Foming Gas(SMC)流量表调校方法

1、ShinkawaShinkawa设备设备SMCSMC Gas Gas flow switchflow switch调调整方法整方法SMC Flow Switch PFMSMC Flow Switch PFM型号识别型号识别注意：注意：UTC-5000设备Air tension和wire tension 为两款不同型号Flow Switch(流量侦测范围不同).1. PFM750S-01L-A-M2. PFM710S-01L-A-M3SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)流量表量程： Flow Rate: 0.210

2、L/M Max Press: 0.75 Mpa (7.5Kg/cm)流量表线路：棕色：+24V 蓝色：0V 黑色：Out 1 白色:Out 2气路接法：左进 / 右出4SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)S功能键上档键流量调节Out 2状态灯Out 1状态灯LED显示屏下档键按键用法： S键按一下：进入Out1/Out2侦测范围设定 S键长按3秒钟以上:进入/退出模式设定 S键长按5秒钟以上:Lock/UnLock 上/下键按一下：数位调节 上/下键组合长按1S以上：复位归零 S键+下键按5秒以上：密码模式下密码设

3、定锁定螺丝5SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) Out1/Out2上下限设置上下限设置:按S键1次调整上下键按S键1次调整上下键Out1下限下限Out1上限上限按S键1次调整上下键Out2设置设置说明：Out2未使用，数值设定可按S键直接跳过6SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) 模式设定模式设定:F0单位设定F1Out1设置F2Out2设置F3气体类型设置F4量测温度条件设置F5响应时间设置F6流体显示模式设置F7清零模式设置F8量

4、测分辨率设置F9自动预设功能设置（仅限Out1）F10累计流量设置F11模拟型号过滤功能（该型号不具备此功能）F12节电模式F13密码模式设置F98设置全开功能F99恢复初始化长按S键调整上下键模式设置模式设置7SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F1设置（设置（OUT1设置）设置）F1设置设置长按S键按S键1次调整上下键Win:实时流量模式ADD:流量累加模式PLS:流量累加脉冲输出模式HYS:滞后模式输出模式输出模式8SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(P

5、FM710S-C6-A)按S键1次按上下键 F1设置（设置（OUT1 设置）设置）P 与N 代表：Normal Output / Reversed Output 输出信号+5V / 0V按S键1次调整上下键信号模式信号模式Out1下限下限按S键1次调整上下键Out1上限上限9SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)按S键1次按上下键流量累加（ADD）与流量累加脉冲模式（PLS）的滞后设定滞后设置滞后设置 F1设置设置调整上下键字体颜色（字体颜色（color）设置）设置按S键1次ON：绿Off：红ON：红Off：绿长红显

6、示长绿显示10SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F2设置（设置（OUT2设置）设置）进入进入F2按S键1次按上键1次F2与F1设置完全相同输出模式输出模式说明：1. Out2未接线，因此F2设置无意义 2. 显示颜色以F1设置显示11SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F3设置（设置（气体类型设置气体类型设置）进入进入F3按S键/上键按S键1次调整上下键干燥空气/N2Ar2CO212SMC Flow Switch(PFM710S-

7、C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F4设置（设置（量测温度条件设置量测温度条件设置）进入进入F4按S键/上键按S键1次调整上下键Standard :20Reference:013SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F5设置（设置（响应时间设置响应时间设置）进入进入F5按S键/上键按S键1次按上/下键响应时间响应时间2 S1 S0.5S50ms14SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F6设置（设置（

8、流体显示模式设置流体显示模式设置）进入进入F6按S键/上键按S键1次按上/下键显示模式显示模式ADD：量测并显示累计流量INS ：量测并显示瞬间流量15SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F7设置（设置（清零模式设置清零模式设置）进入进入F7按S键/上键按S键1次按上/下键清零模式清零模式清零模式：1.在累计流量模式下使用，且必须链接外部输入信号，比如GND连接30ms或更长时间时，累计流量清零 2.PFM710S流量开关无此功能，所以选项为“- - -” 16SMC Flow Switch(PFM710S-C6

9、-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F8设置（设置（测分辨率设置测分辨率设置）进入进入F8按S键/上键按S键1次按上/下键数位精度数位精度数位精度：IE2：小数点后1位 IE3：小数点后2位split17SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F9设置（设置（自动预设功能自动预设功能）进入进入F9按S键/上键按S键1次按上/下键自动预设自动预设自动预设：Out 1侦测参数的自动预设，此功能建议关闭18SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch

10、(PFM710S-C6-A) F10设置（设置（累计流量设置累计流量设置）进入进入F10按S键/上键按S键1次按上/下键累计流量累计流量OFF：断电后清除累计流量数值2.0：每2分钟保存一次累计流量数值5.0：每5分钟保存一次累计流量数值19SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F11设置（设置（模拟型号过滤功能模拟型号过滤功能）进入进入F11按S键/上键按S键1次按上/下键过滤功能过滤功能OFF：响应时间0.1SON： 响应时间1.5S需安装模拟信号输出功能，若未安装不可调整：20SMC Flow Switch(

11、PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F12设置（设置（节电模式节电模式）进入进入F12按S键/上键按S键1次按上/下键节电模式节电模式OFF：关闭节电模式ON： 开启节电模式21SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F13设置（设置（密码模式设置密码模式设置）进入进入F12按S键/上键按S键1次按上/下键节电模式节电模式OFF：关闭密码模式ON： 开启密码模式密码模式下，长按S+下键5秒钟以上，设置密码22SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F98设置（设置（设置全开功能设置全开功能）进入进入F12按S键/上键按S键1次按上/下键全参数全参数OFF：普通模式ON： 全参数模式设置完后自动恢复OFF状态23SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A)SMC Flow Switch(PFM710S-C6-A) F99设置（设置（恢复初始化恢复初始化