纯水系统作业指导书1

1、厦门集顺半导体制造有限公司40T/H超纯水系统作业指导书厂务部制2015年5月25日目 录目录 2一、多介质过滤器 7手动操作说明 7多介质单机图 13二、活性炭过滤器 14手动操作说明 14活性炭单机图 17三、阳塔 18手动操作说明 18阳塔单机图 25四、阴塔 26手动操作说明 26阴塔单机图 32五、RO机组 33手动操作说明 33RO单机图 37六、混床 38手动操作说明 38混床单机图 47七、终端装置 48手动操作说明 48八、常见异常报警及应对措施 52警告：1、本手册仅限于紧急状态使用，非操作员未经允许不得擅自在设备运行正常时操作。2、操作设备前必须先阅读本手册及电话询问老员

2、工，并密切观察各阀门、按钮和电磁阀开关状态，以及各仪表是否处于正常状态。气动阀处于关闭状态气动阀处于打开状态自动运行时，灯亮为电磁阀打开；手动时，阀门开和关，灯都不亮。旋钮开关/启动按钮/关闭按钮一、多介质过滤器运行状态行程表行程TIME阀门ON使用泵要 点采水-V1,V2原水泵A/B中的一套原水箱LL液位以上过滤水箱H液位以下逆洗15minV3,V4反洗水泵设备累计产水时间达到设定值原水箱LL液位以上静置5minN/AN/AN/A正洗10minV1,V5原水泵A/B中的一套原水箱LL液位以上待机Rest timeALL OFFNANA多介质过滤器手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态

3、表中为准。警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！ 2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。项次动作操作说明1手动采水1. 将控制柜上多介质过滤器旋钮开关旋转到手动状态。2. 打开V1，V2号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应之电磁阀来实现V1，V2号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1，V2号阀。）3. 手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动。注意：多介质过滤器和活性炭

4、过滤器必须一起运行，否则管道憋压。）2手动逆洗1. 按下原水泵停止按钮，泵即停止。，水泵停止工作。2将项次1中的阀门复位，保持控制柜上多介质过滤器旋转开关在手动状态。3.手动操作打开V3,V4号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V3,V4号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3,V4号阀）4.手动操作开启反洗水泵（将反洗水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动。）3静置1. 关闭所有阀门（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应之电磁阀来实现关闭；气源不满足时，则需要用扳手关闭已打开的阀门）4手动正洗1. 保持控制柜上多介质过滤器旋转开关处在手动

5、状态。2.手动操作打开V1,V5号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V5号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V5号阀）3.手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）5自动产水1.按下原水泵停止按钮，泵即停止。2.将项次14中的阀门复位，将多介质过滤器旋钮开关旋转于自动状态。3.将原水泵、反洗水泵旋钮开关旋转到自动位置。多介质过滤器单体原水泵（地点：水泵房）反洗泵（地点：水泵房）原水泵/反洗泵旋钮开关（地点：水泵房）多介质过滤器单体多介质过滤器单机图二、活性炭过滤器运行状态行程表行程TIME阀门使用泵要件采水

6、-V1,V2原水泵A/B中的一套原水箱LL液位以上过滤水箱H液位以下逆洗15minV3,V4反洗水泵设备累计产水时间达到设定值原水箱LL液位以上静置5minN/AN/AN/A正洗10minV1,V5原水泵A/B中的一套原水箱LL液位以上待机Rest timeALL OFFNANA活性炭过滤器手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！ 2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。项次动作操作

7、说明1手动采水1. 将活性炭过滤器旋钮开关旋转到手动状态。2. 手动操作打开V1，V2号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1，V2号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1，V2号阀）3. 确认多介质过滤器的阀门是在采水状态。4. 手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动，注意：必须和多介质过滤器一起运行，否则管道憋压。）2手动逆洗1.按下原水泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次1中的阀门复位，保持控制柜上多介质过滤器旋转开关在手动状态。3.手动操作打开V3,V4号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来

8、实现V3,V4号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3,V4号阀）4.手动操作开启反洗水泵（将反洗水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动。）3静置1.按下反洗水泵停止按钮，泵即停止。，关闭反洗水泵。2.关闭所有阀门（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应之电磁阀来实现关闭；气源不满足时，则需要用扳手关闭已打开的阀门）4手动正洗1. 手动操作打开V1,V5号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V5号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V5号阀）2. 确认多介质过滤器的阀门是在采水状态。3. 手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵

