国家标准(真空镀膜设备通用技术条件GB11164-89)

1、中华人民共和国国家标准 真空镀膜设备通用技术条件 GB 1116489 Vacuum deposition equipments generic specification1 主题内容与适用范围 本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。 本标准适用于压力在1×1051×10-4Pa范围的各种类型真空镀膜设备（以下简称设备）。2 引用标准 GB 6070 真空法兰 GB 191 包装储运指示标志 GBn 193 出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件3 技术要求3.1 正常工作条件 a. 温度：1030； b. 相对湿度：不

2、大于80%； c. 冷却水进水温度：不高明于25； d. 冷却、加热等循环用水的质量：采用城市自来水或质量相当的水； e. 供电电源：380V三相 50Hz或220V单相 50Hz（由所用电器需要而定）；电压波动范围：342399V或198231V；频率波动范围：4951Hz； f. 设备工作所需的压缩空气，液氮、冷、热水耗量均应在产品说明书中写明； g. 环境：室内应整洁；地面、天花板及设备周围墙壁应干净；空气应清洁，不应有可引起电器及其它金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。3.2 特征参数3.2.1 设备的主要技术参数符合表1的规定。3.2.2 设备的淀积源的工作状况应稳定，并

3、易于调节控制。对各种类型淀积源（如：电阻蒸发源、电子束蒸发源、空心阴极蒸发源、孤光放电蒸发源及各种磁控溅射源等）的技术要求，由相应的产品标准予以具体规定。3.3 结构要求3.3.1 设备的结构设计应布局合理，造型美观，操作简便，便于维修并符合经济、安全高效的原则。3.3.2 设备中的真空管道，静动密封零部件（法兰、密封圈等）的结构型式和尺寸，应符合GB 6070的规定。3.3.3 在低真空和高真空管道及真空镀膜室上应装设真空测量规管，分别测量各部位的真空度。3.3.4 如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设油蒸气捕集阱。3.3.5 设备的镀膜室应设有观察窗，对在镀膜过程中发生射线

4、的设备，观察窗镜上应加装防射线镜片。3.4 制造质量3.4.1 设备主要零部件的材料应符合相应的材料标准的规定，且应具有质量合格证书。如证书不全或制造部门有疑问时应由制造厂检验部门负责复验。表1参数名称参数数值真空镀膜室尺寸分档mm3201),5001),600,6301),700,8001),900,10001),1200,12501),1400,16001),1800,20001)；真空指标分档ABC极限压力5×10-4Pa5×10-3Pa5×10-2Pa恢复真空抽气时间从大气压抽至7×10-3Pa从大气压抽至7×10-2Pa从大气压抽至7

5、×10-1Pa镀膜室容积1m320min15min15min1m34m330min20min20min有效加热区加热均匀度按产品说明书或由用户隔壁制造厂所订协议约束返油率按产品说明书或由用户与制造厂所订协议约束设备最大功率按产品说明书注：表1所列真空镀膜室的几何尺寸，对钟罩（圆筒）式为钟罩内径，对箱式为箱内宽度。带1）号尺寸优先选用。 其它尺寸和其它结构形式的设备可由制造厂参照上述尺寸决定。专用设备由用户与制造厂另订协议。3.4.2 镀膜室内壁表面及各密封表面的粗糙度应达到Ra3.2m。3.4.3 设备的零部件的机械加工质量及设备的焊接件的质量，均应符合制造厂技术文件的规定。3.4.

6、4 装有离子轰击装置和气体流量微调阀的设备应进行离子轰击试验，该试验应表明微调阀灵敏且连续可调，在规定电压及真空度下气体放电稳定。3.4.5 设备的装配质量应符合制造厂技术文件的规定。装配时对工作时处于真空的各表面应进行有效的真空清洁处理并予以干燥，各转动件装配后应能灵活转动，不得有卡、滞、松、抖等现象，升降机构动作时应平稳、无抖动，威氏动密封等需用润滑脂的动密封处应充满真空油脂。3.4.6 在被镀件加热过程中，设备应能正常连续工作，包括转动件自如，无卡、滞、松、抖等现象。3.4.7 设备所配用的自制或外购的零部件都应符合相应的产品标准的规定，并应具有质量合格证或经制造厂检验部门检验合格后方可

7、配入设备使用。3.4.8 设备配套的电气装置的制作质量应符合制造厂技术文件的规定，并应保证设备运行和操作时的安全可靠。装置中线路的排布应整齐、清晰，便于检修。装置中各电气回路的绝缘电阻值，对于500V以下，不得低于2M，对于5011000V，不得低于2.5 M；对于10013000V，不得低于3.5 M；对于300110000V，不得低于6 M。3.4.9 设备的外观质量应做到没有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面。零部件结合面的边沿应整齐匀称，不应有明显错位。金属零件的镀层应牢固，无变质、脱落及生锈等现象。所有紧固件应有防腐层。设备的涂漆表面应光洁、美观、牢固、无剥落起皮等现象。3

8、.5 安全防护3.5.1 关键部件的水冷系统中应有断水或水压不足的报警装置，并与电源、真空系统、传动系统相关联部分有联锁保护机构，这些保护机构的动作应灵敏可靠。3.5.2 对装设电动阀门的设备，真空镀膜室充气阀与高真空阀及高真空阀与预抽阀应保持联锁。3.5.3 设备及其附属的电气装置均应装设接地装置，接地处应有明显标记。3.5.4 在管内或配电板上不得装有几段连接起来的电线，电线出入口或穿过金属壁体处应用光滑的绝缘管保护，或在管口内孔衬以软质绝缘环。3.5.5 设备上的电气线路及电气元件应保证不受冷却液、润滑油及其它有害物质的影响。3.5.6 操作中突然停电后，再恢复供电时应能防止电器自行接能

