其它显微分析方法PPT学习教案

1、会计学1其它显微分析方法其它显微分析方法第1页/共68页第2页/共68页第3页/共68页Ee21eB2Vmr磁场内离子轨迹半径：磁场内离子轨迹半径：第4页/共68页第5页/共68页第6页/共68页第7页/共68页hasin ab一维衍射条件：一维衍射条件：二维衍射条件：二维衍射条件：kbsin第8页/共68页hkhkd1G1001ba baAbaAab第9页/共68页第10页/共68页第11页/共68页第12页/共68页第13页/共68页第14页/共68页第15页/共68页WLLKLKLEEEEE2222第16页/共68页第17页/共68页第18页/共68页第19页/共68页第20页/共68页

2、第21页/共68页第22页/共68页第23页/共68页 在圆筒镜面能量分析在圆筒镜面能量分析器中还带有一个离子溅射器中还带有一个离子溅射装置，用来进行表面清理装置，用来进行表面清理和剥层。和剥层。第24页/共68页N NE EE E曲线曲线dNdNE E/dE/dEE E曲线曲线第25页/共68页第26页/共68页第27页/共68页第28页/共68页第29页/共68页第30页/共68页第31页/共68页第32页/共68页第33页/共68页 荧光屏上的图像就是真件样品的某荧光屏上的图像就是真件样品的某些突出原子的放大像。大约些突出原子的放大像。大约0.2nm0.2nm的结的结构细节从图像中可分辨

3、出来构细节从图像中可分辨出来第34页/共68页设某立方晶系但晶体样品细丝的长轴方向设某立方晶系但晶体样品细丝的长轴方向011011，以，以011011为法线方向的原子面与半球形表面的交线为一系列同心圆环它们同时也是表面台阶的边缘线。因此图像上同一圆环上的亮点，正是同一台阶边缘位置上的突出原子像。为法线方向的原子面与半球形表面的交线为一系列同心圆环它们同时也是表面台阶的边缘线。因此图像上同一圆环上的亮点，正是同一台阶边缘位置上的突出原子像。第35页/共68页第36页/共68页第37页/共68页第38页/共68页第39页/共68页第40页/共68页第41页/共68页第42页/共68页第43页/共6

4、8页 固定在压电陶瓷传感器（三维扫描控制器）上的探针可沿样品表固定在压电陶瓷传感器（三维扫描控制器）上的探针可沿样品表面进行面扫描，扫描过程中沿面进行面扫描，扫描过程中沿Z Z方向是否产生移动，将分为方向是否产生移动，将分为恒电流恒电流和和恒恒高度高度两种工作方式两种工作方式第44页/共68页第45页/共68页第46页/共68页第47页/共68页分析分析技术技术分析本领分析本领工作环境工作环境工作温度工作温度对样品对样品的破坏的破坏程度程度检测程度检测程度STM可直接观察原子可直接观察原子横向分辨率：横向分辨率：0.1nm纵向分辨率：纵向分辨率：0.01nm大气大气液体液体真空真空低温低温室温

5、室温高温高温无无12原子层原子层TEM横向点分辨率：横向点分辨率：0.30.5nm横向晶格分辨率：横向晶格分辨率：0.10.2nm纵向分辨率：无纵向分辨率：无高真空高真空低温低温室温室温高温高温中中等于样品等于样品的厚度的厚度100nmSEM采用二次电子成像采用二次电子成像横向分辨率：横向分辨率：13nm纵向分辨率：低纵向分辨率：低高真空高真空低温低温室温室温高温高温小小1mFIM横向分辨率：横向分辨率：0.2nm纵向分辨率：低纵向分辨率：低超高真空超高真空3080K大大原子厚度原子厚度AES横向分辨率：横向分辨率：610nm纵向分辨率：纵向分辨率：0.5nm超高真空超高真空低温低温室温室温大

6、大23原子层原子层常用分析测试仪器的主要特点及分辨本领常用分析测试仪器的主要特点及分辨本领第48页/共68页A AAFMAFM样品；样品；B BAFMAFM针尖；针尖；C CSTMSTM针尖；针尖；D D为杠杆，又是为杠杆，又是STMSTM样品；样品；E E调制用压电晶体；调制用压电晶体；F F氟橡胶氟橡胶第49页/共68页第50页/共68页第51页/共68页第52页/共68页第53页/共68页第54页/共68页样样仪仪样样 kE仪仪 kbEhE 仪仪一般为常数一般为常数( (约约4eV)4eV)；E Ek k由电子能谱测得；这样便可求得样由电子能谱测得；这样便可求得样品的电子结合能品的电子结

7、合能第55页/共68页X X光源光源样品样品能量分析器能量分析器微弱信号检索微弱信号检索及数据处理及数据处理hh光电子光电子高真空高真空n X X射线源有两种，射线源有两种，MgMg的的KK射线和射线和AlAl的的KK射线。射线。n 能量分析器的作用是把从样品发射出来的、具有某种能量分析器的作用是把从样品发射出来的、具有某种能量的光电子选择出来，而把其他能量的电子滤除。能量的光电子选择出来，而把其他能量的电子滤除。带预减速透镜的半球或接近半球的球偏转分析器带预减速透镜的半球或接近半球的球偏转分析器(SDA)(SDA)具有减速光栅网的双筒筒镜分析器具有减速光栅网的双筒筒镜分析器(CMA)(CMA)n X X射线光电子谱的背底不像俄歇谱那样强大，不用微射线光电子谱的背底不像俄歇谱那样强大，不用微分法，直接测出能谱曲线。由于信号电流比较弱，分析分法，直接测出能谱曲线。由于信号电流比较弱，分析速度相对较慢。速度相对较慢。第56页/共68页第57页/共68页第58页/共68页第59页/共68页第60页/共68页第61页/共68页第62页/共68页第63页/共68页T yneAfI第64页/共68页nSyneAfI TS S灵敏度因子灵敏度因子第65页/共68页jijijiSSIInn jSISIjjiijjiinnC对样品中任意两元素对样品中任意两元素i i