9、旋钮开关置于手动位置，按下按钮，泵即启动，注意：多介质过滤器必须处于产水状态，否则管道憋压。）5自动采水1.按下原水泵停止按钮，泵即停止。2.将项次4中的阀门复位，将活性炭过滤器旋钮开关旋转于自动状态，并将多介质复位。3.将原水泵、反洗水泵旋钮开关旋转到自动位置。活性炭过滤器单体活性炭过滤器单机图三、阳塔运行状态行程表行程TIME阀门使用泵要件采水-V1,V2阳塔送水泵A/B中的一套过滤水箱LL液位以上脱气塔水箱H液位以下逆洗3minV3,V42B3T再生泵A/B中的一套阴塔产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上注酸30minV8,V9,V4,V6,AV012B3T再生泵A/B中的一套阴

10、塔产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上 酸计量桶LL液位以上慢洗40minV8,V4,V6,AV012B3T再生泵A/B中的一套阴塔产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上静置10minN/AN/AN/A快冲15minV1,V5阳塔送水泵A/B中的一套阴塔产水时间或水质达到设定值过滤水箱LL液位以上待机Rest timeALL OFFNANA阳塔（阳离子交换器）手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！ 2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋

11、压或串水。3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。项次动作操作说明1手动采水1.将阳塔旋钮开关旋转到手动状态。2.手动操作打开V1，V2号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1，V2号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1，V2号阀）3.手动操作开启阳塔送水泵（将阳塔送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）2手动逆洗1.按下阳塔送水泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次1中的阀门复位，保持控制柜上阳塔过滤器旋扭开关在手动状态。3.手动操作打开V3,V4号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V3,V4号阀的

12、开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3,V4号阀）2.手动操作开启2B3T再生泵（将2B3T再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）3注酸1.按下2B3T再生泵关闭按钮，将水泵关闭。2.将项次2中阀门复位，保持控制柜上阳塔过滤器旋转开关在手动状态。3.手动操作打开V8,V9，V4，V6，AV01号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V8,V9，V4，V6，AV01号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V8,V9，V4，V6，AV01号阀）2.手动操作开启2B3T再生泵（将2B3T再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）4慢洗1. 按

13、下2B3T再生泵关闭按钮，将水泵关闭。2.将项次3中阀门复位，保持控制柜上阳塔过滤器旋转开关在手动状态。3.手动操作打开V8,V4，V6，AV01号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V8,V4，V6，AV01号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V8,V4，V6，AV01号阀）4.手动操作开启2B3T再生泵（将2B3T再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）5静置1.按下2B3T再生泵关闭按钮，将水泵关闭。2. 保持阳塔旋钮开关旋转到手动状态。3. 保持阳塔旋钮开关旋转到手动状态。4.将项次4中阀门复位，保持控制柜上阳塔过滤器旋转开关在手动状态。6

14、手动快洗1.保持阳塔旋钮开关旋转到手动状态。2.手动操作打开V1,V5号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V5号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V5号阀）3.手动操作开启阳塔送水泵（将阳塔送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）7手动采水1.按下阳塔送水泵停止按钮，泵即停止。2.将项次14中的阀门复位，将多介质过滤器旋钮开关旋转于自动状态。3.将阳塔送水泵、2B3T再生泵旋钮开关旋转到自动位置。阳塔送水泵阳塔单体阳塔/阴塔再生系统2B3T再生泵阳塔单机图四、阴塔运行状态行程表行程TIME阀门使用泵要件产水-V1,V2阴塔送水泵A/B

15、中的一套脱气塔水箱LL液位以上中间水箱H液位以下逆洗3minV3,V42B3T再生泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上注碱40minV8,V9,V4,V6,AV012B3T再生泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上 碱计量桶LL液位以上慢洗50minV8,V4,V6,AV012B3T再生泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上静置40minN/AN/AN/A快冲15minV1,V5阴塔送水泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值脱气塔水箱LL液位以上串行试水15minV1,V5阴塔送水泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值脱气

