微细加工与纳米技术课程项目方案设计

1、微细加工与纳米技术课程项目方案设计 目录一、微机械陀螺仪研究背景3 （一）概念简介3 （二）MEMS陀螺仪研究历史及发展现状3 （三）研究目的4 （四）研究方法5 （五）研究意义8二、微机械陀螺仪原理与结构10（一）MEMS陀螺仪基本原理10（二）MEMS陀螺仪分类及结构12三、微机械陀螺仪设计及制造13 (一) MEMS陀螺仪设计流程13（二）MEMS陀螺仪工艺方法14（三）MEMS陀螺仪技术难点16四、微机械陀螺仪测试及应用16（一）MEMS陀螺仪测试内容及手段16（二）MEMS陀螺仪数据分析及方法17（三）MEMS陀螺仪应用案例171、一些微机械陀螺仪的典型应用202、微机械陀螺仪在新型

2、鼠标或遥控器中的应用20五、关于微机械陀螺仪发展的思考21六、小结与体会21一、微机械陀螺仪研究背景（一）概念简介微陀螺仪是属于微机械的一种。微机械MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的 21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。微机械陀螺仪属于一种振动式角速率传感器，用于测量旋转速度或旋转角，作为重要的惯性器件，具有

3、质量轻、体积小、成本低、可靠性好、稳定性高、功耗低、精度高、性能优等诸多优点，在工业控制、航空航天、汽车和消费类电子产品等领域中得到广泛的应用。微机械陀螺仪的主要参数微机械陀螺仪的重要参数包括：分辨率（Resolution）、零角速度输出、灵敏度（Sensitivity）和测量范围，这些参数是评判微机械陀螺仪性能的重要标志，同时也决定了该陀螺仪的应用环境。分辨率是指陀螺仪能够检测的最小的角速度，该参数和零角速度输出其实是由陀螺仪的白噪声决定，白噪声一般用°/s/Hz来表征，LY530AL的白噪声只有：0.1°/s/Hz。这三个参数着重说明该陀螺的内部性能和其抗干扰能力，而对

4、使用者而言，灵敏度更有实际的意义，其单位是mV/°/s，由此用户可选用适合的ADC来与之匹配。测量范围是指陀螺仪能够测量的最大的角速度，单位是°/s，不同的应用对陀螺仪的测量范围有不同的要求。（二）MEMS陀螺仪研究历史及发展现状微机械陀螺的研究始于20世纪80年代，经过几十年的研究国外相关已经比较成熟，众多科研单位及公司如美国Draper实验室、ADI公司、Berkeley大学，德国Daimler Benz公司、Bosch公司，日本Toyota公司，以及土耳其、芬兰等国家4-9，已有商业化产品。我国的MEMS 技术研究工作起步较晚，但正积极开展研究，国家已经投入巨资用于M

5、EMS陀螺技术的研究。目前主要的科研单位有清华、北大、中科院上海微系统所、复旦大学、哈工大等多家单位10-15 ，经过十多年的努力，在基础理论、加工技术和工程应用等方面的研究已取得了明显的进步。但不可否认，与国外差距仍然较大，高性能微机械陀螺少有商业化产品。（三）研究目的微机械MEMS这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。微电子机械系统（MEMS）是近年来

6、发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。微机械的尺寸一般都是在厘米级别的，有的甚至已经到了毫米级别。由此可见，微机械的加工以及制造时十分困难的。如今，完全封装过后的微陀螺仪的最小尺寸已经到了1.5mm左右，甚至更小。那么，要加工如此细微的零件，对于机械装备、机械技术以及加工人员的考验是非常大的。而且，不像是传统普通零件加工，可以出现一点点的误差。对于如此之小的微型机械，一旦加工之中出现了一些错误，即使是偏离一微米，对于微陀螺仪来说，都是极大的错误。在这样微细加工过程之中，由于涉及到的尺寸实在是太小了。所