9、。3.5.7 在设备电气线路中，针对负载情况应采取短路保护、过电流保护等必要保护措施。3.5.8 应用高压电源的设备，其装有高压电极的镀膜室的开启与高压线路的接通应有安全联锁装置。3.5.9 设备中的高压、高频以及其它有可能产生损害人体的辐射的部分，应安装屏蔽装置。3.5.10 外露的齿轮、皮带轮等应有可靠的防护装置。3.5.11 液压系统应有压力指示仪表及调节压力的安全装置。3.5.12 设备及其附属装置上应装设为操作和安全所必需的标牌和标记。标牌或标记的字迹在设备正常使用期内应保持清晰。4 试验方法4.1 镀膜室极限压力 a. 镀膜室内为空载（即不安放被镀物品，也不进行淀积），但不得拆去设

10、备正常工作时应安装的淀积源（允许不入入欲镀的零散材料），工件架等部件； b. 真空测量规管应装于镀膜室壁上或最靠近镀膜室的管道上； c. 所用真空计应为设备本身配套者； d. 允许在抽气过程中用设备本身配有的加热、轰击等装置对镀膜室进行除气； e. 镀膜室内极限压力值应在开机后24 h内测定，且应在镀膜室内压力变化值半小时内不超过5%的条件下确定（此时各动密封部位应处于运动状态）。取其达到的最低压力值为极限压力值。4.2 镀膜室恢复真空抽气时间 设备在连续工作的条件下，在镀膜室内压力达到极限压力之后，打开镀膜室15min，再抽至本标准1.2条表1中所规定的真空度所需的时间，定为设备的恢复真空抽

11、气时间。4.3 有效加热区加热均匀度 在有效加热区内至少测量三点温度值（能反映最大温差的均布的三点），取所测温度的平均偏差作为加热均匀度。测温应在达到所定最高烘烤温度10min后进行，并三点同时测量（允许使用转换开关）。5 检验规则5.1 每台设备及其附属装置均须经制造厂的质量检验部门按本标准及技术文件进行检验。检验合格，并附有检验部门及检验人员签章的产品合格证书方能出厂。5.2 设备的检验分为产品出厂检验和型式检验。对于无烘烤、高频、高压、轰击、水冷装置的设备，取消相应的检验项目。5.3 产品出厂检验应逐台进行，其检验内容应包括本标准下述各条的内容： 3.2.1（不包括有效加热区的加热均匀度

12、），3.4.2，3.4.4，3.4.9，3.5.1，3.5.2，3.5.4，3.5.6，3.5.8，3.5.10，3.5.11。 另外，还应进行与淀积源配套的电气装置的空载通电试验及各用电部分的绝缘电阻检查。5.4 产品的型式检验应包括本标准技术要求的全部内容，即从出厂检验的合格品中抽取被检验对象，补足除出厂检验内容外的其它技术要求的检验内容。 淀积源技术指标的检验与镀膜试验的要求应在相应的产品标准中具体说明。 对于可能有辐射产生的设备，制造厂应委托国家认可的专业单位进行辐射剂量的检查测定，确认其在允许的安全范围内方可出厂。5.5 产品属于下列情况之一时须进行型式检验： a. 试制的新产品；

13、b. 产品在设计、工艺或所用材料上有重大变更时； c. 同类产品的评比定级时； d. 成批量产品的定期抽查，每两年进行一次，每次抽查该批的5%（不得少于2台），如有一项不合格则应重新抽取加倍数量的产品进行复验，如仍有不合格者，则进行逐台检验。5.6 设备进行型式检验时的工作条件应符合本标准3.1条的规定或按制造厂与用户所订协议进行。5.7 检验时的试验方法按本标准第4章的规定进行。5.8 检验中所采用的各种测量工具应有合格证明。型式检验时，真空测量仪器应具有有效期内的计量检验合格证书。6 标志、包装、运输、贮存6.1 每台设备及其附属装置应在其明显部位装设标牌，标牌内容至少应包括厂名、设备名称

14、、出厂编号、制造日期等。6.2 包装6.2.1 设备的包装应采取防震、防潮、防雨、防尘措施，以确保设备在装卸、运输、储存等过程中不发生损坏、锈蚀、降低精度等情况。6.2.2 每种型式的包装箱首次使用前或包装材料与型式有重大变动时，均应对其做模拟实际情况的水喷淋试验，起吊试验及颠震试验。试验后，被包装设备的质量应不受影响。6.2.3 设备的包装上应有防水且不易脱落的发货标记。设备的包装、运输作业标志应符合GB 191的规定。6.2.4 出口产品应按GBn 193的规定运行。6.2.5 整机包装的设备应抽成真空状态并关闭所有阀门，然后再进行包装。 装箱前应将设备中的残余积水和废屑清除干净； 包装前应保证各密封面不受损伤，并对未做表面防锈处理的金属表面（如滑动导轨等处）涂以防锈油脂。6.2.6 随机文件应包括：装箱单、出厂合格证书、使用说明书等。6.3 运输6.3.1 设备的运输方式和运输中所采取的措施必须保证设备及其包装不致发生损伤，设备在运输中有可能松脱的零部件应