16、塔水箱LL液位以上循环试水60minV1,V7,阳塔V2，阳塔V7阴塔送水泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值及第一次采水前待机Rest timeALL OFFNANA阴塔（阴离子交换器）手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！ 2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。项次动作操作说明1手动采水1.将阴塔旋钮开关旋转到手动状态。2.手动操作打开V1，V2号阀（气源满足时，可在设备

17、控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1，V2号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1，V2号阀）3.手动操作开启阴塔送水泵（将阴塔送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）2手动逆洗1.按下阴塔送水泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次1中的阀门复位，保持控制柜上阴塔过滤器旋扭开关在手动状态。3.手动操作打开V3,V4号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V3,V4号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3,V4号阀）4.手动操作开启2B3T再生泵（将2B3T再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）3注碱1.按下2B3T再生泵停止按

18、钮，泵即停止。2. 将项次2中的阀门复位，保持控制柜上阴塔过滤器旋扭开关在手动状态。3.手动操作打开V8,V9，V4，V6，AV01号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V8,V9，V4，V6，AV01号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V8,V9，V4，V6，AV01号阀）4.手动操作开启2B3T再生泵（将2B3T再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）4慢洗1.按下2B3T再生泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次3中的阀门复位，保持控制柜上阴塔过滤器旋扭开关在手动状态。3.手动操作打开V8,V4，V6，AV01号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通

19、过手动操作对应电磁阀来实现V8,V4，V6，AV01号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V8,V4，V6，AV01号阀）4.手动操作开启2B3T再生泵（将2B3T再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）5静置1.按下2B3T再生泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次4中的阀门复位，保持控制柜上阴塔过滤器旋扭开关在手动状态。6手动快洗1. 保持控制柜上阴塔过滤器旋扭开关在手动状态。2.手动操作打开V1,V5号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V5号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V5号阀）3.手动操作开启阴塔送水泵（将阴塔送水泵

20、旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）7串行试水1.按下阴塔送水泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次6中的阀门复位，保持控制柜上阴塔过滤器旋扭开关在手动状态。3.手动操作打开V1,V5号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V5号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V5号阀）4.手动操作开启阴塔送水泵（将阴塔送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）8循环试水1.按下阴塔送水泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次7中的阀门复位，保持控制柜上阴塔过滤器旋扭开关在手动状态，将阳塔过滤器旋钮开关旋转到手动状态。3.手动操作打开阴塔V1,V7，阳塔

21、V2，V7号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现阴塔V1,V7，阳塔V2，V7号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开阴塔V1,V7，阳塔V2，V7号阀）4.手动操作开启阴塔送水泵（将阴塔送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）9自动采水1.按下阴塔送水泵停止按钮，泵即停止。2.将项次8中的阀门复位，将多介质过滤器旋钮开关旋转于自动状态。3.将阴塔送水泵、2B3T再生泵旋钮开关旋转到自动位置。阴塔送水泵阴塔单体阴塔单机图五、RO机组运行状态行程表行程TIME(min.)阀门使用泵要件产水Run timeMV01ARO送水泵A/BRO高压泵A/B中间水箱

22、LL液位以上RO水箱H液位以下冲洗3MV01A，MV02ARO送水泵A/BRO累计待机3小时RO产水完毕待机Rest timeALL OFFNANARO（反渗透）手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。警告：1、启动泵前，必须检查阀门和电动阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。2、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。项次动作操作说明1.手动采水1. 将RO系统旋钮开关旋转到停止运行状态。2. 将进水电动阀旋钮开关旋转到手动状态，开启RO进水电动阀(MV-01A)。3. 手动操作开启RO送水泵（将RO送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启

23、动）4. 手动操作开启RO高压泵（将RO高压泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）2.停止1 手动操作关闭RO高压泵（保持RO高压泵旋钮开关置于手动位置，按下关闭按钮）2.手动操作关闭RO送水泵（保持RO送水泵旋钮开关置于手动位置，按下关闭按钮，泵即停止）3. 将进水电动阀旋钮开关旋转到停止状态，关闭RO进水电动阀(MV-01A)。3手动冲洗1保持RO高压泵、RO送水泵旋钮开关在手动位置。2、将进水电动阀、冲洗排放电动阀旋钮开关旋转到手动状态，开启RO进水电动阀(MV-01A)及RO冲洗排放电动阀门（MV-02A）3.手动操作开启RO送水泵（将RO送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动

