热场包裹、安装、清扫

1、1热场包裹热场包裹、清扫清扫、安装、安装、炉台清扫炉台清扫技术一部技术一部2热场的包裹热场的包裹l热场包裹前的准备l平铺碳毡l上、中、下保温筒包裹l切割石墨碳毡l接口处的处理l绑定石墨碳毡l挖测温孔和排气孔l平整石墨碳毡l上部、下部保温用石墨碳毡l清扫石墨碳毡l工具归位3热场包裹前的准备热场包裹前的准备l工具：直尺，钢卷尺，克丝钳，刀具，钼丝，吸尘刷、模具，不锈钢小车l人员佩戴： 洁净工作服、洁净鞋、一次性洁净手套、袖套、防尘口罩4平铺碳毡平铺碳毡l将PVC板平铺在地板上，用吸尘刷将表面清理干净，再将石墨碳毡打开铺在PVC板上5上、中、下保温筒包裹上、中、下保温筒包裹l用钢卷尺测量石墨件的高度

2、h（决定碳毡的宽度）和外径d，并根据外径计算石墨碳毡的总长Ll上中下保温筒碳毡厚度分别为65mm/75mm/65mm（厚度为10mm碳毡层数分别为6,7,6)6切割石墨碳毡切割石墨碳毡l再根据测量的数据，用钢卷尺和直尺切割石墨碳毡l切割宽度一致，误差5mm7接口处的处理接口处的处理l接口处一定要超出接口2-3cml切割接口处要用刚尺竖直接触碳毡，用刀具沿钢尺竖直划下8绑定石墨碳毡绑定石墨碳毡l用克丝钳和钼丝将裹好的碳毡捆扎，定型l每隔20cm捆扎一次9挖测温孔和排气孔挖测温孔和排气孔l用刀具将中保温筒测温孔及下保温筒排气孔对应的碳毡切除l测温孔孔径40mm5mm，排气孔处碳毡内径为85mm-9

3、0mm10平整石墨碳毡平整石墨碳毡l检查碳毡上下沿是否齐平，多余部分用刀具逐层切割，要求上下沿切割面水平l碳毡与保温桶开槽处齐平，保温筒卡口到位且碳毡间不留缝隙11上部、下部保温用石墨碳毡上部、下部保温用石墨碳毡l用切割碳毡的模具分别将上下保温盖间碳毡，上下压片间碳毡，炉底碳毡，导流筒内碳毡切割完整l层数分别为2，2，6，112清扫石墨碳毡清扫石墨碳毡l用吸尘刷将包裹好的上中下保温筒碳毡及切割好的保温碳毡表面清理干净，再有序放置在不锈钢小车上l碳毡表面整齐，无附着物13工具归位工具归位l工具，模具等放回指定位置，清理好现场及周围环境l工具归位，垃圾入桶14热场清扫l清洗台清理l打磨石墨件附着物

4、l清理石墨件浮尘l石墨件放回小车l整理工具，清理周边卫生l工具归位，垃圾入桶15清洗台清理l穿戴洁净服，口罩，洁净帽，耐高温手套l打开清洗台吸尘机开关，清理吸尘台表面l吸尘机抽速正常，吸尘台表面清洁16打磨石墨件附着物l依次将待清理的石墨件放到清洗台上l缓慢放置制定小车或作业台上，严禁出现石墨件撞击现象17清理石墨件浮尘l用砂纸或钢刷认真打磨石墨件表面的附着物l石墨坩埚、保温筒及盖板表面无硅料挥发物等附着物.18石墨件放回小车l依次用吸尘刷清洗各类石墨件及碳毡表面浮尘l表面无松散附着的氧化物19整理工具，清理周边卫生l清理完毕的石墨件放到洁净不锈钢小车上l依次放回指定位置20工具归位，垃圾入桶

5、l工具放回指定位置，清洗好清洗台及周围环境l工具指定区域放置，垃圾入桶21热场的安装n工具的准备n热场移至炉台边n安装炉底碳毡，压片，保温桶，电极，护套n装石墨纸、对排气孔n安装加热器n安装中保温桶n降炉筒n校对测温孔n安装电热锥n安装上保温桶n安装托杆n安装埚托，三瓣埚n检查埚转、埚升降及对中22工具的准备n吸尘刷、无尘纸、吸尘管，不锈钢小车、力矩扳手，手电筒，石墨纸，直角尺、工作服,耐高温手套、帆布手套，防尘口罩、酒精23热场移至炉台边n用不锈钢小车将清理完毕的石墨大件平稳移到单晶炉左侧边n平行炉台距离50cm24安装炉底碳毡，压片，保温桶，电极，护套n依次装好石墨电极炉底碳毡炉底压片下保