7、以，微机械的加工过程之中，生产人员的技术基本上可以忽略不计。但是，在另一方面，为机械的加工对于生产车间的科技程度、清洁度等等要求就十分之高。微机械的加工最主要的还是要依靠电脑控制的高科技机械来完成，人的作用不过是维护机械，或者是检查进度，发现问题。所以，微陀螺仪的设计与制造过程以及加工工艺的编排，在整个生产过程之中都是重中之重。一旦，微陀螺仪的设计与制造过程以及加工工艺的编排出现问题，不管是哪个环节出现了问题，也不管是这个环节多么细微，整个生产情况都会出现严重的问题。如果是设计环节出现了问题，那么整个生产都要被打断，然后重新设计微陀螺仪，重新布置加工过程，重新编排加工工艺。如果是制造过程出现了

8、问题，那么多半是机械质量不达标，或者是机械所处的环境标准不够。同样的，只有购置新的加工机械，或者重新处理加工车间的问题。如果是加工工艺出现了问题，那么就需要重新编排加工工艺。不管是哪一种出现了问题，对于整个生产过程都是一种严重的损失，将会消耗大量的精力去排查检验，中间还会造成大量的财产损失。所以，对于微陀螺仪的研究目的，就是减少生产损失，增加生产成功率，减少生产废品率，保证投资得到良好的回报。（四）研究办法由于微陀螺仪的加工，远远不同于传统机械加工，所以，微陀螺仪的生产设计与制造过程以及加工工艺的编排都与其余的机械生产大大不同。重中之重就是微陀螺仪的设计。传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理，

9、因此它主要是一个不停转动的物体，它的转轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。但是微机械陀螺仪的工作原理不是这样的，因为要用微机械技术在硅片衬底上加工出一个可转动的结构可不是一件容易的事。微机械陀螺仪利用科里奥利力（也叫哥氏力）旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。微陀螺仪的原理：微机械陀螺仪利用了哥氏力现象，其原理如图1所示。当图中的物体沿X轴做周期性振动或其他运动时，并且XY坐标系沿Z轴做角速度为z旋转运动，就会在该物体上产生一个沿Y轴方向的哥氏力，其矢量可按下式计算。式中：F(t)是哥氏力，m是该物体的质量，Z是坐标系旋转的角速度，是该物体的矢量速度。微陀螺仪基本上就是利用这个原理制造成的，

10、不同的微陀螺仪，进行感应测算的零件材料和方法是不同的。进行了微陀螺仪设计之后，就需要对微陀螺仪进行验算或者测试，保证微陀螺仪在各种各样需要的环境之下都能可靠运行，同时还能保证足够的感应精度。最主要的是，微陀螺仪要有足够的耐用度，没有足够的耐用度，微陀螺仪就是一个鸡肋。毕竟微陀螺仪实在是太小了，更换的时候肯定十分困难，所以，必须要有足够的耐用度。所以，微陀螺仪的研究方法，基本上可以概括为做实验。利用各种不同的材料和感应方法，首先做出各种不同种类的微陀螺仪，然后在各个不同的环境下进行试验，对他们进行横向比较，一点点的改进，更换材料，保证微陀螺仪的质量不断上升。完成了设计之后，微陀螺仪就进入了加工工

11、艺编排过程。微陀螺仪的加工工艺编排是十分重要的，没有良好的加工工艺，对于微陀螺仪这样的精密仪器，是生产不出来的。微陀螺仪由于是微机械，所以加工使用的机械都是高科技产品，设备昂贵。编排加工工艺的时候，必须要保证完美无缺，否则不但会损失材料，还有可能造成加工机械的破坏损失，这就是大祸事了。微机械加工的时候，对于车间的温度、气压、空气的清洁度、加工人员的防护度都有极高的要求，务必做到严格执行相关标准。否则生产过程之中就会造成极大的损失，以后处理起来也会十分困难。微机械陀螺仪根据驱动与检测方式分为四种：静电驱动，电容检测；电磁驱动，电容检测；电磁驱动，压阻检测；压电驱动，电容检测。其中静电驱动、电容检

