TFT LCD简介与生产工艺流程

1、sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程 1TFT-LCD ProCess 2sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程TFT-LCD sTruCTure & PrinCiPiumTFTThin Film Transistor 薄膜电晶体LCDLiquid Crystal Display液晶显示器v由于TFT-LCD具有体积小，重量轻，低辐射，低耗电量，全彩化等优点，因此在各类显示器材上得到了广泛的应用。 3sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程TFT-LCD各结构的功能q 背光板模組:提供光的來源.q 上下偏光板，TFT Glass Substrate，液晶：形成偏振光，

2、控制光线的通过与否。q 彩色滤光片：提供TFT LCD紅，綠，藍(光的三原色)的來源。q ITO透明导电层：提供透明的导电通路。q Photo Spacer：提供一固定高度給彩色滤光片和TFT Glass Substrate。作为灌入液晶時的空間.及作为上下两层Glass的支撑。 4sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程TFT-LCD显示原理 5sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程TFT-LCD使用的液晶为TN（Twist Nematic）型液晶，液晶分子呈椭圆状。qTN型液晶一般是顺着长轴方向串接，长轴间彼此平行方式排列。q当接触到槽装表面时，液晶分子就会顺着槽的方向排列于槽中

3、。液晶简介 6sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程光与液晶分子产生的效果q当线性偏极光射入上层槽状表面时，此光线随着液晶分子的旋转也产生旋转。q当线性偏极光射出下层槽状表面时，此光线已经产生了90度的旋转。 7sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程偏光板的特性作用：将非偏极光（一般光线）过滤成偏极光。当非偏极光通过a方向的偏光片时，光线被过滤成与a方向平行的线性偏极光。v右上图：线性偏极光继续前进，通过 第二片偏光片时，光线通过。v右下图：通过第二片时，光线被完全 阻挡。 8sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果（1）v当上下偏光

4、片相互垂直时，若未施加电压，光线可通过。 9sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程v当施加电压时，光线被完全阻挡。将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果（2）TFT LCD简介与生产工艺流程TFT-LCD显像原理（1）sunyesTFT-LCD显像原理（2）sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程 12sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程 TFT Array Process Liquid Crystal Cell Process Module Assembly ProcessTFT-LCD ProCess 13C/F ProCesssunyesTFT LCD简介与生产工

5、艺流程 14sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程iTo透明导电层的作用sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程 16sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程保持電容TFT元件加入電壓液晶保持電容TFT元件加入電壓液晶TFT元件加入電壓液晶液晶v因TFT组件的动作类似一个开关(Switch)，液晶组件的作用类似一个电容，藉Switch的ON/OFF对电容储存的电压值进行更新/保持。vSW ON时信号写入(加入、记录)在液晶电容上，在以外时间 SW OFF，可防止信号从液晶电容泄漏。v在必要时可将保持电容与液晶电容并联，以改善其保持特性。TFT ArrAy 等效电路 17sunye

6、sTFT LCD简介与生产工艺流程 这是5次光刻形成TFT图形，采用底栅背沟道刻蚀的工艺。以玻璃为基板。第一次光刻形成栅线原料为Cr。第二次光刻形成“硅岛”SiNx，a-Si，n+-a-Si层，第三次光刻形成ITO导电膜，第四次光刻形成源极漏极，材料为Cr，并进行n+切断，基本形成TFT。最后第五次光刻形成SiNx保护膜。TFT-ArrAy ProCessData Bus Line and S/D Metal Sputtering Data Bus Line and S/D Patterning Using 4th MASKEtch-Back of n+a-Si Using S/D Layer

7、 as a MASKPassivation SiNx Deposition Using PECVDPassivation SiNx Atch Using RIE 18sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程CeLL ProCess(1) 19sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程CLeAning 20sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程 Pi CoATing淡黃色淡黃色8001200q 将PI液滴在Anilox Roll 上。qDoctor Roll将Anilox Roll上的PI液整平。qAPR板上的圆型凸出物将Anilox Rool凹槽内PI挤压出来并带走。q将APR 板

8、上PI均匀转印到基板上，提供液晶配向层。 21sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程Pi rubbingPI膜配向:基板和Roller成45度角, TFT和CF基板方向差 90 度.Roller高速旋轉時,絨毛上的纖維會甩立起來,將PI膜刷出紋路.Rubbing的情況,類似於重鋪柏油馬路之前的刨路機,將路面刨出紋路.配配 向向 絨絨 布布 22sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程CeLL ProCess(2) 23sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程seAL PrinTing 24sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程vSpacer Spray制程：将间隙粒子均匀地

9、分布在基板上，以作为TFT与CF间的支撑，使整个面板拥有均匀的间隙。sPACer sPrAy 25sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程湿式洒布 26sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程HoT Pressure 27sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程HoT PressHoT Press 28sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程CeLL ProCess(3) 29sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程sCribing & breAking 30sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程1ST CUTTING2ND CUTTINGCuTTing me

10、THoD 31sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程对设备的影响q玻璃基板的尺寸变大直接音响电极图案形成设备。（Array）e.g.成膜设备：占地面积加大与确保膜厚均匀性等问题。e.g.湿式设备：更换效率与节省水等问题。q切割尺寸增大直接影响面板组装设备。（CELL）e.g.液晶注入设备：处理时间过长等问题。q次代交替快，产品生命周期短，厂商设备开发成本高。 LCD面板世代sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程LC injeCTionv 将容器抽真空v 将装有LC的容器上升与PANEL的注入端接触，此时LC通过毛细现象上升。v 过一段时间后充入洁净的空气或氮气破真空至常压。v 通过真空差压的原理，LC经过一段时间后充满PANEL。 33sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程v目的：将灌好目的：将灌好LC的的PANEL封口。封口。enD seAL 34sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程beveLingv目的：将切裂后的玻璃毛边用磨轮磨出倒角，并去除外围的短路棒（Shorting Bar） 35sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程PoLArizer ATTACHmenTv上下偏光片滤光角度差90度偏光片貼附偏光片貼附 36suny