整理WIRD0325镀膜机操作及镀膜工艺指导书

1、镀膜机操作及镀膜工艺指导书受控状态及编号文件编号GL/WI-RD-03-25页码Page 1 of 30部门技术部发布日期2021年12月9日拟制徐威审核批准变更 履历12007-05-28文件整合将老版文件改为新版的格式聂旭光22007-08-15内容新增1、增加产品镀膜前烘烤要求Page 15周霞2、增加表单Page 20周霞32007-10-09客户审核要求1、增加变更履历Page 1杨莎2、去掉产品镀膜前烘烤要求Page 15周霞3、5#镀膜机增加光栅增透Page 15聂旭光42021-04-29内容新增新增镀膜应急情况处理方法Page 7.8冯浩52021-09-09内容新增Page

2、 12冯浩62021-04-13内容变更更新3#镀膜机作业流程Page 9-14何健72021-04-24内容新增新增4#镀膜机作业流程Page 19-21何健82021-05-18客户审核要求新增镀膜产品切换要求Page 21何健92021-08-05文件整合全部更新全文冯浩102021-01-15内容变更1.变更4#5#6#机台清洗周期 2变更4#工艺参 数冯浩112021-04-7内容新增1. 新增 7.95um/10.8um 光栅镀膜工艺 page9-142. 增加405nm增透工艺page20徐威122021-7-28内容变更1. 变更3#镀膜机保养标准Page 132. 变更4#镀

3、膜机工艺参数Page 18-223. 变更5#镀膜机工艺参数Page 25-264. 变更6#镀膜机工艺参数Page 30徐威袁超132021-9-13内容新增新增?镀膜工艺卡片?Page 18,32叶小兵142021-9-20内容新增新增3#,4#镀膜机烘烤温度点检要求冯浩152021-4-18内容新增新增镀膜工艺卡片三洋 BD414蓝光偏小AR正常AR偏大AR徐威162021-11-21文件整合全部更新全文靖泽兵172021-12-30内容变更局部内容调整Page 3.4.7靖泽兵182021-2-8内容变更表单变更Page28靖泽兵192021-3-12内容变更表单变更Page28靖泽兵

4、202021-5-21内容新增1. 增加测温时机,时机为停机大于等于24小时后测温.2. 明确8.2.4中C条处理方法靖泽兵212021-12-26内容变更表单变更Page28靖泽兵222021-1-5内容新增新增阳极筒更换考前须知Page16徐威232021-1-14内容新增1. 新增清扫考前须知及膜料存放要求Page3、42. 新增下伞条件Page 83. 新增离子源存放要求Page 164. 变更设备清洗流程Page 13、15、20、225. 变更配件更换要求Page 14、21徐威242021-12-9应客户要求增加?产品面别一览表?Page 29-30杨莎252021-4-23内容

5、变更Sio2加料变更Page 4徐威一、目的为了标准镀膜作业员镀膜操作,特制定该文件.二、适用范围本文件适用于参与镀膜操作的全体人员.三、设备及辅助材料3.1 1# :昭和真空镀膜机；3.2 2# :昭和真空镀膜机；3.3 3# :莱宝真空镀膜机；3.4 4# :韩一真空镀膜机；3.5 5# :现代南光ZZS1100真空镀膜机；3.6 6# :现代南光ZZS1100真空镀膜机；3.7其它设备及辅助材料：镀膜材料、吸尘器、铜刷、锤子、镊子、丙酮、口罩、手套四、镀膜机制作产品范围编号名称适用产品4.11#昭和镀膜机作业流程全反、增透膜等4.22#昭和镀膜机作业流程全反、增透膜等4.33#莱宝镀膜机