12、测的陀螺仪设计最为常见，并已有部分产品已研制成功。就目前已研制成功的微机械陀螺仪来说，其结构有以下两种：音叉式结构，它利刚线振动来产生陀螺效应：双框架结构，它利用角振动来产生陀螺效应。双框架角振动微机械陀螺仪研制较早，虽制作工艺简单，但音义式线振动微机械陀螺仪的灵敏度优于双框架角振动微机械陀螺仪。一个优秀的微陀螺仪，不一定是最实用的微陀螺仪。微陀螺仪的生产，不仅仅是关系到了微陀螺仪的紧密程度，还包括实用程度。未脱落的实用程度包括很多方面：一，成本。成本是机械加工生产过程之中最关键的因素，基本上九成以上的加工手段都是在减少生产成本。不断地降低生产成本是机械加工行业的永恒话题。同样，生产微陀螺仪也

13、必须考虑到生产成本，否则生产出来的微陀螺仪卖不出去，那到时候就亏大了二，生产工艺的复杂程度。生产工艺的复杂程度也关系到了生产成本。不过，我在这里还是要提出来说一下。不同的微陀螺仪，生产的工艺差别也很大，制作的难易程度也就不同。生产工艺简单的微陀螺仪，在生产的时候成功率就会高很多，对于材料的浪费很少，产生的利润也就很高，单位利润对于机械的磨损什么的也就很少。生产工艺复杂的微陀螺仪，成功率也就会相应的减少，产生的利润也就减少，得不偿失。三、微陀螺仪的灵敏度。微陀螺仪的灵敏度是微陀螺仪的最重要的标志之一，也是微陀螺仪的应用范围广阔与否的标志。灵敏度高的微陀螺仪，应用的范围也就越加广泛，在各种高科技产

14、品之中都可以找到一席之地。但是，灵敏度低的微陀螺仪，在有的范围就不能够被应用。微陀螺仪的生产，要考虑到成本，加工的难易程度，灵敏程度。如果是运用在不需要很高的灵敏度的地方，比如说是手机、平板电脑什么的，那么微陀螺仪的制造就不需要很高的成本，灵敏度足够使用就行了。但是在运用到卫星、机器人等等尖端科技上面的时候，就需要足够的灵敏度，这个时候就不要考虑成本了。一句话，按需研究，按需生产。（五）研究意义现如今，微机械已经发展到了一个极高的地位。在各种高科技应用领域之中，微陀螺仪都能够找到自己的位置。所以微陀螺仪的设计研究已经到了一个极度渴求的地步了！微陀螺仪的研究也是历史潮流的推动、社会物质的需求所造

15、成的。首先，陀螺仪的发展历史如下：陀螺的原意为高速旋转的刚体,而现在一般将能够测量相对惯性空间的角速度和角位移的装置称为陀螺。陀螺是一种即使无外界参考信号也能探测出运载体本身姿态和状态变化的内部传感器,其功能是敏感运动体的角度、角速度和角加速度。陀螺仪有两大特性,即定轴性和进动性。利用这两个特性就可在导弹等运载器的飞行过程中建立不变的基准,从而测量出运动体的姿态角和角速度。同时由加速度计测出其线加速度,经过必要的积分运算和坐标变换,确定弹(箭)相对于基准坐标系的瞬时速度和位置。也就是说,可以利用陀螺的特性建立一个相对惯性空间的人工参考坐标系,通过陀螺仪和加速度计测出运载器(包括火箭、导弹、潜艇

16、、远程飞机、宇航飞行器等)的旋转运动和直线运动信号,经计算机综合计算,并指令姿态控制系统和推进系统,实现运载器的完全自主导航。惯性制导技术的第一次应用是在第二次世界大战时德国的V22火箭上。20世纪60年代后,美、苏争霸,扩充军备,大力发展惯性制导技术。现代导弹、宇航飞行器等多采用惯性制导的方法。1970年,我国人造地球卫星发射成功,其中也应用了惯性制导技术。20世纪90年代的海湾战争中,法国的AS230激光制导空对地导弹命中率95%,美国的斯拉姆导弹则创造了“百公里穿杨”的记录。为攻击一座水电站,一架A26飞机在116km的距离上,发射了一枚斯拉姆导弹,而附近另一架A27飞机发射的第二枚导弹

