的要求*采取措血满足消防安全的要求：采取节约能源揩滿足生产所需翌的环境要求；辍崗信息化运行*维护和评理能力*稱嵐太阳能电池I.厂的址计範力应符合经济规模

12、的姿求*3*般规定基亦工序4,1,1韓膜太阳能电池工厂的工艺设计应符合卜列规立：】确保生产效率和产甜质咼？2碗保牛产人员的劳动安全，减轻劳动强度：3确保生产统物流顺畅£4具有灵活性和适应性；5有利丁降低工程造价利运行费用。4.L2簿膜太阳能电池工厂的工艺设计参数版报据宇产工艺的特点确定井应符合下列规定：1生产环境、动力品质参数应満足生F工艺的要求；2原轴材料麽胡储运设施应满足生产匚艺的要求：'F*13土产空闾、面积、动力需求应満足产品生产大纲的要求'jF_、,iyjLjb4宜悄宋产线产能提升，升缠改造所需的空间、面积，动力需求a4.L3与生严工艺立按相关的生产部门宜釆

13、用连续运转的生产组织方式.4.2tI溥膜丸阳能电池丄厂刑生产力【工工序可按附求A所列丄艺痂程确定。4,2.2薄膜龙阳能电池丁厂盛配置辅助牛产设施.4.2*3以下辅助主产工序可釆用外部协作方式实现:1生产设备的大修仪器仪表的校验：2牛产工艺过程滿使用的工具、夹貝、模具的制作和修理;3原辅材料及成品的厂外运输*4洁净服的清洗：5废液"庚玻璃和其他固休废芥物的回收处理。4.3工艺区划4.3. L練膜人阳能电池工厂中生产区的工艺区划应符合卩列规定*t生产线应根据工艺加工流程顺序布置；2相同工序的设备宜集中布置；V3 i殳备和置血设置安装、操作、维穆的步间；4 生产匿的人流和物流出入【I宜分别

14、i殳置F5仝产区域应设置设备搬展r【和搬运通道；6激死刻线和其他振动敏感设备宜远离撫动的布置,7与生产密切联系的辅助牛:产部门宜贴近生严区“4.3.2生产区设置蔘酬设施时参观区域及只通逍宜与土产环境隔离-并应保证生产区域物流和人员硫粧通道的迎畅（1<<Jlllk厂/433薄脸太阳龍吧池.匸厂应设有原辅材料和产品仓储址施井应符件下列规定1I应根据所存储物料的物理化学性质和存储环境要求，分类设置各类库房；2上要原舗材料和产品库病宜设詈装卸货平台.4.4设备配普4.4. 1薄膜丈阳能电池牛严设备和辅助设备直选择自动化程度高、耗能低、排放少的设备洁净区内的生产设备应符合现行国家标准电尹工业

15、洁净厂房设计规池汎;E50472的有关规宦。4.4.2生产线工序之间宜釆用自动传输设施"采用人工传输时*应配置搬运车和郴应的产詁载具.4.4.3化学气相沉积及物理气相机积工艺区域应配置洁净室专用的检修起重设益。5总图址选择总平面布豊1Y5.1,1厂址选择应符合国家和地K规划的耍求并应节约用地和合理用地.5.LZ厂址选择应对原料.辅助材料的来源、产甜流向、唳料处理、建设条件、道路交通条杵、坏境保护風其他因素迹行调査硏短井应进行多方案技术经济比较确定。轧I.3厂址応具有满足建谡工程需要的T程地质条杵和水文地质塔件-5.L4厂址应具有.匚业企业规创所需要的场地面积和融底坡廈5.1.5厂址应

16、具有満足生产、生活及岌展规划需要的水源，气源和屯段衿当旷5,2,I工厂总平面布置应符合生产流程要求合理布置生产区、动力辅助区，气体站、奁储区、办公区以及生活服务区口5.2+2洁申生产区应位于.色年最小频率曲向下凤侧，产生雄氧化物（汽6人氨气荐气休或.：氧化硅等粉卞的牛产区应位丁全年最小除率风向上风侧.5.2-3动力匾应靠近负荷中心生活服务区宜独立臬中设置并应符合现行国家标准監工业企业总平面设计规范GE50187的有关规定。5.X4甲，乙类物品库房利甲，乙类气体站宜独立设置防火间距应符合现行国家标准«：建迫设计防火规范M；Ii30016肢瓦特种气休系统工程技术规范50646的盯关规定.

