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文档简介
1、洁净度等级标准及空气过滤器效率标准相关行业和洁净度(需求)INDUE TRIES FIELD REQUIRED CLEAN AIR SYSTEM AND CLEAMLINESS LEVEL精选资料,欢迎下载的 利 用 I 程 与 / 冷 度比R导画的产史 芈导件工业 蔻 品 圆干说赭敕光隼卬用 其他 店 学花净度等驶 CLEAHLIKESS LEVEL (CLASS)Ml.5、2,5n-】o 励M3.X1O0 缓M4,5(1,000)基板 制造 阳iFER拒tnfF&CTiJRE如散DIPFUS而基板处理曲FER FWCEESI记/ 光剜 FHDTOLnHOCMFKr芯 片何适 元 国IP X
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11、Future方式项目 , 垂直层充方式Vertical. Laminar Ai rflow Clean Room水平层流方式lb ri zont al Laimi iiaLrAi if low Clean Eoom乱施方式Tuitul ent Ai if lowClean.Rooti溟充方式Mixd Ai if lowClean Rd on涛冷障道方式Timnel clean syst em港净度Clean! inessM 5-S. 5U-io 曝)M3 5 l-iMQM4. 5-6.5G, oco-ioi00M4. 5-6. 5 (1,000-100,000)池5, 5 (i-iaoH作时的
12、洁净度 eaidinfE古 in mrk排作者造成的 黑嘀小上网侧的发尘 彩响下只侧推作者会造成 彩响根梅布局手画 蜡作昔会造成 若干影响好作者造成的 影喃小运拧药用 Em高申*中中市局变更Position to be chaiiE 虱都涉困难喜用裕困麻生产没落的雄怕 Naintnce在洁净室内或 褶环空间进行在话悖茎内或 璃环空间进行在浩净空内进行在清冷室内亚通库空间进行在福环空间进拧增收Ezpsiidinc用碓困碓坡困瞪用耀可以高将度交阳 ACControl precision由于对整个咕净 型进行根制.相 有不划句上凤侧的发热 彩喃下孰恻有不均匀况毅有不均句现叙可对蟀作邸分避 行鬲精度控
13、制气流方式 而de of Airflow、.二1二-L-1-i-11 IL _*%b的 ft 1E priFil Sti4I b推有风速及横气欣麟空气灌冷度与缓Cleanliness Level气流流型Type of Air Flow平均风速Awerate Velocity tjn/s)怏气帔敢Time of Aii Chazier上4单向流 Uhilateral Flow0 S-0. 5一5单向通 Ikiilatial Flow0. 2-0L 36非单向流 IfcirVrdlateral Flow50-60T非单向流 Ifoir-Unilateral 7low12-25非单向流 Noir-U
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