17、,竟穿过第一枚导弹打开的墙洞击中目标。自1910年首次用于船载指北陀螺罗经以来,陀螺已有近100年的发展史,发展过程大致分为4个阶段:第一阶段是滚珠轴承支承陀螺马达和框架的陀螺;第二阶段是20世纪40年代末到50年代初发展起来的液浮和气浮陀螺;第三阶段是20世纪60年代以后发展起来的干式动力挠性支承的转子陀螺;目前陀螺的发展已进入第四个阶段,即静电陀螺、激光陀螺、光纤陀螺和振动陀螺。由此可见，陀螺仪的发展离不开军事。同时，现在的微陀螺仪的应用也是大部分都应用在了军事上面。比如利用电子隧穿技术制造的微加速度计重6 g，灵敏度10-7g，就完全能满足相应的武器导航的要求。微机械陀螺仪是基于微机械加

18、工制造技术产生的高技术产品， 是当代微机械电子系统(MEMS)领域和惯性领域新兴的十分重要的分支，而MEMS及其制造技术是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,它涉及电子工程、机械工程 材料科学、物理学、化学以及生物医学等多种工程技术和学科。它是未来低成本、 中精度、微尺寸、低功耗、抗高过载、高可靠性惯性测量元件的发展方向。它不仅可用于炮射导弹、炮弹、末敏弹药的惯性导航系统和姿态测量系统等军事领域，同时还可以用于卫星、飞机、汽车、工业机器人、摄影、玩具、医疗器械的方向定位和姿态测量等 民用商业领域。开展这一领域的研究工作，可以加速和促进我国对新型惯性测量元件的应用，这在高新技术

19、日益发展的今天有十分重要的研究意义。如今，最近研制出的振动式微机械陀螺仪重100 mg，机械器件尺寸为1.2 cm×l+1.2 cm×1.2 cm，偏置稳定度为l10(。)h，功耗不到1 w。在未来，高科技领域的争夺变成了各国的主战场。而在各个高科技领域的争夺之中，微陀螺仪占据了十分重要的地步，毕竟，微陀螺仪控制着各种机械结构的运动稳定性和运动的方向。微陀螺仪的研究，已经如何更好的生产微陀螺仪都是十分重要的。二、微机械陀螺仪原理与结构（一）MEMS陀螺仪基本原理微机械陀螺的基本原理是利用柯氏力进行能量的传递，将谐振器的一种振动模式激励到另一种振动模式，后一种振动模式的振幅与

20、输入角速度的大小成正比，通过测量振幅实现对角速度的测量。柯氏加速度是动参系的转动与动点相对动参系运动相互耦合引起的加速度。柯氏加速度的方向垂直于角速度矢量和相对速度矢量。判断方法按照右手旋进规则进行判断。yx假如质点以非常快的速度沿转盘径向做简谐振动，利用右手旋进准则可判断出，质点将在转盘上不停地沿垂直于简谐振动方向和转盘角速度两方向垂直的第三方向振动，利用这一原理就可制作出微机械陀螺（右图为电磁驱动共振隧穿效应检测的微机械陀螺结构19）。一种电磁驱动压阻检测式的MEMS陀螺仪驱动及检测原理开环电磁驱动电路原理框图驱动反馈检测电路原理框图敏感器件检测电路原理框图 (二) MEMS陀螺仪分类及结