17、5.2.5厂区宜设置环形消防车道，并应符合现行禺家标准孔建筑设计防火规范5G016的有关规定°5,2.6厂憧道路面层应选用整休性能好、发尘少的材料且宜采出柔性面厂区道路设计应符合现行国家标准力厂矿道路设计规范3GHJ22及工业企业总平面设讣规范风出50U"的有关规定*羸v*5+3竖向设计5.3. 1竖向设计应与总平面和置统一考虑井与医域总怵规划、厂外道路厂外排水管网、.厂区周围地形等相协调°5.3.2竖向设计应根据地形、生产工艺、运输方式、水文地质条件等因素确定。vVX/5.3. J厂区出人口标髙宜同于场区外围道路标高；厂区人口标高低于厂外道略标高时、协采皿有效的

18、场地排水扌普施.建筑物室内地面标高应高于整外地面标高高養不应小于50mm°5+4交通组頸5.4. I厂区的人流、物流出人口宜分开设賢=5,4.2厂区应根据丹地规划设计要求设置停乍场地.S.4.3物料的运输流线应便捷、流畅n5.4.4工厂应设装卸货区*且裟卸货区不得占用消防通道。建筑6.£般规定理逋防火1Y6,1,1厂房平面和功能布置应满足彳产工艺布局、辅助设施以及消防要求。6.L2厂房建筑上体结物宜釆用尢空间及尢跨度柱网.51.3厂舟围护结构材料应满足保温、隔热、防火、防水、防潮、防尘翌船筑,6.L4厂房变理錐不宜穿越洁净生产区；当必须穿越时应采取保证气密的措施。6.1,5

19、易产生噪声和振动的动力机宙应釆耽有效的消音、降噪、隔声隔振措施*井应符合现行国家标准冬工业任业噪淖控制设计规范JGB/T够谭规定o6.2.I生产厂鳥“动力站房和库房的火灾危险性确定应符合现行国家标准©:建筑设汁防火观范50016的冇关规總，土产厂房的耐火等级不应低于二级。6,2.2牛一产厂房内洁净区防火分区的划分、麻符合现行国療标准比电子工业洁净厂馬设计规范3GH&0472的冇天规定；非洁净区防火分区的划分，应符合现行国彖标准乞建筑设讣防火觇范氛出5如1$的有关规定。6,2.3毎主产层、毎牛防火分区或每洁净率的安全出口数址应符合现行国家标准誓建筑设计防火规范补GB50Q16的

20、有关规定；安全出H应分散布谓并应设置明显的疏散标志。6,2.4厂唐内洁净区的近全疏歆距离血符合现行国家标淮氐电子T业洁净厂虏设计规范50472的有关规宦；非诘净区的安全疏戢趾离应符合现行国家标准建筑设计防火规范純出50016的有关规定°6.2.5厂房各层外燔应设置可供消防人员进入的专用消防口口.2.6厂房内存放PMi.EVA的中间仓库，应采用防火墙和耐火极限不低于1.5<)h的不姻性褛板与其他部分分隔°氐3室内装修<).3.I厂房内部装修晦符合现行国家标准瓦建筑內祁装修设计防火规范AGH50222和*电子丁一业洁净厂启设计规iK；B&O472的有关规定&

21、#169;76.3.2有爆炸危险的甲、發林访存储间、配轉I应采用不发火的肪薛电地面，腐蚀件化学冊的祁储间应采収防阕惋措施a札3.右低温、低湿要求的房间.应符合卜列规定：I地面应惟防冻设计J并应采取防止她F水和地表水齟人的措施；衫当旷2地面面层宜釆用防靜电地面3建筑圍护結构城满足热工性能要求；4建的陶护结构宜采取阳潮措施井应提高蒸汽惨透阳7.1一舱规定7.1*1结构设计宜优先采川斯结构、撕材料、新技术，做到宜全适用、经济合理:7.L27.2.1结构设计应W足工艺设备的微振动忡要求匚7.2结构方秦生产厂腸结构布冴应适竝生产设静灵沽布賈及货物运牠、装卸竿使用功能要求.宜采用大跨度林网、大空间的结构布

22、置TfcILK形式*7,2.2生产厂房睹枸钢筋混夥tdg或钢-混擬土混件结枸，且宜釆用装配式结构。匸£3主产厂腭的攒向、纵向船度区段趙过现行国家标准対丛樹I】结构设叶规范松£500规定的忡缩缝最大间距吋腹采理综合佶施防止温度曼化和混砸上膨胀、收编对第构的弱响"7.2.4生产厂曲临近物谎【丨处设置的装卸贷平台和生产设备擢人口改搬运通道区域的结构构件应根据设备实际重境、动力第响、安装运输途径计人吊装和穀运荷载"7.2+5当生产厂房屋面布置龙阳能电池阵列时屋面布置区域和检槪捕道的应计人实际附加荷载j?.3防微振讥乱I儈振动控制的测试、分析、蛙计应符合现行国家标

