光刻机灯设计与安装毕业

1、南京理工大学继续教育学院本科毕业论文（设计） 学习中心：常州信息职业技术学院学 号： 541122130110 姓 名： 许嘉佳 专 业： 电子科学与技术 指导教师： 张红 2015 年 3 月 13日 本科毕541122130110电子科学与技术UT1100光刻机报警灯设计与安装指导教师意见（请对论文的学术水平做出简要评述。包括选题意义；文献资料的掌握；所用资料、实验结果和计算数据的可靠性；写作规范和逻辑性；文献引用的规范性等。还须明确指出论文中存在的问题和不足之处。）结论 （合格、不合格）指导时 541122130110电子科学与技术UT1100光刻机报警灯设计与安装（请对论文的学术水平做

2、出简要评述。包括选题意义；文献资料的掌握；所用资料、实验结果和计算数据的可靠性；写作规范和逻辑性；文献引用的规范性等。还须明确指出论文中存在的问题和不足之处。）（针对上面提出的问题和不足之处提出具体修改意见。评阅成绩合格，并可不用修改直接参加答辩的不必填此意见。） 论文原创性声明本人郑重声明：本人所呈交的本科毕业论文UT1100光刻机报警灯设计与安装是本人在导师的指导下独立进行研究工作所取得的成果。论文中引用他人的文献、资料均已明确注出，论文中的结论和结果为本人独立完成，不包含他人成果及使用过的材料。对论文的完成提供过帮助的有关人员已在文中说明并致以谢意。本人所呈交的本科毕业论文没有违反学术道

3、德和学术规范，没有侵权行为，并愿意承担由此而产生的法律责任和法律后果。 论文作者（签字）： 许嘉佳日期：2015年3月13日 目 录一、背景概述二、评估方案三、各阶段具体工作四、附件（工作计划）五：控制器组装安全六：设计总结七：致谢八：参考文献 一 背景概述评估方案结论：，解决报警连锁响应时间相对略长的问题。阶段概述 报警指示灯报警指示灯报警指示灯报警指示灯报警指示灯报警指示灯. 第三阶段控制方案设计选取2台设备分别做了试验：UT1100# 报警灯输出定义：输出绿灯：状态-设备作业中 定义1-放片架作业输出红灯: 状态-传输报警/作业结束定义1-放片架开始作业后，作业员20秒内未完成输入菜单执

4、行曝光，报警 定义2-其他原因导致传输异常未执行曝光20秒以上，报警。定义3-作业曝光中，设备掉Z MODE异常发生后3秒以后，报警。定义4-作业结束在15秒内未取走片架，报警。输出黄灯：状态-设备闲置定义1-无片架，无曝光动作。以上设备UT#04是由分立器件，以及延时继电器，继电器，通过一定的逻辑组合关系完成。试用合格。但是功能有局限性。报警响应时间20秒。时间略长。UT1100# 报警输出定义：绿灯常亮：状态-设备正常作业 应对动作-无绿灯闪亮：状态-设备正常作业 应对动作-需要作业员收片架红灯常亮：状态-AUTOLOADER传输报警 应对动作-需要作业员通知技术人员处理红灯闪亮：状态-Z

5、 MODE报警 应对动作-需要作业员现场确认状况恢复流通黄灯常亮：设备IDLE 应对动作-无以上是设备UT#01是采用单片计算机来完成控制部分，解决了报警响应时间略长的问题。报警响应时间3秒之内。试用合格！第三阶段-控制方案设计通过优化使得报警控制连锁方案性能提升，在设备安全，工艺安全的前提下符合生产要求。主要控制单元：A方案：主要控制单元由RELAY TIMER RELAY等分立器件通过逻辑关系组成B方案：主要控制单元由微处理器（单片机）组成C:优化性能比较：工业级别信号处理，控制可靠，稳定。LED报警灯输出：A方案: LED报警灯输出只有一种模式三种状态。目前为常亮模式B方案：LED报警灯

6、输出两种模式，六种状态。分常亮和闪烁。C:优化性能比较：输出状态由3种增加到6种，便于作业人员识别AUTOLOADER异常检测传感器：A方案: 无B方案：有C:优化性能比较：传输响应时间由20秒提高到立即响应温度报警传感器：A方案：无B方案：有C:优化性能比较：增加了温度报警传感器，提高了工作安全水平光敏传感器 真空传感器 片架检测传感器：A方案：有B方案：有监测设备状态变化响应时间:A方案：小于20秒B方案：小于6秒C：优化性能比较：提高了响应时间优化后性能规格合格，实际方案已经固化。后续剩余所有UT STEP光刻机报警安装计划都采用最终的优化方案。UT1100报警响应时间绿灯常亮：设备状态