21、构 MEMS 陀螺分类方式有多种。按振动形式分: 线振动形式和角振动( 旋转振动) 形式。按使用材料分:硅( 单晶和多晶) 材料陀螺和非硅材料陀螺( 石英、陶瓷等) 。按驱动方式分: 静电式( 平板电容和梳指电容) 、电磁式和压电式等。按检测方式分: 电容检测、压阻检测、压电检测、光学检测、隧道效应检测和频率检测等。按工作模式分: 速率陀螺( 开环模式和闭环模式) 以及速率积分陀螺( 整角模式) 。按加工方式分: 体微机械加工、表面微机械加工和LIGA 等。按振动结构分: 框架式、梳状音叉式、振动轮式、振动环式、振动平板式、双线振动式和声表面波式等。部分检测方式的MEMS陀螺性能对比：技术指标

22、电容式压电式压阻式隧道效应式光学阻抗高高低高电负载影响非常大大小小小尺寸大小中等小大温度范围非常宽宽中等中等宽线性度误差高中等低高低有无阻尼有无有有无灵敏度高中等中等高很高电路复杂程度高中等低高高成本高高低中高交叉轴敏感度主要取决于机械设计，而非转导作用三、微机械陀螺仪设计及制造（一）MEMS陀螺仪设计流程 结构设计方法作用：进行结果的相互对比、验证与校核（二）MEMS陀螺仪工艺方法常用的MEMS器件加工工艺方法：1、表面工艺* 先在衬底表面生长薄膜，通过对薄膜进行光刻、刻蚀等形成结构。* 优点：易于与IC集成。表面工艺2、体硅工艺(1) 刻蚀浅槽GlassSi(2) 表面掺杂(3) 金属电极

23、(4) 阳极键合(5) 硅片剪薄(6) 释放结构 具体的常用MEMS器件加工工艺方法：具体的刻蚀技术主要有光刻、湿法刻蚀、反应离子刻蚀、聚焦离子束刻蚀等一般用来制作MEMS陀螺结构；主要的加工工艺有分子束外延、薄膜淀积、氧化、扩散、注入、溅射、蒸镀等技术用以加速度敏感部件及相应的电极和引线的制作；键合技术用于敏感部件与陀螺结构之间的连接。划片和封装技术用于微陀螺结构及敏感部件组合体单体分离及外部连接引线制作等，完成微陀螺基本器件制作。（三）MEMS陀螺仪技术难点1、包括微机械陀螺应用在内的MEMS，力学参数较宏观情况明显变化，宏观物理定律已经不能完全对 MEMS 的设计、制造工艺、封装以及应用

24、进行解释和指导。这些因素限制妨碍了微机械陀螺性能的提高。2、随着MEMS传感器尺寸的缩小，敏感部件也不断缩小，传统检测效应接近灵敏度极限，限制了高性能MEMS陀螺仪的发展，新效应新原理器件亟待开发。3、国内方面工艺和技术都相对落后，国外方面技术封锁限制了高性能器件结构的制作；微弱信号检测技术有待提高，信号处理能力仍有待加强。四、微机械陀螺仪测试及应用（一）MEMS陀螺仪测试内容及手段与其它陀螺仪一样，完成微机械陀螺仪的陀螺体的制作只是完成了整个MEMS陀螺仪研究工作的一部分。还有陀螺仪信号提取与校准，灵敏度测试、量程测试、线性度测试、固有频率测试、抗过载能力测试等等，各种性能的测试。下面简单就

25、固有频率、灵敏度、分辨率、线性度等陀螺性能的测试及方法进行介绍。固有频率固有特性测试检测方向Q值测试内容 检测敏感原理 陀螺特性测试测试线性度柯氏效应检测三轴转台测试验证检测原理（二）MEMS陀螺仪数据分析及方法利用前述方法测得传感器输出波形或数据，取不同输入情况下的离散点，获取批量数据，通过Matlab、OriginLab、Excel等数据处理软件进行数据的处理和曲线的拟合，分析陀螺仪线性度，对原始数据进行滤波、变换等处理，分析陀螺的时频域特性。与利用ANSYS、Matlab等软件仿真所得数据进行对比分析。（三）MEMS陀螺仪应用案例 微机械陀螺体积小、功耗低、成本低、抗过载能力强、动态范围

