高效率能源科技研究中心

1、高效率能源科技研究中心計畫名稱：新竹科學工業園區緊急應變機制建立規劃研 究 者：陳俊勳經費來源：科學工業園區管理局關鍵詞：災害防救；緊急應變目前管理局為防範及處理園區各事業及機關緊急發生之天然災害或重大危安事件，現建置有一套科學工業園區災害防救作業手冊（九十三年十二月修訂），依其主要內容科學工業園區救災及復建緊急應變小組作業要點，隨時成立救災及復建緊急應變小組，處理園區內災害防救及復建工作。目前但作業範圍只限新竹基地區內，一旦有較大規模的意外災害，如何和基地周圍附近的區外區域作有效的互動和支援，這是應再加考量；而且新竹市政府於93年9月24日函請管理局納入竹市災害應變中心及災害防救會報成員，目

2、前管理局基於園區一家之精神，已函復同意成為新竹市災害防救會報成員（惟暫不納入竹市災害應變中心），是否需配合修改管理局原有之緊急應變作業流程及通報程序，值得探討。此外，前述的震災及空難等兩大自然及人為之相關災害防救作業並未在包括在目前的手冊中；最後，目前管理局轄管範圍又包括竹南，龍潭，竹北等基地，而這些基地的高科技廠分別以TFT-LCD，生物及生醫為主，且不似新竹基地以半導體為主，且這些基地許多業務，如環保、消防等係由地方政府管理，而非如新竹基地以單一窗口處理，因此他們的災害防救作業手冊可能無法像新竹基地目前所使用，這也須一併檢討。1. 審視檢討科學工業園區管理局現行已編輯之科學工業園區災害防救

3、作業手冊（九十三年十二月修訂），並作改進之建議。2. 將上述手冊納入震災及空難災害。3. 加入其他園區(如竹南，龍潭，竹北生醫）之災害處理體系。-計畫名稱：竹南基地廠商安全衛生輔導計畫研 究 者：陳俊勳經費來源：科學工業園區管理局關鍵詞：光電；安全；衛生本計畫主持人在上年度計畫中，就已根據目前晶圓和光電廠廠商對高科技廠房有關安全與衛生最急切的需求項目，例如氣態化學品可燃性、爆炸性、毒性、腐蝕性等之查核及其儲存、供應、使用、廢氣處理等設施及相關措施；液態化學品引火性、毒性、腐蝕性等之查核及其液態化學品之儲存、供應、使用、廢液處理等設施及相關措施；固態化學品系統引火性、毒性、腐蝕性等之查核及其之儲

4、存、供應、使用、廢棄處理等設施及相關措施以及消防系統相關措施和職業衛生執行情況等，參考相關資料【如新竹科學工業園區管理局委託工研院計畫：科學園區廠務安全基準、液體化學品供應系統、工安白皮書、火災殘留物化學成份分析及災後廢棄物處理標準操作方法和主持人之園區半導體廠建築防火及消防設施安全基準、蔡朋枝教授之台南科學工業園區廠商工業安全衛生規範以及我國國內消防、安全及勞工安全衛生相關法規和半導體、光電業者與保險公司慣用之SEMI、FM、NFPA等安全規範等】，建立表格化之安全衛生輔導書。但在今年計畫需求中，管理局在輔導內容上加了兩項，他們分別為生物安全（生物病原體危害之預防）和一般安全（防止機械、器具

5、、設備等引起之危害）。因此本計畫擬參考相關研究計畫的內容，如新竹科學工業園區管理局91年委託辦理計畫生技廠商作業安全及危害管制之研究報告(研究主持人：黃建彰、鄭詠仁)，行政院農業委員會家畜衛生試驗所實驗室生物安全手冊，美國農業部之Facilities Design Standards (United States Department of Agriculture, Research, Education and Economics Agricultural Research Services, ARS*CSREES *ERS *NASS Manual)以及行政院國家科學委員會九十年度科技行政

6、研究發展報告生物科技廠商安全管理作業程序研究（撰述者：蔡文火、林輝宏、羅光榮、蔡錦郎、范振坤、張金豐、何有忠，執行單位：科學工業園區管理局）等資料來建立類似前述半導體及光電業之有關生技廠商表格化的安全衛生輔導書。至於在機械安全方面，將著重於建立機器人安全查核表。邀請安全衛生及生技方面的專家組成輔導小組，在輔導小組組成後，向管理局指定實地輔導8廠次之廠商作輔導說明會，除了介紹評核小組成員及個別專長外，並提出輔導工作內容、項目、方法及流程，藉由面對面之溝通與討論，對輔導書內容作必要的修正；另外各廠商亦須提供其對口單位，其層級須管理局認可。接著由管理局主導協調各廠輔導時間以及駐留時間（預計每次每廠輔

