ESD作业管控程序

1、東莞利源電子有限公司靜電防護作業規範1.0目的為防止因靜電的產生，而間接的破壞產品，特訂本規範期能降低到最低。2.0適用範圍凡屬本公司之靜電防護措施，均適用本規範。3.0責任凡進入靜電防護區的所有同仁，皆需遵守本作業規範。 3.1 各單位主管應對其作業所需之材料，分發或設置負有維護之責。3.2確認所屬，皆已接受本公司或外界相關ESD之訓練。3.3 各單位之靜電防護之執行及點檢均由各單位負責指定人員執行.3.4由品保部門負責稽核各防護區執行及記錄是否皆符合本規範要求。並且靜電接地主線量測記錄需送至品管管保存.3.5 防靜電量測之各儀器由品保單位負責校驗.4.0定義 無5.0程式5.1實施辦法：

2、5.1.1 設備之靜電防護措施。 (a) 硬式接地要求：使用之儀器設備的基座與電機系統之安全接地(SAFETY GROUND)必須連結。 測試用設備、庫房物料存放料架、地墊(FLOOR MATS)、輸送皮帶之接地以直接焊接、折縫鉚釘或使用夾式連接固定均可。 5.1.2 工作站之靜電防護措施： 生產流程(PRODUCTION FLOW)作業站包括，(1)COPY IC ，(2) SMD (3)DIP(4)裝配，(5)運送，(6)儲放，(7)檢驗及測試，(8)包裝 ，(9) 維修 及 其直接或間接使用設備、工具及其工作人員之軟式接地，亦必須符合本規範要求。 (a) 作業站表面材料： 必須是導電或靜

3、電消散性材料，如導電墊(TABLE MATS)，導電導板，表面電阻在1055 1010SQUARE OHM之材料。 (b) 作業站間之接地連結： 作業站之間的接地連結可以是串聯，但必須符合下列原則： 接地時，不可與設備之安全接地(SAFETY GRDUND)或高周波接地混合使用。 任何導線在連接點前一寸之內，必須以絕緣覆之。 (c) 警告標誌：(ESD Warning) 各靜電敏感作業區域，必須貼示靜電防護警告標誌。 各靜電敏感區域之場所大門，須貼示警告標誌。 5.1.3 靜電環、人員導通性測試：(CONTINUITY TEST) (a)工作人員當日進入防護區時，必須先戴靜電環於腕上，然後作導

4、通試驗，通過者方可入內工作。未通過者需更換合格靜電環再作試驗，靜電環測試步驟參考說明。 (b)做導通試驗時，需將腕帶之導線夾在測試儀器之夾片上再以手指輕按測試台中央，合格顯示綠燈，不合格顯示紅燈並將所測結果記錄靜電環量測記錄表（靜電環測試儀）。 如下圖 (c)因作業之限制而未能使用靜電環者，亦必須使用防靜電手套,始可接觸製品。 (d)靜電環測試器,由儀校人員按時校正並保存校驗報告。5.1.4工廠導電地板導通性測試及作業說明： (a)工廠內鋪設導電地板之區域，須各車間靜電接地支線每3個月量測並記錄於靜電支線阻抗量測記錄（接地電阻測量搖表），靜電幹線每3個月量測一次並記錄於靜電幹線阻抗量測記錄（接

5、地電阻測量搖表）， 靜電接地點每6個月量測一次並記錄於靜電接地點阻抗量測記錄（接地電阻測量搖表）。 (b)工作桌、桌墊接地的有效性，每三個月檢查接地情形並貼靜電合格標籤。(c) 防靜電地板測試每3個月測試一次，並填寫於靜電地板阻抗量測記錄（表面電阻測試儀）。 (d) 將廠區內靜電臺面與靜電線之連接線編號並專人點檢連接狀況,確保連接正常。 (e) 每日對生產線的靜電支線的斷路和導通狀況進行檢查，警報器工作正常，並記錄與靜電斷路&有效性點檢表（萬用表）。 (f)導電地板之維護： (1) 為維護導電地板之壽命，地板須每日或定期做清潔保養。 (2) 保養時可用拖把沾水，將表面之灰塵去除乾淨，再