6、作业流程光栅、滤光片、分光、全反、增透膜等4.44#韩一镀膜机作业流程滤光片、分光、全反、增透膜等4.55#南光镀膜机作业流程分光、增透膜等4.66#南光镀膜机作业流程增透膜等4.7镀膜产品切换要求生产中减少产品切换频率五、镀膜作业内容5.1镀膜流程图5.2镀膜操作说明昭和莱宝南光开机参考设备部文件参考设备部文件参考设备部文件参考设备部文件1、使用工具：铜刷和吸尘器2、清扫流程：清扫探考前须知：整个清洁过程中操作人员必须戴口罩、手套；遮料板每罩清扫,每3罩反射镜更换1次,并拆网喷砂处理 (3)用铝纸包的护板每5罩反射镜(35罩AR)须更换.昭和莱宝韩一南光1添加SiO2时,先将坩埚周围卫生p、

7、添加SiO2时,先将烧结成块的1、添加SiO2时,先将坩埚周围卫生清1、添加SiO2时,先将坩埚周围卫生清:清洁再将烧结成块的SiO2取出,然后SiO2取出,然后参加新的SiO2膜料,洁再将烧结成块的 SiO2取出,然后加洁再将烧结成块的SiO2取出,然后参加参加新的SiO2膜料.添加时,用添料添加时,用专用治具一边添加一边压入新的SiO2膜料,添加时,用添料勺新的SiO2膜料,添加时,用专用治具一勺一边添加一边压紧,最终添加到膜紧见图示,最终添加到膜料与坩一边添加一边压紧见图示,最终添边添加一边压紧见图示,最终添加料与坩埚上边沿齐平即可.埚上边沿齐平即可.加到膜料与坩埚上边沿齐平即可.到膜料

8、与坩埚上边沿齐平即可.2、添加TiO2时,需将前一次熔出的2、添加Ti3O5时,将前一次熔出的2、添加TiO2时,将前一次熔出的坑填2、添加TiO2时,需将前一次熔出的坑坑填平.坑填平即可.平即可.填平即可.探添加膜料注意相对应坩埚序号,及3、添加ZrO2时,只需将前次使用的3、添加Si时,添加的膜料需低于坩埚3、添加Si时,添加的膜料需低于坩埚所需添加的材料名称；膜料取出,更换成新膜料即可,膜料边缘 2mmr 3mm边缘 2mmr 3mm探膜料添加完毕后,需将坩埚周边的必须放置到坩埚中央位置.探添加膜料注意相对应坩埚序号,及探添加膜料注意相对应坩埚序号,及所多余膜料去除干净.卜添加膜料注意相

9、对应坩埚序号,所需添加的材料名称；需添加的材料名称；及所需添加的材料名称；探膜料添加完毕后,需将坩埚周边的探膜料添加完毕后,需将坩埚周边的多膜料的存放要求：卜膜料添加完毕后,需将坩埚周边多余膜料去除干净.余膜料去除干净.1、不使用的已熔膜料需放入枯燥塔内 保存的多余膜料去除干净.膜料的存放要求：膜料的存放要求：添料2、已开启的膜料,0.5KG以内的放1膜料的存放要求：1、不使用的已熔膜料需放入枯燥塔内1、不使用的已熔膜料需放入枯燥塔内保包枯燥剂,0.5KG以上的放2包枯燥1、不使用的已熔膜料需放入枯燥塔保存存剂.内保存2、已开启的膜料,0.5KG以内的放12、已开启的膜料,0.5KG以内的放1

10、包2、已开启的膜料,0.5KG以内的放1 包枯燥剂,0.5KG以上的放2包枯燥 齐叽包枯燥剂,0.5KG以上的放2包枯燥剂.枯燥剂,0.5KG以上的放2包枯燥剂.昭和莱宝南光SiO2添加图SiO2添加图SiO2添加图SiO2添加图SiO2添加后图:SiO2添加后图:SiO2添加后图:SiO2添加后图:TiO2 添加后图:TiO2 添加后图:TiO2 添加后图:TiO2添加后图:昭和莱宝韩一南光每罩均需更换光控片吏用光控时：每罩均需更换光控片,使用光控时：每罩镀膜前需检查光控片1、检查晶振片寿命值,寿命值v 96%寸,:1镀FM时更换20个光控片；冋时检查晶振寿命值,寿命值10使用状况,并根据下