26、大、可集成化等优点，可嵌入电子、信息与智能控制系统中，使得系统体积和成本大幅下降，而且总体性能大幅提升，因此在现代军事领域具有广泛的应用前景。 在陀螺仪的传统应用领域，国防军事应用中，高精度微机械陀螺将可用于导弹、航空航天、超音速飞行器等高精度需求的军用产品中。随着先进的微电子技术的发展，成本和价格也会大幅下降。其低廉的价格将使其在民用消费领域也将具有广阔的应用前景，有望在一些新的领域中，如车载导航系统、天文望远镜、工业机器人、计算机鼠标、照相机甚至是机器人玩具等中低端上应用需求的产品中得到应用 1、一些微机械陀螺仪的典型应用提供两种接口：模拟或者数字接口（I2C/SPI），可以通过管脚5来选

27、择所希望的接口方式。在上文中已经提到，LY530AL需要一个锁相环来同步驱动和检测两部分电路，C1、C2和R1为锁相环所需一个二阶低通滤波器。如图中所示，LY530AL在模拟输出端集成了两个一阶片上滤波器用来滤除高频信号：开关电容低通滤波器（截至频率：400Hz）和一个有源滤波器。有源滤波器的电阻为180k，已经集成在芯片内部，使用时需要外接电容CACT来设置截至频率计算方法如式4。如果上述两级低通还不能滤除高频噪声，LY530AL还支持外接ROPT和COPT构成的低通滤波器。当LY530AL与ADC之间走线较长时，其中还可加入运算放大器增强其驱动能力来符合ADC对输入信号的要求。对于便携式设

28、备而言，器件的功耗非常重要，直接影响其待机的时间。在使用其模拟接口时，LY530AL消耗电流典型值为：4.8mA，并还设置有一个PD管脚，控制其在待机时进入掉电模式，在该模式下消耗电流小于1A。由于微机械陀螺仪内部有振荡的微机械部分，LY530AL还设有自测的功能，能够自行检测其内部的微机械部分是否正常。在使用模拟接口时，通过ST管脚来启动自测功能，这时芯片内部会产生一个静电力作用在微机械部分上，来模拟一定的哥氏力，输出电压也会随之变化。如果电压的变化值在一定的范围之内，说明芯片内部的微机械结构工作正常。2、微机械陀螺仪在新型鼠标或遥控器中的应用STM32-PRIMER2是STM最新的STM3

29、2开发工具，如图所示，其配置了128×160像素的彩色触摸屏显示器、方向控制按键、USB接口、外部扩展连接器、MEMS加速度传感器等，通过内置的开源CircleOS软件框架，用户可以轻松地管理所有组件。为支持更多的外设，STM32-PRIMER2提供了20针的扩展连接器，其中包括一个UART接口、SPI、音频I2S接口以及ADC输入接口等，如图7所示。 同时其采用了STM公司的高精度加速度传感器LIS3LV02DL，加速度分辨率可达到1mg。为验证LY530AL的性能，通过STM32-PRIMER2的20针的扩展连接器，构建如图8所示的测试系统。该评估系统无线通讯部分采用STM的蓝牙

30、收发模块GS-BT2416C2通过UART接口和主处理器STM32F103VET6进行通讯；采用了两颗LY530AL分别检测Yaw和Pitch上的转动，一颗水平放置，另一颗垂直主板放置，分别通过SPI接口和主处理器进行通讯；三轴的加速度传感器LIS3LV02DL用来检测遥控器在XYZ三个轴上的水平移动，主处理器STM32F103VET6负责数据的采集和处理。该评估系统经蓝牙与笔记本相连接进行验证，其具有很好的灵敏度和响应速度，在使用过程中不存在光标漂移现象，完全可以取代传统的鼠标。再与机顶盒连接测试时，相较于现有复杂的多按键遥控器，具有更好的直观性，只需要利用3至5个按键，就可以对选单目录进行