6、温罩两侧排气管炉底上压片下碳毡炉底上压片埚杆护套电极护套石英护套。n严格按次序25装石墨纸、对排气孔n石墨电极上下接触面放置一层石墨纸n检查接触面是否平整，防止打火n装入下保温筒，再将排气管与下炉筒两边排气孔对正（可用手电筒进行照射查看）n保温筒卡口到位，排气管入槽26安装加热器n将清理后的加热器装好，拧上石墨螺丝n石墨螺丝松紧适度，防止引起打火n因个人力度不同，拧两电极脚的螺丝要由一人来操作27安装中保温桶n将清理后的中保温筒装好，卡口到位。并校正与加热器的间距，要均匀一致n测量四周间距差值2mm28降炉筒n打开液压泵，升起炉筒至上限，清洗下炉筒上下的结合部，同时转动炉筒到适当位置。n炉筒定

7、位环与导柱同轴29校对测温孔n下降炉筒降到位后，校对测温孔，对测温孔正视，应看不到碳毡为准。n前后炉次欧陆数值在同一工序不得相差200点30安装电热锥n安装热电锥，将其及对应的密封、玻璃、四氟垫圈按原次序装好n热电锥螺丝松紧适度，连接线接触良好，欧陆信号正常31安装上保温桶n将清理后的上保温罩装好，并卡口接到位n四周入槽，测量盖距为190mm-205mm32安装托杆n用专用工具装好埚杆。要拧紧埚杆螺丝n检查托杆不晃动33安装埚托，三瓣埚n依次装好埚托、三瓣埚n确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合34检查埚转、埚升降及对中n打开并检查埚转及埚快速升降n显示值与实际值一致，无卡滞现象n装好后要打开埚转旋

8、转一下，检验三瓣埚与加热器间距是否均匀n测量四周间距差值2mm35炉台的清扫v作业准备作业准备vA真空过滤器清洗真空过滤器清洗vB真空泵油检查更换真空泵油检查更换vC副副室的清室的清理理vD小小副副室的清洗室的清洗vE E 炉盖清洗炉盖清洗vF炉筒清炉筒清vG G抽气管道清洗抽气管道清洗36作业准备作业准备v必必须穿戴好洁净工作服、鞋。须穿戴好洁净工作服、鞋。v准备好准备好无尘无尘手套、耐高温手套、毛巾、手套、耐高温手套、毛巾、无尘纸无尘纸、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。v用毛巾将炉体从上到下一遍，擦洗时注意不要用毛巾将炉体从上到下一遍，擦洗时

9、注意不要触碰触碰所有控制接线及开关，并把炉子周围清扫所有控制接线及开关，并把炉子周围清扫干净。干净。37A真空过滤器清洗真空过滤器清洗v1.准备好吸尘刷、吸尘管、酒准备好吸尘刷、吸尘管、酒精、纸巾、扳手，带好手套、精、纸巾、扳手，带好手套、防尘口罩。防尘口罩。v2.用扳手打开真空过滤器盖螺用扳手打开真空过滤器盖螺丝。丝。v3.用吸尘刷仔细清洗过滤器内用吸尘刷仔细清洗过滤器内壁壁的挥发物。的挥发物。v4.用吸尘刷清洗过滤器盖，用用吸尘刷清洗过滤器盖，用沾酒精的纸巾擦净密封圈，并沾酒精的纸巾擦净密封圈，并检查密封圈是否检查密封圈是否完好完好就位，防就位，防止影响抽空。止影响抽空。v5.盖好过滤器盖

10、并用扳手上好盖好过滤器盖并用扳手上好过滤器盖螺丝。过滤器盖螺丝。38B真空泵油检查更换真空泵油检查更换v1.确认关闭主泵球阀和真空泵，在放油单晶确认关闭主泵球阀和真空泵，在放油单晶炉上挂检修牌，打开上下腔放油开关炉上挂检修牌，打开上下腔放油开关，将油，将油有放油口放入有放油口放入废油桶，放完油后关闭上下腔废油桶，放完油后关闭上下腔放油阀，废油倒入指定油桶。放油阀，废油倒入指定油桶。v2.清洗真空泵（每清洗真空泵（每5炉清洗一次），用扳手打炉清洗一次），用扳手打开真空泵侧盖，用毛巾彻底清理真空泵腔、开真空泵侧盖，用毛巾彻底清理真空泵腔、侧盖和下腔滤油网的油污，清洗完毕后，安侧盖和下腔滤油网的油污