6、用導電臘，效果更佳。 (3) 導電地板嚴禁使用化學性溶劑清洗，如HCFC、甲笨、香蕉水等，以確保導電材質不致變質， 脆化損壞。5.1.5 導電鞋管控： 進入工廠之所有同仁，須穿著導電鞋進入工作場所,來賓訪客須穿防塵鞋套始可進入。 5.1.6 零件、製品運送與接觸之規定： (a)人員接觸物料或製品規定： 由戴有 ESD 防護手套的人員，將待置物置放於靜電防護桌面。 以工具接觸產品時，該工具必須是不產生靜電者，不可由非ESD 防護絕緣材料工具接觸。 手工焊接作業時，其焊接工具必須有充分之接地。 (b)使用自動設備處理PCBA： 操作人員必須接地。 嚴禁使用產生靜電之物品，除非該物品有下列條件： b

7、.1 包覆於靜電場隔離容器內。 b.2 經防靜電溶液處理過。 b.3 在離子氣流涵蓋範圍內。(c)裝有IC的包裝管(TUBE)運送規定： 包裝管若為導電性材料，可由未受靜電防護人員之運送。 包裝管若為抗靜電性材料，則運送者須接地或使用抗靜電手套。 包裝管若蓋子打開或塞子取出，則必須放在靜電防護工作桌面。 零散料之移轉必須以管對管之傾倒，並注意極性。 (d)PCBA運送規定： 運送者需接地，拿取電路板，須持其邊緣，並戴上 ESD防護手套。 須置於有接地的工作站。 以金屬架運送，並在金屬車架上存取電路板。 (e)不良品之處理規定(含待修品)： 因電性功能測試或目視，特性而判定為不良品，除非已由製造

8、檢討會議決議為報廢品，否則其運送規定仍符合本規範之管制規定。 (f)現場列禁物品： 易產生靜電的物品如膠帶(TAPE)，一般塑膠物品、保麗龍(POLYLON) 置於靜電防護作業站之工作桌面時，應與製品保持適當距離,並確保放置距離在30公分以下。(g)人員接地的方法： 靜電環(Wrist Strap)必須與皮膚充分接觸。如右圖 (h)環境控制： 生產、檢驗及測試區域的溫濕度環境必須予以控制，務使靜電之產生減少到最低程度。一般業界標準為 :温度 25+3 ， 湿度 4570%. (i)包裝的規定(原料包裝)： 盤裝原料(TRAY)，所用盤子須為抗靜電或導電材質，若為抗 靜電的盤子，則必須包覆在導電

9、袋或導電盒內.若為導電性材料的盤子，則可以此方式運送或包覆於標準紙箱內。 包裝管須為抗靜電，如導電材質，且包覆於導電袋或導電盒，則可單獨運送或裝入標準紙箱內。管子兩端塞子及針狀物也必須是抗靜電或導電材料。 零件盒及PCBA暫存架採用抗靜電材料。 (j)針對重複性使用之抗靜電材料或導電材料,如儲存放置箱、隔板、抗靜電泡棉、導電料盒等,于重複使用時每週至少要用抽樣方式予以確認其阻抗值是否仍在規格內,否則應停止重複使用該材料。5.1.7 各單位 (含部門) 及工作站別，對防靜電措施之做法： (a)取用ESD敏感元件，僅可接觸其母體外殼，不可由導線 (接腳)碰觸，並須使用靜電環或ESD防護手套。 (b