23、淮聲电子工业防微振工程技术规范汎出51076的冇艾现定°H工艺设侖的防熾振站构设计应根据设备制造厂商捉供的'10-振动评价方法和微:振动控制容许值的要求确定.并应满足设备制造厂商对设备支承部位的动态刚度标准值要求。7*二3地星勘察应符合现行国家标准“:岩土工程勘察规范#GE50021和地臬幼力特性测试规范JGB/T50269的有关规走"8气体动力8,h1冷热源设置应根据负荷特性，结合弓候犍点、能源站构Ji保翌求综合考虑并应符合下列规定：1牛产厂房的冷热源旋集中设置*2在执行分时、峰谷电价的地区经技术经济比较宜采用蓄能系统供即-伍Y3宜优先釆用城市、区域供热和和用当地

24、工厂类牛8.L2冷热源设备设置应询犖铳规定：1设备台数利单台容扯血报摇全年樽热贷荷工况合理选择.并应保证设备在髙，低负荷.匸况下旳能娶全、高效运行.拎热源设备不宜少于匚台：2工艺用冷热负荷的设爸宜设置备用或在设备选型时预忸备用池女$述'丸1.3燃油燃气锅炉选用尿符合下列规定土1应采用带比例调节燃烧器的全自动锅炉，单台锅妒1的设计容董宜便其实际运行效率不低于50%：2锅炉的大气污染物排放限值符合现行国家标准*常炉大气污染物排放标推JGB13271的有关规定并应符合所在地憾有关丸气存樂物卅放要求"其烟囱的设置应満足当地环保要求"K.2大宗气休乩2*1大宗气休供应系统宜在

25、厂区内或厂外邻近处设置*乱2气体纯化装置的设置.应符合下现规定；1气怵纯化装養应泉据气廊和牛-产工艺对气林纯度、允许朵12质斡就的要求设置】2氯气纯化器应设置在独订的房间内a».2.J氢气、氧茕管道采取安全披术措施应符合下列规定；I严鑒穿过生活间、办公室；2当必须穿过不使用此类气协的其他房何时应设会管或使用双层管；3应傥置导除静电的接地谕施；4引入管道上应设苣目动切断阀口5.2. J氢气管道的干管终端或最高点应设置放故管©放散管应引至室外，放散管管口应高出本建筑星舒】!,并应设置B且火器鞋及防雨雪、防杂物侵入的装肯口放散管应设防雷保护设施口S.2.5气怖管道及阀门应姊爛皇产

26、工艺对焚品质的要求选择井应符合现行国家标准电子工业洁那厂佛设计规范_H出丁T|jr3Ljf5X72的有关规定。8.2.6气休管道發|附合下列规定:讨%L|不锈飆警道焊接应采用尬飆焊且宜采用F【动孰飆焊或等离子熔融对接烬严戈常少如备或阀门的连肅言雜表面密封的按头或瑕卡套接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四轨乙烯垫°3.3特种气体供应5.3. I待种气体宜釆用施装气体供应，在厂区内应设置備存、分配系统。S-3.2特种汽体应根据危险性疝和存储数莹设置独立的汽瓶间"&3.3厂房内自燃"易燃、腐烛性或肓毒特种气悴输送系统的设苣应符合下列规定：I特种气体钢瓶应设豈

27、在具有连续机械排风的特种气捧钢瓶柜中；2排风系统、泄漏报警、白动切断阀均应设直应急电晾；-13*3特种气体分配系统设置支管或供应蛰台生产设番使用时,应设番阀门箱或冬路阀门箱。8.3+4特种乓体分配系统应符合下列规定：1设置吹扫盘；2设蛍紧急切斷装苣；«3设背过流虽控制装萱；1髯rhdv*4不相容特种气体不得共用吹扫氮气源。札3*5特种气体蔡统的设il-应符命现行国家标淮瞪特种气体系统工程技术规范50646的有关规定.p8.4压编空气乩去1十燥压编空气系统应根据生产工艺婆求、供气量和供气品质等園素确定：井应符合卜-列规定：1供气规模应按生产工艺所盂实际用呆及系统损耗竝确定计怂2供气品质