11、，清洗完毕后，安装好滤网，装好滤网，检查密封圈，检查密封圈，安装好侧盖。安装好侧盖。v3. 将真空泵油注入真空泵注油孔，油位观察将真空泵油注入真空泵注油孔，油位观察窗窗1/2位置，停止注油，打开泵侧的油路管道位置，停止注油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油，关闭油口。阀门向下腔放油，关闭油口。v4.启动真空泵工作启动真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管后关闭泵侧的油路管道阀门，道阀门，确认确认油位处于观察窗油位处于观察窗1/3-1/2位置，位置，关闭真空泵，在单晶炉上移去检修牌。关闭真空泵，在单晶炉上移去检修牌。油位油位若低于下限重复若低于下限重复3，4操作。操作。v5.真空泵与电磁阀连接的弯

12、头要在换油之前真空泵与电磁阀连接的弯头要在换油之前清理并安装完好。清理并安装完好。39C副副室的清室的清理理v1.准备好清洗棒、纸巾、酒精。准备好清洗棒、纸巾、酒精。v2.在清洗棒上缠上沾有酒精的在清洗棒上缠上沾有酒精的无尘纸无尘纸，清洗付室内部至上部，清洗付室内部至上部，直至确认无污物。直至确认无污物。 v3.快速降下籽晶夹头，用沾有快速降下籽晶夹头，用沾有酒精的酒精的无尘纸无尘纸认真擦洗重锤认真擦洗重锤，夹具夹具及钼夹头。及钼夹头。必必要时要将重要时要将重锤摘下用研磨布认真打磨，并锤摘下用研磨布认真打磨，并清洗干净。摘下重锤时，防止清洗干净。摘下重锤时，防止钢丝绳上弹出槽。钢丝绳上弹出槽。

13、v4.清洗钢丝绳时要检查其接头清洗钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏，若有应部位是否老化或损坏，若有应截去一截钢丝绳，防止在拉晶截去一截钢丝绳，防止在拉晶过程中过程中钢丝绳断裂钢丝绳断裂。清洗升重。清洗升重锤时，防止重锤晃动锤时，防止重锤晃动导致导致重锤重锤挂住付室下沿，拉断钢丝绳。挂住付室下沿，拉断钢丝绳。40D小小副副室的清洗室的清洗v1.打开付室小门，用沾有酒精打开付室小门，用沾有酒精的的无尘纸无尘纸擦洗小付室内的附着擦洗小付室内的附着物。挥发物附着较多时，先用物。挥发物附着较多时，先用吸尘刷处理。吸尘刷处理。v2.用沾有酒精的用沾有酒精的无尘纸无尘纸认真擦认真擦洗付室抽气口、其它小

14、孔及翻洗付室抽气口、其它小孔及翻板阀四周及转轴。翻板阀的沟板阀四周及转轴。翻板阀的沟槽部位及焊缝处先用槽部位及焊缝处先用无尘纸无尘纸卷卷成成筒筒状再认真擦洗。状再认真擦洗。v3.清洗过的小付室将翻板阀盖清洗过的小付室将翻板阀盖住阀口，并关闭付室小门。住阀口，并关闭付室小门。v4.用洁净的用洁净的无尘纸无尘纸将小付室上将小付室上口盖住。口盖住。41E E 炉盖清洗炉盖清洗va. a. 炉盖清洗炉盖清洗v1. 1. 先用先用无尘纸无尘纸擦洗内壁擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理氧化物过多先用吸尘刷清理)。 v2. 2. 小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位

15、、阀口部位等各处的接口及焊接口等部位要用沾有酒精的处的接口及焊接口等部位要用沾有酒精的无尘纸无尘纸认真擦洗认真擦洗至确认无污物。至确认无污物。 v3. 3. 炉盖内壁挥发物要用研磨布认真研磨直至内壁出现光炉盖内壁挥发物要用研磨布认真研磨直至内壁出现光亮无污物。亮无污物。v4.4.观察窗、伊尔根窗口要认真清理，所有小孔的位置要把观察窗、伊尔根窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷清理直至没有污物。纸巾卷成卷清理直至没有污物。b b42F炉筒清洗炉筒清洗1.先用无尘纸擦洗内壁先用无尘纸擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理氧化物过多先用吸尘刷清理)。2.中炉筒取光孔部位要用沾有酒精的无尘纸认真擦洗。中炉筒取光孔部位要用沾有酒精的无尘纸认真擦洗。 3.下炉筒两边排气孔，埚杆入口及铜电极处附着氧化物要用研磨下炉筒两边排气孔，埚杆入口及铜电极处附着氧化物要用研磨布认真研磨，直至光亮无污物。布认真研磨，直至光亮无污物。3.中炉筒，下炉筒内壁存在挥发物要用研磨布认真研磨直至炉筒中炉筒，下炉筒内壁存在挥发物要用研磨布认真研磨直至炉筒整个内壁出现光亮无污物。整个内壁出现光亮无污物。43G