31、操控。五、关于微机械陀螺仪发展的思考在现今的世界格局中，战争以信息化战争的的对抗为主,重点是发展精确制导武器, 实现中远程精确打击和非接触作战;大力提高防空、反导、突防、电子和信息作战体系,加强局部作战区域的制空、制海和制电磁权的作战能力。惯性技术是加强武器系统和提高作战能力的关键技术。许多国家都将发展军事力量作为首要的目标，而衡量军事力量提高的一个因素就是先进武器系统的研究和制造，而这些研究工作中首先考虑的就是陀螺仪的使用和研发，航天惯性技术在实施精确打击中的特殊地位,导弹武器精确制导对惯性技术的要求, 在战术武器应用方面前景看好。战略武器方面，惯性系统与其它方式的组合制导，也是一个重要的发

32、展空间。故而微机械陀螺仪的研究更是重中之重。六、小结与体会通过MEMS技术的学习使我们了解了更多关于MEMS技术方面的知识，如：微系统设计技术、微细加工技术、微型机械组装和封装技术、微系统的表征和测试技术，以及MEMS技术在生产生活及经济社会发展和国防建设中的应用主要参考文献：1 许高斌，朱华铭，陈兴 不等高梳齿电容式三轴加速度传感器J 电子测量与仪器学报， 2011， 25( 8) : 704 7102 郭慧芳，李锦明，刘俊 三框架电容式硅微机械陀螺动力分析J 传感器与微系统， 2008， 27( 5) : 24 263 LAI Shihwei，KIANG Jeanfu A CMOS MEM

33、S single chipdual axis gyroscope C IEEE International Microsystems Packing Assembly and Circuits Technology Conference，2009: 305 3074 许宜申，王寿荣，王元山 单片三轴硅微机械振动陀螺仪研究J 高技术通讯， 2006， 16( 10) : 1034 10385 吴其松，杨海钢，张翀，等 一种适用于MEMS 陀螺仪的高性能电容读出电路J 仪器仪表学报，2010，31 ( 4 ) :937 9436 张琼 电容式微机械陀螺仪的设计与仿真分析J 机电技术， 2011(

34、5) : 97 1007 裘安萍，苏岩 振动轮式微机械陀螺仪中滑膜阻尼机理的研究J 中国机械工程， 2006， 17( 16) : 1679 16828 张明，陈德勇，王军波 单晶硅振动环陀螺仪的制作J光学精密工程， 2010， 18( 11) : 2454 24609 王嫘，韩丰田，董景新，等 微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现J 纳米技术与精密工程， 2011，9( 3) : 265 26910 SAID E A，KIVANC A，TAYFUN A A high performance silicon on insulator MEMS gyroscope operating at atmo

35、spheric pressureJ Sensors and Actuators， 2007， 135(2) : 34 4211 李建利，房建成，盛蔚等 双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真J 光学精密工程，2008，16(3) : 484 49112 ALPER S E，AKIN T A Single crystal silicon symmetrical and decoupled MEMS gyroscope on an insulating substrateJ Journal of Microelectromechanical Systems，2005，14 (4) :

36、707 71713 殷勇，王寿荣，王存超，等 结构解耦的双质量硅微陀螺仪结构方案设计与仿真J 东南大学学报: 自然科学版，2008， 38( 5) : 918 92214 殷勇，王寿荣，王存超等 一种双质量硅微陀螺仪J 中国惯性技术学报， 2008， 16( 6) : 703 71115 温姣，常艳辉，梁永生 一种新型微机械陀螺仪结构方案设计与仿真J 计算机光盘软件与应用， 2010( 8) : 10416 何晓磊，苏岩 采用DDSOG 工艺加工Z 轴微机械陀螺仪实验J 东南大学学报: 自然科学版，2005，35 ( 4 ) :545 54817 施芹，苏岩，裘安萍，等 MEMS 陀螺仪器件级真空封装技术J 光学精密工