7、導半天，主要視廠商規模及製程複雜性而訂）。在各廠查核之前，本計畫承辦單位會將查核書事先送至廠商指定之對口單位，由其準備相關完整的資料。在查核個別廠房期間，先就各項查核項目及相關資料與廠房負責人及其相關業務人員作詳細的說明、溝通和協調。接著各個輔導專家會同相關業務人員在儘量不干擾製程過程狀況下，進行各項安全與衛生工作項目現場的觀察與輔導並作詳細的記錄。並將查核結果發現之重大問題，於輔導後十日內撰寫扼要建議書送交管理局勞動檢查人員參辦。上述查核內容將會以書面化資料詳細記載相關工作。完成後，整個輔導小組聚集在一起作一交叉且深入的討論並作成記錄。輔導小組再根據該記錄和廠商作深入的探討，提供建議來解決存

8、在的問題或替代方案以提升其安全衛生的品質。再將原始輔導記錄並綜合所有意見或建議擬成一完整規格化之查核報告書。該報告書，除一份呈送至管理局外，並送一份副本給廠商參考。接著廠商必須在兩星期內針對輔導小組所作成的所有建議，提出相關的改善建議書，並逐項說明及回答，同時也須提供針對重大缺失改善前後的照片以資佐證。在本計畫承辦單位收到廠商改善建議書後，再行安排時間至廠商進行複審工作，主要針對廠商改善建議書的內容進行再確認的工作以落實輔導成效。期中及期末報告：主要是確認期中、期末報告內容，並檢討各個廠商無法解決問題的可能處理之道，以作為行政處理的依據。另外亦針對管理局如何對區內廠商安全與衛生有關業務進行督導

9、與檢查作具體可行的建議。成果說明會：邀請新竹科學工業園區所有廠商來參加輔導小組進行此計畫成果的說明會，並廣泛交換心得來提昇園區廠商安全衛生的水準。I94508（）-計畫名稱：陶瓷與金屬接合性能研究研究者：周長彬經費來源：中國砂輪企業股份有限公司關鍵詞：碳化矽陶瓷；钼金屬；潤濕性；銲接性本研究以PbO-B2O3基玻璃銲料對SiC陶瓷及純鉬進行接合研究，研究結果顯示，PbO-B2O3基玻璃銲料在高於450以上對SiC陶瓷進行封接，可以獲得良好之潤濕效果。純鉬金屬則需於接合前進行表面預氧化處理，方能獲得良好之銲料潤濕效果。純鉬金屬因具有易氧化之特性，且表面如形成MoO3氧化層則影響玻璃銲料對鉬之潤濕

10、性，因此無論在預氧化處理或接合過程，均應避免MoO3氧化層之生成，以免潤濕性不良，而影響接合效果。94C114（）-計畫名稱：站立式輪椅人體接觸部機構與人體之同動設計技術研究者：洪景華經費來源：財團法人自行車暨健康科技工業研究發展中心關鍵詞：輪椅；站立；座椅；重心對於站立式輪椅人體接觸部的調整，一般主要是分兩個部分，一部分為固定腿部使膝蓋打直的部份，另一部份則是調整座椅的角度。而座椅角度調整的機構設計必須考量整個椅子轉動的角度及椅背與座墊的夾角變化。且當座椅角度調整時，腳踏桿及固定腳部的同步作動之角度大小也需要考量，如此才可獲得較佳的舒適性。一般市面上常見的輪椅，手動輪椅的座椅大多為固定式。而

11、電動輪椅中，則有三種設計，第一種是固定式座椅；第二種有座椅的調整機構，但和腳架的調整是分開的；第三種則為調整座椅時腳架也會同時改變角度。本計劃之執行重點，初期在於去了解站立式輪椅的各作動元件相互間的作動關係，最後再依據分析與評估之結果，按照概念設計、具體化設計及細部設計三步驟，以系統化方式完成機構之設計。94C-計畫名稱：多軸伺服步進馬達控制器之研發設計製作（1/2）研究者：李安謙經費來源：泓格科技股份有限公司關鍵詞：伺服馬達控制；PC-Based；MCX314As；PLX9052；WDM Driver近年來工業用伺服馬達控制器不斷推陳出新。從開迴路的馬達控制到精密的位置控制，工控器的性能隨著

12、應用場合的改變而有不同程度的需求。控制器本身的系統又可分為PC-Based和Embedded兩種控制系統。所謂PC-Based控制系統係指以PC為控制中心附於製造系統或機械上之控制系統，進行一般或特殊工業系統的監測及控制。Embedded控制器系統一般定義為被用於控制(control)、監視(monitor)或協助設施、機器、工廠之操作運轉的一種設備系統。它們可能是整個硬體設備的一個零件或一部機器。甚至也可能是軟體型態或韌體(Firmware)形式。本計畫是使用MCX314As運動控制晶片為基本架構，開發PC Based系統馬達控制器PSIO-PS400，以提供各種機械產業的多種需求。整合MC