7、发生-设备正常作业 报警响应时间-立即绿灯闪亮：设备状态发生-设备作业结束 报警响应时间-6秒内红灯常亮：设备状态发生-AUTOLOAD传输报警 报警响应时间-立即红灯闪亮：设备状态发生-Z MODE报警 报警响应时间-3秒内黄灯常亮：设备状态发生-设备IDLE 报警响应时间-立即黄灯闪亮：设备状态发生-工作控制器异常报警 报警响应时间-6秒内第四阶段-选型1. stage 设置wafer VAC sensor（载台圆片真空传感器）2. 设备曝光路设置光感sensor switch3. 设备出片端index安装设置cassette 漫反射switch4. Wafer ready 触发coupl

8、er sensor监测设备传输异常5. 18D20温控集成电路6. STC125C5A60S2 单片机（Single chip microcomputer ）第五阶段系统组装/编程/验证 四：附件-工作计划 UT1100报警控制盒安装工作量统计/每台项目工作内容工作量统计 单位：小时CONTROLLER 控制器开关电源等安装2组装PCB定位安装2信号线缆布线2引线布线4调试PROGRAM2LED LAMP 安装灯体安装1连接信号线1VAC SENSOR 安装VAC 管路安装1连接信号线1光敏 SENSOR 安装探头安装1连接信号线1WAFER READY SENSOR COUPLER 安装1安

9、装连接信号线1验证410月11月12月1月2月3月4月5月6月7月8月汇总UT04# 报警试用状况制定改进方案汇总UT01# 报警试用状况制定改进方案提请集中采购PR，跟催采购备件到货UT03安装验证UT05安装验证UT06安装验证UT07安装验证UT08安装验证UT09安装验证UT11安装验证1个UT1100报警控制盒累计约21.5个工时，计划进度依据按每日安排工作一小时计算约22天完成。预计一个月完成一台机的改造。五：控制器组装安全电气设备安装调试过程中的安全注意事项1、电烙铁尽量选用恒温或可调节。在焊接精密元器件时，尤其选用烙铁可靠接地。防止静电击穿元件。2，控制器调试时，停电后再验电，

10、一定要养成习惯。注意断路器不能作为隔离开关之用，即使断路器手柄扳到关断（OFF）的位置，断路器的进线端也带电，一定拔掉电源插头。 3、注意静电对电子电气设备的影响，不要用手去摸电路板。也要注意静电伤人，尽量不要用手去触摸电气元件。在冬天等干燥季节尤其要注意。 4、各电气元件要按规定做好接地防护，正确的接地对防干扰防电击非常必要。整机也要按照要求进行正确接地。 5、注意不要让异物尤其金属丝等掉入PLC等控制器的内部。 6、调试时要采取必要的防护措施，如戴绝缘手套。7、对受湿受潮的设备不能进行调试，若强行调试，人容易触电，设备容易损坏，要等设备完全干透后才能进行调试。 六：设计总结通过这次的毕业设

11、计我得到了很多的学习和锻炼，实际的工作能力得到了提高。在指导老师和同学们的帮助下，我毕业论文也终于告一段落。在设计写作时遇到一些难题，自己能够去刻苦的钻研，能够谦虚的向老师和同学请教，毕业设计工作现已经接近尾声，在这短短的过程中，我有着很深的体会，现在我就来谈谈我的体会：（1）此次毕业设计，给我感触很大，不再是课本上的原理图和框图，而是通过自己所学的知识，在指导老师的指引下拿出设计方案，并最终试验成功。（2）在硬件图设计方面，详细的了解课题要实现的功能，通过查找资料对所需的元件的功能，技术参数及适用范围等有了一个比较系统的了解。再由多种方案经过反复的论证，最后得出一个比较经济，实用的方案来。

12、论文的写作是一个不断积累丰富自己的过程，在设计的过程中，在老师的指导和帮助下，独立的完成了这个设计，也对相关的专业知识再一次的巩固。通过这一次毕业设计使我得到了很好的学习和锻炼，实际的工作能力也得到了提高。使我在工作中考虑问题的时候能够更加的深入，懂得了如何把理论知识转化为实践，同时又能从实践中领会理论知识，懂得了实践和理论的相结合，是一次难得的机会，使我在以后的工作和生活中，有了很大的帮助。 七：致谢从开始写作至论文最终定稿，总共花费了我一个月以来所有的业余时间，虽说在繁忙的工作之余要完成这样一篇论文的确不是一件很轻松的事情，但我内心深处却满含深深的感激之情。感谢华润微电子给我提供的这次学习机会，感谢领导和师傅们给了我很多建议及帮助，让我能够静静地坐下来，在知识的海洋里吸取更多的营养，从而能够为自己进一步的加油充电。通过论文的撰写，使我能够等系统、全面的学习有关半导体技术先进的前沿理论知识，并得以借鉴众多专家学者的宝贵经验，这对于我今后的工作无疑是不可多得的宝贵财富。论文中的有些观点以及阐述难免有疏漏和不足的地方，欢迎老师们指正。八：参考文献1. 康华光，电子技术基础-模拟部分 第五版.北京：高度教育出版社.2006