28、煜捉据宅产丁一艺对會水址，舍油址、微粒粒径的要求确宦F3富选川能耗跤噪声低的无油润舒空气压缩机。S-4.2凤滲式空气压缩机肢凤冷式十燥装置的设置场所及设备布置，应采取助止拎却空气盍生短賭的措施。K.4.3压缩空气系统的管路系统设计应符合现行悯家标准監电子.业洁净厂房设计规范GE50472的有关规宦，并应符合下列规定：I晋干焕压缩空气露点低+-7&C时宜采用内壁电抛光不锈痢管阀门宜采用波纹管阀；2半干燥压缩空气露点低于一帕匚时.可采用不歸创營或热镀锌碳搁低阀门宜釆用球阀；3压縮空气主管道的直径应按全系统实际用气址世行设计.玄干骨逍的恵径应按局部系统实际用气址进行设计立管if的管径应按设备

29、战大用气.I辻进行设计卡4当干煤压缩空气露点低于一40C,管道连接的密封材料宜选用金属垫片成聚四就乙烯垫片；5压縮空气管逍连接宜采用焊不锈钢管道应衆用制弧焊*jC6压缩住气當道采用软营连接时.宜选用金属软臂.S.5工艺真空和濟扫真空8.5.1生产厂房工艺真空系址的设if黑爭合下列规定：1工艺翦空系统的抽气能力应按生产工艺所需实际用气量及系统损耗址輪定；-伍,2捕气设备屜布番枉宅产厂膀内；3应这用能耗及噪搞低的设备壬4 .匚艺直空蔡统宜设匿真空压力过低傑护装暫；5眞空系统中应至少备用一台真毛泵。8.5.2工乞亮鈴统的诃道设计皿符合下列规定：i应祁置成射枝狀形式；主管遭的直径应按全系统的实际抽气量

30、进行设ih龙干宦道的直禅应按局部炙统的实耶抽气址进行设卜龙管道的直径应按设备堆大抽气呈进行设计3工艺具令系统的管道材料宜选用热瀬锌钢簷或卑壁聚瓠乙晞管逍；4工艺真空系统的管道采用软管连按时*应选用金属软管：5 工艺IX牢管道宜架空赃设8.5.3生产厂房淸抽真空系统应符合下列规定；I当浄化区面积小于lOOOTn?时、可采用移功式泸扫克空系统*2清扫畀空系统的抽气能力应按同吋侦用淸扫真空点的数鈕及毎亍便用点的抽气鲨确定；-15*3清打贞空设备应布置在生产厂房内壬4淸打具空管跻应布愷感树枝狀形式支管路应采用成品丫形接头沿抽气方向讲入主管路；5淸扫真空餐道蔡统末端宜设吹扫阀*6清扫真空系统排气应符合现

31、行国家标准廉大气诃染物绘件排放标rU：X；B16207的有关规定，9供暖、通风、空气调节与净化9,1一股规定丸LI洁淨室的空气洁浄度等级以及洁浄室型迂应根据生产工艺对生产环境的要求确定。9.1.2洁净室的气流组织应根据洁營制b产丁一艺要求、洁净室空咼尺寸以及技术经齐比较结果确或丸1.3生产工艺中散发的物质对其他丄序的产品质馆迪人员安全卫生有影响的净化空气调疔系统应分开蛙置。凡属下列悄況之时嫁化空气调节系统宜分开设置:I温湿度基数和允许波动范帼垦别大的帖净室；2浄化空调系统和丄般空调系统；3室场器輕热、散覆量相碣电芦净室！I采用不:同刑式的诰净峑。9.1.4強険馬的新风量应収下列两抜屮的最大值I

32、补偿室内排风量和探捋室内正压值所箱新风址之和2保证供给诂矗室内毎人每小时的新凤呈不小于4()mfl.1.5i吉净室与周SI空间的静压茎应符合卜-列规定：I不同等级的洁晦室之间的挣圧差不宜小于5Pa；2洁净室弓非洁净室之问的静压差不应小于5Pa；3洁净电与室外的静压羞不盂小于lOPa.9,2供曜*通风与废气处理9.2. I供囉设计腹符合现行国家标准*工业程筑供暖通凤与空气调肖设计规范3GH50019的仃关现定fJ.2.2洁浄空內不应采用散煤器供119.2.3严寒地区和議玲地随各动力站房应根協工艺要求设置值班供®9.2. -I沽净窒内严生粉尘和有毒有害弋怵的工艺设爸和辅助工艺设矗均应设局

33、部排风装貫排凤罩宜为密闭式，9.2.5排凤系统的设计应符合下列觎崔:1化学气相沉积询备的尾气应设尾气处理设备*貝粉尘去除率不应低于91)%:2含有酸、诚悭气的排凤系统应独立设近*凤机应设證应意电源：Vv3工艺设备的排风系统应抿据工艺要求设进备用凤机？4有冷辭戒产生的排凤系统飙符应设置坡度和排液口JI.风管系统嗣采取防液休襖劇措施；5化学气相沉积设备的排凤系统应采取防火、冏规描施¥6醸、碱、有毒排觇系统不应设置熔片式防火冷7酸、碱排凤系统的风机应设置在股气处理设备的气流下游侧；点«排的室外亂管应根据当地零館件采取防结露槐*洁净宅的排凤条统炖采取防止室外气流倒灌的措施。9.2.

