真空泵的工作原理

1、Company nameCompanyLOGO真真空空泵泵的工作原理的工作原理高新高新区区工程装一工程装一车间车间工工艺组艺组凌碧慧凌碧慧Company name目录真空泵的简介和主要构成部件真空泵的简介和主要构成部件1真空泵的工作原理真空泵的工作原理2真空泵的常见故障真空泵的常见故障3快速接头的构造与密封原理快速接头的构造与密封原理5真空计校准真空计校准4Company name一、真空泵的简介和主要构成部件真空泵的简介真空泵的简介油封式真空泵分为定片式、旋片式、滑阀式和余摆线式四种类型。旋片式真空泵（简称旋片泵）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片

2、泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。 旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.3310-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。 我司选用的莱宝泵即为双级旋片式真空泵。Company name基本概念： 1、压强：单位面积上的压力称为压强。国际标准单位为牛顿/米2，即帕斯卡。 2、真空：是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡(也即一个标准大气压强)的气体状态。又可分为

3、高真空、中真空和低真空，它的气体稀薄程度用真空计测定。 3、真空度：处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。实际是一种气体压强概念。Company name 各种压强单位之间的换算 1标准大气压=1.01325105 Pa（帕斯卡） 1 MPa（兆帕）=1106Pa（帕斯卡） 1bar（巴）=0.1兆帕=1105帕斯卡 1mmHg（毫米汞柱）=1Torr（托）=1.333 hPa（百帕） 1inHg（英寸汞柱）=25.4mmHg（毫米汞柱）=33.8 hPa（百帕） 1mbar（巴）=100帕斯卡 1Torr（托）= l/760标准大气压=133.322帕 1kg

4、/cm2（公斤力）=0.98105帕斯卡 可以 简化记：1巴（bar）=1标准大气压=1公斤/平方厘米=100千帕（KPa)=0.1兆帕（MPa） Company name一、真空泵的简介和主要构成部件真空泵的主要构成部件真空泵的主要构成部件控制开关控制开关真空计真空计真空泵体真空泵体电机电机真空管法兰卡箍硅管导电轨碳刷Company name一、真空泵的简介和主要构成部件真空泵体的主要构成部件真空泵体的主要构成部件Company name一、真空泵的简介和主要构成部件真空泵体的主要构成部件真空泵体的主要构成部件密封片前腔后腔前泵顶盖前级泵二级泵二级泵顶盖泵支架Company name一、真空

5、泵的简介和主要构成部件真空泵体的主要构成部件真空泵体的主要构成部件缸体缸体转子转子旋片旋片法兰、离心开关法兰、离心开关轴、键轴、键支架支架风扇、法兰、弹性联轴体风扇、法兰、弹性联轴体Company name一、真空泵的简介和主要构成部件真空泵各阀门分解真空泵各阀门分解防返油阀防返油阀堵帽堵帽离心开关离心开关排气阀排气阀单向排气阀单向排气阀弹簧片弹簧片Company name二、真空泵的工作原理真空泵的进气及前级压缩工作原理真空泵的进气及前级压缩工作原理气体从进气口被吸入，通过通气/隔离阀进入前级泵的泵腔中，在泵中，气体被传送，当入口处被叶片封闭后气体被传送和压缩，在转到过程中油从注油口被吸入缸

6、体内；一方面，油起到缸壁与叶片端面间的密封与润滑作用，另一方面还起到叶片在转子中的密封与润滑作用。在缸体中，气体被压缩后通过前级泵与二级泵之间支架通道进入二级泵。注油口注油口Company name二、真空泵的工作原理真空泵的二级压缩及排气工作原理真空泵的二级压缩及排气工作原理当气体被从支架通道吸入二级泵缸体后，气体又被如同前级泵一样传送和压缩（即容积的大小转换压缩），最终通过排气阀排入排气通道然后排出大气外，其中压缩的气体夹带的油将被过滤器收集。通常在泵运转于极限压强下会出现油撞击声，这种噪音可由二次空气来消音。二次空气注入口二次空气注入口Company name二、真空泵的工作原理真空泵的

7、气振真空泵的气振我们的冰箱系统中除了存在空气，可能还有水蒸汽，蒸汽会溶解于油中，这将有损于泵油的性能，或将泵油乳化，引起泵的腐蚀。为此，在抽气过程终止后，打开气振阀继续运转至少运转30分种，当全部蒸汽被抽除，能改善可达到的极限压强。气振的工作原理：进气-压缩-排气。气振阀帽加强板油过滤器气振阀体弹簧Company name三、真空泵的常见故障故障可能的原因检修泵无法启动电源线连接不正确；检查、维修电源线供给电机的电源电压与电机不匹配；更换电机电机发生故障；更换电机泵油温度低于10摄氏度；加热泵和泵油或使用别的类型的泵油泵油太粘稠；换油排气过滤器或排气管道被堵塞清洗过滤器或排气管道泵被卡死维修泵