10、)勿使半導體滑動於任何表面上，勿使零件接觸普通的塑膠或紡織物。5.2制程稽核與確認： 5.2.1要求： 由制程品管依規範本指導中規定作隨機稽查與確認，並列入SMT巡迴稽核檢查單和DIP巡迴稽核檢查單內。5.2.2相關部門： 所有直接與間接部門在進入 ESD 防護區域中皆需遵守本規範規定。 (a) 個人所使用的防護設備，依(5.1.3 )節實施。 (b) 靜電防護工作站之桌、地墊(TABLE & FLOOR MATS)須不定期檢查是否接觸良好。5.2.3違規處理措施： (a) 受影響之作業區應立即暫停，並依糾正和預防控制程式。 (b) 矯正措施及受影響產品的處理方式，必須受到品保部及防護

11、區域主管之認可，始准予繼續作業。5.3 教育訓練 全公司凡有機會接觸產品或在ESD區域工作的員工均應接受靜電防護的教育訓練。訓練由各單位指派工程師以上人員負責教導, 受訓員工均應納入訓練記錄存檔。5.4 靜電防護監測計畫及規格：品 名規格測 量 儀 器測量方法測量週期測 量 記 錄靜電環/靜電鞋1M±10%靜電環測試儀測量SOP每天靜電測試記錄表靜電支線接地阻抗4接地電阻測量搖表專人負責 每3個月靜電支線阻抗量測記錄靜電地板表面電阻1051010表面電阻測試儀專人負責每3個月防靜電地板阻抗量測記靜電幹線接地阻抗4接地電阻測量搖表專人負責每3個月靜電幹線阻抗量測記錄靜電接地點阻抗4接地

12、電阻測量搖表專人負責每6個月靜電接地點阻抗量測記錄靜電斷路有效性點檢是否導通萬用表專人負責每天靜電斷路&有效性點檢表輸送帶、工作臺面106109表面電阻測試儀專人負責每3個月貼靜電合格標籤ESD靜電測試紀錄表周轉架 ， 靜電箱106109表面電阻測試儀專人負責每6個月貼防靜電標籤ESD靜電測試紀錄表5.5 靜電量測方法：5.5.1靜電環測試步驟a.裝入9V電池於靜電測試器內；b.將接地線夾插入靜電測試器上方；c.將靜電腕帶牢固在手腕上；d.將有環扣接地線扣在靜電腕帶上；e.兩接地線緊緊夾住；f.將帶有靜電腕帶之手施壓在靜電測試器圓形金屬片上,此時開始測試；g.靜電測試器出現綠燈並有信號

13、聲,表示此接地系統OK；h.如果左邊(LOW)紅燈亮,請檢查靜電腕帶中的阻抗是否低於500K,否將有害於人體；i.測試器在使用50000後,測試仍會出現綠燈,但未有信號聲,表示該換電池。5.5.2靜電臺面、靜電周轉箱等靜電量測方法:a.取表面阻抗量測計,如圖分別插上兩個測量砣.(圖1)b.將測量砣放置於待測平面上(圖2),按下TEST鍵.讀出數值(圖3).桌面,周轉箱測量值紀錄於“靜電測試合格標籤”貼於所測物體上，測量週期為三個月測一次.e08 标示为108,以此类推 图3图2图15.5.3靜電地板的靜電量測方法：a.將待測量地板乾淨，沒有髒汙。b.將測量砣放置在測量地板上，兩個砣之間的間距不可超過1m(如下圖1)c.將靜電測量儀的紅線、黑線分別插在兩個孔內，並將其另一端分別放在兩個測量砣上，打開電源開關進行測量(如下圖2)d.讀取測量儀上的數字在1051010範圍內，記錄於靜電地板阻抗量測記錄（表面電阻測試儀）。e.靜電地板每半年打一次導電臘。5.5.4靜電幹線測試方法:a.將藍線一端接入P端，另一端接插地樁；紅線一端接E端，另一端接插地樁；黃線一端接C端，另一端接總幹線。b.插地樁插入大地40CM以上，兩個插地樁地距離40M以上。c.將檔位旋紐旋至X1檔。d.右手搖動搖杆手臂，左手轉動刻度盤，觀察指