13、X314As和PLX9052和CPLD三者之間的電路設計，並規劃軸卡的ID和I/O讀寫時序和中斷控制暫存器於EEPROM中。在軟體開發方面，可分為下層的驅動程式和上層的函式庫與人機介面。下層的驅動程式開發以PLX9052為開發架構主體開發WDM Driver；上層的函式庫與人機介面我們利用MCX314As運動控制晶片中的命令與資料暫存器，進行運動控制卡各種加減速命令、多軸補間運動命令與其他相關運動控制函式庫的開發，然後以VC將各類函式整合完整的運動函式庫。針對使用者人機介面部分，我們亦利用開發完成後的函式庫，以MFC語法撰寫開發人機介面，提供使用者除錯使用或快速使用。-計畫名稱：化學機械研磨製

14、程晶圓內部平坦度控制研究開發研究者：李安謙經費來源：力晶半導體關鍵詞：化學機械研磨；晶圓內部平坦度隨著電子元件尺寸的日益縮小，在0.13 以下微米製程，化學機械研磨（CMP）是現在唯一能夠提供VLSI製程全面平坦化的技術。吾人利用實驗設計法找出研磨頭壓力為影響晶圓內部平坦度的最重要因子，接下來利用及時線上識別配合最佳化非線性最小變異控制器產生最佳化之製程配方。本計畫預計針對力晶半導體十二吋A廠之化學機械研磨（CMP）機台建立一套可以針對不同lot晶圓做配方調整藉以改善晶圓薄膜均勻度之先進製程控制機制。而此控制方法實現在PE-TEOS 氧化層之化學機械研磨，最終實驗結果顯示本控制器較其他傳統之控

15、制器有較好的效能表現。)-計畫名稱：集束型機台之RTP製程控制整合研究者：李安謙經費來源：中山科學研究院關鍵詞：集束型半導體製程；矽半導體快速回火製程；快速熱處理機台程序控制器；物件導向；分散式處理本計畫配合目前由交通大學機械系與中科院二所對於集束型半導體製程設備控制器之合作研究發展，設計出快速熱處理機台快速回火程序控制器，並符合SEMI、SECS I and II等半導體工業標準，計畫目標將集束型機台控制器，製程模組控制器與RTP控制器建立製程整合連線及製作測試。 集束型製程設備模組控制器（CTC）的功能為負責掌管其他模組控制器相互之間的協調與溝通，並提供一組使用者介面供集束型製程設備操作員

16、來操作集束型製程設備。CTC在接受集束型製程設備操作員的命令後，透過一連串的訊息溝通機制來對其他模組下達命令，其他模組則相互溝通來完成CTC所要求之工作並依其執行狀況透過訊息回報給CTC，集束型製程設備操作員透過CTC的使用者介面瞭解生產工作是否完成。 快速熱處理機台製程模組（PM）主要包含製程的管理（Processing Management）、處理配方管理（Recipe Management）與低階RTP控制器三部分，PMC必須接受上層集束型製程設備控制器管理（各模組的資源管理、行程管理）與監督（包括狀態的監督、事件的監督），並控制下層RTP機台之實際運作。本年度計畫將交通大學機械系之的集

17、束型製程設備控制器整合，以物件導向、分散式處理的概念使用icrosoft的Visual C+程式語言來實作，並配合Rhapsody與Venturcom RTX兩套軟體來規劃程式的架構設計出一套具有系統階層性的模型架構以及一個能夠協調製程程序控制上所有需求，排序及動作控制的監管控制器與即時控制器。此外，本計畫將以自有之快速熱處理實驗機台，用以實際驗證快速回火程序控制器，並提供驗證。C94078)-計畫名稱：視窗版二氧化碳冷煤壓縮機模擬分析軟體開發研究者：曾錦煥經費來源：工業技術研究院關鍵詞：壓縮機；往復式；渦捲；天然冷煤；模擬分析；視窗化；最佳化壓縮機廣泛應用於機械、化學、冶金領域，尤其更大量用於冷凍空調等方面。本計畫分別將對往復式與渦捲式壓縮機進行探討。往復式壓縮機因製造成本低、維修容易，目前仍廣泛應用於各項設備，近年因環保與能源問題，使高效率的往復式壓縮機的發展成為當前的議題。工研院能資所發展一往復式壓縮機性能模擬軟體，分析其熱流與機構特性，達成電腦輔助參數化設計。但於此程式中，可調整的參數超過100個，若以手動調整參數進行模擬，十分耗時且繁複。本計畫的目標及以此軟體為基礎，加入最佳化模組，並建立友善的使用者介面，讓使用者能輕易、簡單的建立最佳化問題，並使各設計參數能依最佳化原理自動進行調整，成為