8、泵达不到极限压强测量方式或规管不合适使用正确的测量方法及规管/在泵的进气口处直接测量真空度外部泄漏放返油阀失效维修防返油阀排气阀故障维修排气阀泵油不合适换油（必要时对油脱气）进气口被污染清洗抽气管道泵的抽速太小确认系统参数，必要时换泵Company name三、真空泵的常见故障故障可能的原因检修泵的抽速太慢进气口或进气管道被堵塞清洗进气管道（预防：在进气口前安装一个杂物过滤器）排气过滤器被堵塞更换过滤器连接的真空管直径太小或管道太长使用直径足够大的管道或短的连接管道停泵以后，被抽容器中的压强上升过快真空系统有泄漏对系统进行检查防返油阀故障维修防返油阀泵在运行中温度过高冷却泵所需的风受阻正确的安

9、装（电机后部应留足够的空间）泵工作的环境温度太高降低环境温度、最高允许环境温度40度所抽气体的温度太高改变工艺油位太低加油油不适合换油泵油的循环受阻清洗或维修进油嘴排气过滤器或排气管道被堵塞更换过滤芯、清洗排气管道排气阀故障维修排气阀泵腔被磨损更换泵腔部件Company name三、真空泵的常见故障故障可能的原因检修在真空管道中或被抽容器中发现油油来自真空系统检查真空系统防返油阀失效清洗或维修防返油阀防返油阀的密封面磨损或太脏清洗或维修进气口和防返油阀油位过高放掉多余的泵油泵油混浊、乳化可凝性气体凝结对油进行脱气或换油并冲洗泵腔；预防：打开气镇阀泵的噪音过大油位太低（观察窗内已经看不到油）加油

10、消音孔被堵塞清洗或更换消音孔部件进气口压强太高降低进气口压强内部油雾过滤器被堵塞清洗或更换油雾过滤器弹性联轴体磨损更换一个新的弹性联轴体叶片或轴承损坏维修泵Company name四、真空计校准真空计现场校准真空计现场校准打开现场中原接入真空计规管接头处,接入三通。三通的另两关分别接入被校真空计与标准真空计；打开真空泵，观察标准真空计显示的真空下降的速度，以便确认整个抽真空系统是否有泄漏；观察两真空计数值下降的一致程度，并记录10 Pa和6 Pa时被校真空计的数值，计算被校真空计在每一点的相对误差值，对于超过50%，先进行基准电流的调试。如实在无法调整过来，更换规管，如更换规管后，误差还是无法

11、调整，则判为不合格。通知设备维修部门更换真空计。Company name四、真空计校准 54DB（59C4）真空计现场定点调整方法）真空计现场定点调整方法调整规管电流值11看清规管上标注的电流值；12按下真空计电流按键，一直按着不要松开，然后调整校准旋钮，将电流值调到与规定标注相同的电流值。（刻度盆下面一圈为电流值）；13调准确后，松开电流按键。2、调整定点值21按下模拟按键，不要松开；22调整定点旋钮，将指针调到所要求的真空值；23调准确后，松开模拟按键。3、调整切换点31按下模拟按键，不要松开；32调整切换旋钮，将红绿点中绿灯的亮，调到真空值以下为绿灯，超过真空值为红灯；33注意红绿灯在真

12、空临界值附近切换的控制；34调准确感觉满足要求后，松开模拟按键。Company name四、真空计校准如何将真空计在如何将真空计在10Pa和和6Pa时的相对误差调到时的相对误差调到20%以下以下一、当系统稳定时，对应标准真空计的示值，按下54DB真空计的校准键，将电流值调小；二、松开校准键，观察在被校真空计的示值的相对误差是否减少，若减小，则证明将电流值调小为正确的。反之则将电流值调大；三、反复调整直至将被校真空计的示值调整到与标准真空计一致；四、关闭真空泵，当真空度回升后50Pa左右后，再开启真空泵，观察被校真空计在10Pa和6Pa时的相对误差；五、反复调整，直到将相对误差值调到可接受的程度。Company name五、快速接头的构造及密封原理快速接头的锁紧部分快速接头的锁紧部分套桶卡扣锁紧环接头密封圈卡扣铰链结构，一端固定在接头上，另外一端卡在套桶上，当卡扣被推向快速接头的接口时，带动接头、锁紧环向前推进，使得卡簧收紧锁住工艺管，接