34、6废气处理系统的说计应符合下列规徒：1酸购変气不宜采用固淀味吸附利方式处理？Z酸、敲废气宜采用淋洗方式处理处理设备的填料层数，卑度和喷浒约液循环址应经计算确定；处理设备的加蓟、补水、排污和桃位控制应采附自动方或；蠱埠设备的口用被箱应就近设置：3废气处理设备并联运行吋应孫同台设务的人口设置电动或气动密闭风阀，该凤阀在工作压力下的泄漏唏不应大于】口应与对应的废气处理设备联锁*4严寒地区或寒拎地区的淋洗式废气处理装置宜布罟在室内当布宽在室外时应采取防陈描施。9.2.7酸、碱、有毒废气经址理后应通过排气筒排人大气，处理后废气的排燉離度、卅歆速率肚排气筒高度应符合现行国家韩准氐大气污处物综合排放栩准：1

35、6297的有关规淀气簡出口处凤述宜为15w's-2Qrn/sa典28化学气相沉积设备区域及对应吊顶空间内应设凋不低于2次儿的排风系统=7*叽2化学气相沉租设备尾气竝理设备间应设董不低于12ifc/h的事故排凤系统口9.2. 10换輕间应设置不低于10/h的全窣排风系统，一次更衣间宜设置不低于5次的全室排凤系统.排风系统设计应甸命下列规定；"I宜从下綁懂域排附总徘凤戢的裁乳上部憧域排旧总排凤量的1/3*2瞬鞋柜宜设置局部拙风措施。乂.*XIJ|L/jr'5<<V9.3空气调节E净化9.3. I净化空气调节系统的新凤宜集屮处理*新风处理机绢的设垃应符合下列规定

36、；I送风虬应采取H动鬧速措施t2空吒宜经过粗效，屮效、亚高效过谑器或高效过滤器三级处理；3新凤吸入口的位理应远离有害物或可燃物的排出n；4新凤赴理系统应有良好的气密性.在工作压力下的漏凤率不应大于1%*5新凤处理机组的安装高度应満址机组冷瓏水的排出要求"V.3.2浄化空气调节蔡统的循环风宜采用循坏空代处理机组处理a0.3.3術环空气处理机组对空气的除却处IT直采用干岭却方式°叽3.4FMH切割装配间浄化空调系统址计应符希下列规定：I应对閘护结构.人员、设备，物料等进行散湿计算：2应进彳亍湿负荷的平衡计算；3净化咗调系统的处理机组及除湿机组宜貼近主产车间；4净化空调系统的设备

37、、風浮朋配件应釆取密闭描施；淨化空调系统不宜采用回凤夹道、地沟等方式回凤：6净化空调系统的回凤管宜在低艷空间内験尸9.X5沽净室的送風竜应符合现行国家标谁（沽净厂房设计规樹GB50073的有关規定。9.3"洁浄牢的噪声控制设计的噪声级（喈态应符合现行国家标电子工业洁净厂房设卄规范K；B3W2曲有关规宦.9.4防烟排烟感N7入9.4. 1厂屈屮防烟排烟系统的设牡应符合现行国家标准召建筑设计防火规范祐B50016的肓关规定并应符合卜列规定：1防炯楼梯间、前空或合用御唾宜设貰口然排烟址施.当不能満址自然誹烟婆求时应及置机械防烟系统*2厂房自然排烟的疏散走血应设置机械排烟系紅9.4.2洁浄室

38、（区）排烟茶统的设置&苻合现行崗家标淮电子T.业洁血厂房设计觇范AGB50472的有关视宦.当右洁净度等级藝求的房间肉人员密度小于工02人,且安全疏散距离小于80m时訂吉浄皇（区）可不设机械排烟设施°9.4+3洁龄室（区）的排烟系统应的防止室外气流倒灑的描施井应设置另逋管路：-#M)给水排水HK1一掘规定1U.1.L薄膜太阳能电池工厂的室内给水排水设卄应符合现行国家标准吗建筑给术排水设计规范X.B5DO15的有关规定井应符合下列规定tI洁净室内不宜穿过与谏洁睜室无关的给水排水骨逍当必颔穿过时应采取可靠的防濛轴期j站縛措施；2沽净区内的排水管道不宜宜接埋地啟设。10-1.2水威