24、按钮，泵即启动）4.自动采水1. 手动操作关闭RO送水泵（保持RO送水泵旋钮开关置于手动位置，按下关闭按钮，泵即停止）2.将进水电动阀旋钮开关旋转到自动状态，关闭RO进水电动阀(MV-01A)。3.将RO高压泵旋钮开关、RO送水泵旋钮开关旋转到自动状态。5. 将RO系统旋钮开关旋转到自动运行状态。RO送水泵RO单体/高压泵RO系统单机图六、混床运行状态行程表行程TIME阀门使用泵要件产水-V1,V2，V12混床送水泵A/B中的一套RO水箱LL液位以上纯水箱H液位以下逆洗15minV3,V4，V13混床再生泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上静置5min-产水时间或水质达

25、到设定值排水20minV9,V11-产水时间或水质达到设定值注碱50minV14,V15,V16,V10混床再生泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上碱计量桶LL液位以上碱慢洗10minV14,V16，V10混床再生泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上注酸40minV14,V16,V17,V10混床再生泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上酸计量桶LL液位以上酸慢洗40minV14,V16,V10混床再生泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上双向洗涤30minV3,V7,V10,V13混床再生泵A/B中的

26、一套产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上排水20minV9,V11-产水时间或水质达到设定值空气搅拌15minV8,V9-产水时间或水质达到设定值静置5min-满水3minV1,V9，V13混床再生泵A/B中的一套产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上试水60minV1,V6, V12混床送水泵A/B中的一套RO水箱LL液位以上纯水箱HH液位以下待机循环-V1，V5，V13混床再生泵A/B中的一套MB（混床）手动操作说明书手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！ 2、启动泵前，必须

27、检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。项次动作操作说明1手动采水1.将混床旋钮开关旋转到手动状态。2.手动操作打开V1，V2，V12号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1，V2，V12号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1，V2号阀），UV阀门处于打开状态。3.手动操作开启混床送水泵（将混床送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）2手动逆洗1. 按下混床送水泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次1中的阀门复位，保持混床旋钮开关处于手动状态。3.手动操作打开V3,

28、V4，V13号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V3,V4，V13号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3,V4，V13号阀）4.手动操作开启混床再生泵（将混床再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）3静置1.按下混床再生泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次2中的阀门复位，保持混床旋钮开关处于手动状态。3.关闭所有阀门（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现关闭；气源不满足时，则需要用扳手关闭已打开的阀门）4手动排水1. 保持混床旋钮开关处于手动状态.2.手动操作打开V9,V11号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电

29、磁阀来实现V9,V11号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3,V4，V13号阀）5手动注碱1. 将项次4中的阀门复位，保持混床旋钮开关处于手动状态.2.手动操作打开V14,V15，V16，V10号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V14,V15，V16，V10号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V14,V15，V16，V10号阀）3.手动操作开启混床再生泵（将混床再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）6手动碱慢洗1.按下混床再生泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次5中的阀门复位，保持混床旋钮开关处于手动状态。3.手动操作打开V14,V

30、16，V10号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V14,V16，V10号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V14,V16，V10号阀）3.手动操作开启混床再生泵（将混床再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）7手动注酸1.按下混床再生泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次6中的阀门复位，保持混床旋钮开关处于手动状态。3.手动操作打开V14,V17，V16，V10号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V14,V17，V16，V10号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V14,V17，V16，V10号阀）4.手动操作开启混

31、床再生泵（将混床再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）8手动酸慢洗1.按下混床再生泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次7中的阀门复位，保持混床旋钮开关处于手动状态。3.手动操作打开V14, V16，V10号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V14, V16，V10号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V14, V16，V10号阀）4.手动操作开启混床再生泵（将混床再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）9手动双向洗涤1.按下混床再生泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次8中的阀门复位，保持混床旋钮开关处于手动状态。3.手动操作打开V3, V