11、罩镀膜产品决定是必须更换晶振片.2、镀AR时更换4个光控片.时必须更换晶振片；否需要更换光控片例：光控共40个2、晶振片更换好后,需检查晶振频率是探更换过程中注意保持光控片外表单独使用晶控时,每罩检查晶振寿命点,假设已用28个点,而下一罩需要用否止常显示,寿命值是否?98%假设不是,洁净.值：16个点,贝U 28+16=44 > 40,故在镀下那么需重新更换.探更换后需在?镀膜原始数据记录1、镀GT产品时,晶振寿命值3时一罩之前需更换光控片,同时检查晶探更换过程中注意保持光控/晶控片表表?中做好更换记录.必须更换晶振片；每更换阳极筒时也振寿命值,寿命值16时必须更换晶面洁净；必须更换晶振

12、片振片；探更换后需在?镀膜原始数据记录表?光控、晶控2、镀除GT以外其它产品时,晶振寿单独使用晶控时：检查晶振寿命值,寿中做好更换记录.确认命值8时必须更换晶振片；命值10时必须更换晶振片；3、晶振片更换好后,需检查晶振频晶振片更换好后,需检查晶振频率是否率是否正常显示,寿命值是否为 0,正常显示,寿命值是否为 0,假设不是,假设不是,那么需重新更换.那么需重新更换.更换过程中注意保持光控/晶控探更换过程中注意保持光控/晶控片片外表洁净；外表洁净；探探更换后需在?镀膜原始数据探更换后需在?镀膜原始数据记录表?记录表?中做好更换记录.中做好更换记录.将装好镜片的伞架放置到镀膜机工件将装好镜片的伞

13、架放置到镀膜机工将装好镜片的伞架放置到镀膜机工件架上,并确认是否放置到位.件架上,并确认是否放置到位.架上,并确认是否放置到位.参考?镀膜装取片作业指导书?上伞探 上伞时应防止手或袖口等碰触镜 上伞时应防止手或袖口等碰触镜探上伞时应防止手或袖口等碰触镜GL/WI-RD-13-02片,造成镜片脏污.片,造成镜片脏污.片,造成镜片脏污.1用无尘布擦拭密封圈和门边沿,以p、用无尘布擦拭密封圈和门边沿,1、用无尘布擦拭密封圈和门边沿,以 1、用无尘布擦拭密封圈和门边沿,以防 防脏污影响抽真空速度；以防脏污影响抽真空速度；防脏污影响抽真空速度；脏污影响抽真空速度；2、关闭真空室门,点击面版上的“排2、关

14、真空室门,按 VENT键关放气2、关闭真空室门,按一下“ RUN键,2、关闭真空室门,同时开烘烤,进入排气开始键,进入自动排气、加热状态.阀,设备即进入抽真空状态.设备进入自动排气、加热状态.气状态.排气探 记录开始排气的时间点探 记录开始排气的时间点探 记录开始排气的时间点探 记录开始排气的时间点抽真空3、检查镀膜机自动运行状态：“ Power3、检查自动运行的几个AUTO开关状探在抽真空冋时要如实记录抽真空时Supply 是否保持“ Ob状态.态:ROTATION POCKET SHUTTER间.HEATER APC RVC30Q 充氧需要,3、预熔膜料电子枪、加热是否均为 EXT模式.探

15、SiO2膜料不需要预熔.熔Si时需手动熔料昭和莱宝韩一南光镀膜制程文件选择：镀膜机电脑操作：1、按STEP键、再按8键,检查程序检查镀膜程序调用是否正确,假设确认无:1、当真空度到达 3.0E-3Pa且抽真空时:软件界面中依次选择：“成膜实行 T编辑是否止确.误,单击HOPE程序界面中绿色 START间到达2小时时可进行镀膜；“镀膜条件名选择根据产品制造2、按STEP键,再按7键,检查所镀键,那么设备进入自动运行状态.2、镀膜前确认所镀产品型号,寻找该产单产品名称选择镀膜制程文件,如：膜系是否正确.探 在整个自动过程中,注意调整电子品的镀膜程序,并根据程序规定进行镀FM-23I81选择制程文件