39、、水温、水压、朋港及给水系统战根据丁.艺也产婆求确定。1(L2.I下列场所应设置紧急冲身洗眼器冲身洗眼器的服务半径不应大于lEni：I毒性*腐蚀性特种气体的储存间忑其權可能产生泄漏，并对人员造成伤害的区域i2危险优学品储存*配制观苴他可能产生泄猜，井对人员造成伤害前区域。KLL2给水，排水管道的作材应符合卜-列规足：I给水管逍的林质及接口应満足生产工艺对水质、水压、水温等的要求；2排水宵道的材质及接口应满足牛一产废朮木质的要求°HL2.3生产废水、生活污水乘统应分别设置，10,2.4生产废水收集系统宜设置通气管通气管应盛出屉面-1(1-2.5牛产厂房屋面雨水排水的设计应符合现行国家标

40、准电建-21-筑给水排水设计规范汎扫50015的有关规定幷应符合下列规症:1屋血雨丿K排爪簷道的推朮设计重现期不宜小于10年；2屋面雨水排术工程与镒流设施的总排水能力不:应小于50年蜃现期的雨水蛍主3南水管道金直穿越洁净峑，必须穿趣时应采电舫结露保温<厂揩施*4、卩HL2.6洁净室(区内地漏等排水设施的设置j£符合现客国家标准瓷洁净厂房设计规范廻討50073的有关规定"HJ.2.7对能溶T水且理成危害物的特殊气休间的谓防排水应设辻收集设施仲排入废水处理站处理肩排故*HL2.K当设有竣水收懐稱且釆用据升泵输送废水时废水提升泵宜设賢应急电掠<.攥y入IC-3纯水zM

41、vz、I亿3.1纯水系统的设计应符合现行国家标准叮屯子工业纯水系统设计规范曙冈科鮎的有关规龙.井应捋合F列规定:1纯水系统循环回诡朮量不宜小于设计供水址的20%；2牌:水系统的回收率应根据頼陆情况确足；3纯水系统的管路布置应确保用水点的朮匪和水压°10.3,2炖水制备区域排水律道的怦径应按照纯水制备进备的瞬吋报大卅水量确宦n10+4工艺灌却循环水11).4,1工艺设备冷却循环朮的水质cK温"K压应棍据牛产设备要求确定。Hk4.2工艺冷却帖坏水累统应根据用朮设恭的布置悄况、进出口温處.Pl!用压力和水质等要求确定a1仇4门工艺冷却循环水系统的管材及配件应根据水處、水压要求确定

42、©22水10.4.4丼工艺冷却水条统的水温与洁净室的环境猛度不同时*布置在洁净室内的工艺冷却循坏水管道应釆取保温揩施。<L4,5工艺冷却水循环水泵宜采用应急备用电源l水泵应釆用N+1备用.井应采用变隸控制。10.4.6工艺冷却水的补水水质应满足工艺设备的要卓。KL4.7十工£拎却循坏水茶统设有集水箱（池）时*集水箱（池）的设蛋应符合下列规定：i集水箱（池）的有数容积应按下式计算；1匕哒鼻i/L（10.4.7）戎中宀I戏集水箱（池）的石效舂积<tn:,）；K安全条数+取1.：1心1.2；D米充满水管道的直径（m）sL未充满水管道的任度（m儿2集朮箱（池）削煨低液位

43、应蹒足朮泵吸以口需婆的戢小淹没深度*当水泵吸欢晴的流速小于6m/s时最小淹没深度不应/'TO.3mt当朮泵吸水晋的流速为1.时.最小淹没探度不应0-珀二W吉停泵时因重力潦人集朮綃池的骨逍木磔址应有溢流排一计算管段的水力坡降（门不宜大于0.025_爪的技术搭施.HL4.ft工艺冷却循环水系统的管道流速应经水力计算确定*任HL5.I废水系统设计应符合现行国家标唯E电子工程环境保护设计规范江;】；5081I的肓关规定.并应满足下列规定:I应根描废水水竝，水质歷环境挖响评价眾告肚批址意见确定处理谎袒;2陵7K址理设施般末端排放口宜设谊在线监测裝宜;3厦水输送管道不宜直接埋地蚊设°1(

