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文档简介

1保密单晶单晶SPC推进状态及意义推进状态及意义2控制对象:控制对象:单晶锭直径目标:目标:单晶棒理论实际重量比控制在大于96% 单位单位mm理论直径153工艺要求1552最小直径151最大直径165目前状况:目前状况:HH平均直径:156.3mm3最理想的状态:最理想的状态:154 1mm目的:目的:1,提高硅料利用率,降低成本;2,提高产量,提高收率;3,有利于单晶生长的稳定性平均平均直径直径理论理论/实实际重量比际重量比对收率对收率贡献贡献15696.19%15597.44%0.7%15498.71%1.4%153100%2.1%设备的控制能力设备的控制能力:1mm1,没有失控;2,头部50mm不计。4困难:困难:1,SPC理论知识、意识的缺乏,需要培训;理论知识、意识的缺乏,需要培训;2,硬件的缺乏;,硬件的缺乏;关关键键炉长交接记录中记录上炉直径情况,也是一种SPC思想。

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