32、7，V10，V13号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V3, V7，V10，V13号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3, V7，V10，V13号阀）4.手动操作开启混床再生泵（将混床再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）10手动排水1.按下混床再生泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次9中的阀门复位，保持混床旋钮开关处于手动状态。3.手动操作打开V9, V11号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V9, V11号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V9, V11号阀）11手动空气搅拌1. 将项次10中的阀门复位，

33、保持混床旋钮开关处于手动状态。2.手动操作打开V8, V9号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V8, V9号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V8, V9号阀，注意：需气量调压阀，使其达到指定压力范围。）12手动满水1. 将项次11中的阀门复位，保持混床旋钮开关处于手动状态。2.手动操作打开V1,V9，V13号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V9，V13号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V9，V13号阀）3.手动操作开启混床再生泵（将混床再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）13手动试水1.按

34、下混床再生泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次12中的阀门复位，保持混床旋钮开关处于手动状态。3.手动操作打开V1,V6，V12号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V6，V12号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V6，V12号阀。注意：冲洗时需打开V6后端手动阀，使其通过酸碱废水管流入到废水站中，当电阻率冲洗到2M·cm时，切换阀门，使水流入到过滤水箱中。）4.手动操作开启混床送水泵（将阴塔送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）14手动待机循环1.按下混床宋水泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次13中的阀门复位，保持混床旋钮开

35、关处于手动状态。3.手动操作打开V1,V5，V13号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V5，V13；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V5，V13号阀）4.手动操作开启混床再生泵（将混床再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）15自动产水1.按下混床再生泵停止按钮，泵即停止，将再生泵、混床送水泵旋钮开关旋转到自动位置。2.将项次14中的阀门复位，将混床旋钮开关旋转于自动状态。混床送水泵混床单体冲洗切换阀（注意：在冲洗混床，电阻率达到2M·cm时，切换此阀门到过滤水箱，以节约用水）混床再生泵混床单机图七、终端装置运行状态行程表行程TIM

36、E(min.)阀门使用泵要件产水Run timeMV01A纯水送水泵A/B终端增压泵A/B真空泵A/B氮封水箱LL液位以上待机Rest timeALL OFFNANA终端装置手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。警告：1、启动泵前，必须检查阀门是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。2、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。项次动作操作说明1.手动采水1.纯水送水泵、终端增压泵、真空泵旋钮开关旋转到手动状态，将变频器设定在就地模式（loc rem）。2.按下纯水送水泵启动按钮，泵即启动。3.按下变频器开始（start）按钮，调整变频器上下箭头，设定变

37、频器频率使终端供水压力在2.5-3kg/cm²。4. 按下真空泵启动按钮，泵即启动。2.待机1、保持纯水送水泵、终端增压泵、真空泵旋钮开关旋转到手动状态，将终端增压泵变频器设定在就地模式。2. 按下真空泵启动按钮，泵即停止。3. 按下终端增压泵变频器停止（stop）按钮，变频器频率频率迅速变为0。4. 按下纯水送水泵停止按钮，泵即停止。3自动产水1、依次将纯水送水泵、真空泵、终端增压泵按钮旋转到自动状态，然后将变频器调整到远程控制状态（lock rem）。纯水送水泵终端增压泵终端增压泵变频器八、常见异常警报及应对措施项次警报名称警报概要装置的自动应对确认事项1控制空气气源压力低CDA

38、气源压力不足0.5MPa发出警报，有使用CDA控制之装置全部停止工作，直至压力达到0.5MPa以上时会自动恢复请确认气源在本系统入口处阀门有无故障，压力有无异常确认上述没有问题时，请确认压力开关是否存在故障2RO高压泵进水三次低压RO高压泵启动时入口压力0.1MPa以下发出警报，同时RO系统停机。（按下报警复位按钮3秒，系统恢复启动）请确认RO机组的阀门是否打开RO进水电动阀是否开启RO保安过滤器是否堵塞3原水箱液位低原水箱的液位在LL以下时发出警报，砂滤/碳滤停止运行（液位回复L液位以上时，系统恢复启动）请确认原水箱的实际水位请确认原水箱给水是否正常确认液位计是否正常工作4过滤水箱液位低过滤水箱水箱液位在LL以下时发出警报，阳塔停止运行（液位回复L液位以上时，系统恢复启动）请确认过滤水箱的实际水位请确认砂碳滤供水是否正常确认液位计是否正常工作