44、15.2主产废水系统的设骨应符合卜列规世：I不同污染物的卡产股水宜分別设置：2废液与生产废水应分别设置；3含冇重金属衬染物的土产废水应设置单独的临康和处理系统。V*10+6消防46I消防舒水系统的设置应符合现住同家标跌建筑设计防火规范GB50016J电子工业洁净厂房發计规往負;R50472.(自动喷水灭火系统设计规范500S1也消防给水及消火栓系统技朮规范AGH50074的有关规定，并庾符合下列规定：1i吉痒室生产区应设覽室内消火栓*2诘净生产区设覽自幼喷來说火系统时噴水强度不应小于SL/(tninmJ，作用鹿积不应小于lS0mzt3i吉浄空向不气流区域内应采用快速响应喷头：4布置在高覗设备区

45、顶部的喷头.英公称动作温度应根按该区域扃部环境温度确定'或"t0.6.2气体灭火条统的吐蛊应符合现行闻家标帶/气体灭火系统设计规范GB50370和备二辙化碳灭北系统设计规范3GR50193的有关规定口M.&3泡沫灭火系统的设置应符合理行国家标准昭泡沫页火系统设计规范汨H50151的有关观定；水喷雾灭火系统的设皆应符合现行国隊标准昭朮喷雾灭火系统设计规范MiBhD219的有爻规定。KL6.+特种吒体间的消冏设计应符合现行国麻标准&特种气体系统工程技术规范GK50646的有黄规定“KK6,5厂房内配住的灭火器应符合现行屈家标淮£建筑灭火器配置设计规501

46、40的有关规走.电气Z11.】供电系统1M3薄膜太阳能电池工厂的供匪系统设计尿应満足生产丄艺要求外还应符合现行囤家标准供電电系统蛙计规范汎出50052的冇关规定"11.1.2生产用主要工艺设褂宜由独立变压器或独立低压愤电线跻供电。<电,H.I.3对电源连续性有特殊耍求的设备及仪表圧设置不间將电適；对电源可靠性有特要求的设辭应设理备用电源。11.14消防负荷的供配电诛计应符合现行團家标准建筑设计陌火规相机出50015的育关规定.1L1.5厂房低压配电电压等级应持汁坐产工艺用电要求，系统接地型式宜釆用TN-S或TM<-SSfco11-L6变压器低压测宜设置低FE.XVJ补偿装

47、置井宜加袈电抗器.无功补偿柜宜具备自动过零投切、井相补偿功能1LL7对于谐波畸变率大于的设备宜征设笛处肚变压器低压母线上设還相应的谐波槁理装垃或者预留谐波治理装置接口°IL2低压配电及电气照朗11.2.1薄膜太阳能电池厂的和电系统设计应根据生产工艺要求和动力设备布置综合爭虑11.2.2有浄化硬求的生产车间内应选择不易积尘、便于擦抗的配电设备。11.2.3技术夹层内的电气配管宜采用电缆桥架或金屈管n洁浄-25区的电气管线宜采用暗數设绡采川明數设时采用不锈钢等不燃冃易擦拭的管材材料作为其樣护管"1L2.+穿越洁净区隔墻炖吐气管线管口及安装于端上的各种电器设备耳墻休接縫处应采取保

48、证气密性要求的密封措施*H,2.5薄膜太阳能电池工厂卞耍生产用房间一般照明的照度值不宜低于3馳I壯轴助用房一股照明的照度值应茨张行国家标推股建筑照明设汁标推GB50034和*电子信息輪明设讣标准3SJ/T1165的有关规定'11.2.6洁淨区内应设置备用照亂备用照明叮作为正常阴明的一部分且不宜低于谈场所一股照明照度值的10%.H.2.7厂房内应说国供人员疏徴用的消防应急照明。在空全出人LL疏敬適逍疏散通道转角处设置的消隔疏散标志应符會现行国家标眾減建筑设计防火规范U；Ii5DO16的有关规定u1L2.8厂房技术夹层内宜设置检修照明"1L2.9沾於区内一脫照明灯具宜采用吸顶明装

49、、不易毎尘、便于淸沽的沽净灯具、苛采用嵌人式灯H吋其安犠统廝应有可靠密封揩施.11.3信息与自控1L3.1厂房内通信设施的设置应符合下列规定：1应设置便于洁瘵区内外联系的语音通信裝置匸2可设置数则通信装豎：J系统布线宜采用综合布线系统*4迎信机切.配线间不宜设置在洁浄区内°1L3.2厂房应设骨火灾自动报粹及消肪联动控制；火灾口动报粹及消防联功控制及显示功能.应符合现彳亍国家标准火灾自动报警系统设计规范GB50116的有关规定°11.玉3消防控制塞不应设置在洁净区內©H.3.1洁净区火灾报警后宜手动控制关闭相关部位的电动防#火阀.并屉停止相应的净化空调疾统的循环嵐机

50、，排风机和新风机，同时应接收直反惯信号*并于动切断相关部位的非消防电源"H.3.5下列蛹所应设置气体泄膈报警装誉：I易燃*易爆、有毒气怵的使用场瓯及气体管道入口室的管道阀门或接头屍其他易泄漏处；KV2易燃暮易爆.有毒气体的储存豊分配场所；3易燃、易爆、有毒气体气瓶柜和分配阀Q莆内口11-3.6气体泄漏报警系统在现场政值班宅应设琶泄漏声光报警装置报禅信号应仃别于火灾报警系统。气休泄漏报警信号应接人消防控制氢1L3.7气体泄屁报警的联动控制应帶合下列规定：I应自动启动相应的事故排凤装置，井应接受反愷佶号；2应自动关闭相关部位的进气气体切断阀，井应接豈反馈3应自动启动泄漏现场及值班室的声光

51、报警装置口IL3.H气体泄圖报警及控制慕统的拱电町靠性要求，不应低于同期工程的水灾报哼系统供电可第性詁求,1LX9薄腹太阳能电池丄厂应没迸应急广播:沾净区内扬声器的选择应保证不曙晌洁净区的沽净度等级.H.3.1）特种气体的储存、分配和使用埸所应设詈视频监控和门禁系统。H*3.1I下列系统宜设置自动监控系统；!净化空调泵统；2工艺排颯乘统；3纯水和废水处與系统；4供热刑供冷系统。n.a.ii净化空调系统釆用电加热器时.应采取无风，.超温保护评施*杲用电加湿器时应采耿无水保护曲施a*27，防雷接地lL4rL厂区各建筑物、构筑物的按地系统设计应符至现行国家标潑C交流电气装蜀的接地蛙计规范肌;EfTS

52、OO65的有关规定*H.4.I下列可能产生静电危害的设益、管逍应釆取防静电措施:1可燃液体和可燃气体骨道*2排出有燃烧或爆炸危险物质的蛙备和风營；3净化空调系统风管。H.4.3电子信息系统电缆进出建策物时应设置适配的信号浪涌谋护器"玄1L4.4右特殊接地赏求的工艺设备宜单独设置接地引卜-线井与防雷接地系统的接地悴间距不宜小于2<)nio当无法满足间距时：可与翫雷摟地系统共用接地粧.IL4.S厂房的阱雷接地电汽棵护接地、防静电權地、电子倍息系统按地宜釆用共用接也方式，接地电阻值不应大tim并用实施等电位联能子3濯节能设计规范江出3O710的有关规定"tZ-0.5循环空气

53、处理机组的送凤机应采取口动调速措施L厂f12.().I薄膜鳶阳能电池工厂垄坐生产厂房的怵厘系数不腹大Tn.u.2薄膜太阳能电池工厂主更生产厂携闺护站构的热工性能揩标应符合观行国家标准电子工程|丫能璇汁规范沁H50710的冇黄规定"12.(J.3排风机宜釆用1动阖邃措施.，12*0.4排凤机的单位风址耗电功率限值扁符合现行囲家标推12.0*牢调系统所采用的加热、加湿方式宜利F工厂余热的利趴12J).7通凤机的机组效率不宜小于现行国家标准廉通凤机能般限定值及*能评价值肌茁19761中所列能頰等级2级的数值。12JL8冷热腹系统的设骨应符合下列规定，1在尙耍同时供吟和供热工况下拎水机组宜根

54、据负荷要求选用啟问收机纽;2非热回收水拎冷水机组的冷却水的热呈言回收利用;3在满足工艺及'<>调用进麻水温度的阿提卜宜加大滲冻水供、【叫水温差和提筒冷冻水的供术温度;4当冷负荷变化较大时*冷源系统设备宜釆用变频控制*5往气候适辽地区过渡李节或等李的供冷贷荷直设置自由拎却系统6热源采用自建锅炉ll、h所选锅炉的额是热效率不宜小于现行国家标准农工业锅炉能效限定值及能效等级沁B24500中所列2&能效等级2级的数值匚12*11空气压缩机组的输人比功率不宜大于现行国家标准©容积式空气压缩机能效限疋值肚能敦等级況疋191&3中所列能效等级2圾的数值“yOC12.0,10楡出机组的制暗性能系数不立小于现行国家标准監