16、“ M-23I81 )3、按 AUTO键、START键,那么设备束光斑的位置和大小.膜.成膜开始,那么设备进入自动运进入自动运行状态.探镀膜过程中需观察监控速率是否稳3、镀膜完成后关闭烘烤保持咼真空5分行状态.探 在整个自动过程中,注意调整电定,束流是否正常,进氧是否正常,真钟后关闭高阀.探 在整个自动过程中,注意调整电子子束光斑的位置和大小.空度是否稳定,假设不稳定那么需在?镀膜探 镀膜时冋种膜料的光斑放置位置要束光斑的位置和大小.探 镀膜过程中需观察光控曲线极值探镀膜过程中需观察监控速率是否 稳定,束流是否正常,进氧是否正常,原始数据记录表?中记录异常状况.一致,光斑扫描大小要一致.探电子

17、枪电流调节不可忽大忽小,时常镀膜点走势是否止常,进氧是否止常,真空 度是否稳定,假设不正常那么需在?镀膜原 始数据记录表?中记录异常状况.真空度是否稳定,假设不稳定那么需在 ?镀膜原始数据记录表?中记录异常 状况.使用的电流调节位置做好标记,以便下 次使用时参考.探Si膜料镀完后要将坩埚中的膜料突 起熔平才能旋转坩埚,以免坩埚卡住.探当镀膜过程中发现膜料喷溅时,需及时关闭蒸发挡板,并记录此时晶振所显 示的厚度值,待膜料预溶至无喷溅现象 时方可继续镀膜.探镀膜过程中需观察监控速率是否稳 定,束流是否止常,进氧是否止常 ,真空 度是否稳定,假设不稳定那么需在?镀膜原始 数据记录表?中记录异常状况1

18、、镀膜完成后,镀膜机触膜屏限制面1、镀膜完成后等待腔体门自动翻开；1、镀膜完成后,镀膜机将按以下顺序温度降至220 C后翻开放气阀待真空室板上“排气系界面自动进入 “大气2、假设需手动放气,那么按下VACUUM1动作：MVOFF设定时间,HEATEPFF门自动翻开.状态.SELECT菜单中放气阀 VENT键.设定时间,ROTAT10N OFF冷探 开门时间点需记录到 ?镀膜原始数据进气2、假设需手动放气,在镀膜机触膜屏控 制面板上“排气系界面选择“手动 t关闭“ MV1MV2Polycold 开始除霜,35 C时除霜完成t点击“ WSW开始进气.探 开门时间点需记录到 ?镀膜原始数 据记录表?

19、中.探 开门时间点需记录到?镀膜原始 数据记录表?中.却结束设定时间,LV开,充气, 开门.2、假设需手动放气,那么待POLYCOL除霜 结束后按下白色VENT键等待自动开门.探 开门时间点需记录到?镀膜原始数 据记录表?中.记录表?中.昭和莱宝韩一南光下伞将伞架从镀膜机工件架上取下,放置 到净化工作台中.探 下伞时需带石棉网手套,防止烫 伤；探 下伞时应防止手或袖口等碰触镜 片,造成镜片脏污.将伞架从镀膜机工件架上取下,放置 到净化工作台中.探 下伞时需带石棉网手套,防止烫伤；探下伞时应防止手或袖口等碰触镜片,造成镜片脏污.将伞架从镀膜机工件架上取下,放置到 净化工作台中.探下伞时需带石棉网

20、手套,防止烫伤；探 下伞时应防止手或袖口等碰触镜片,造成镜片脏污.参考?镀膜装取片作业指导书?GL/WI-RD-13-021. 当车间温度低于22C时,每罩产品镀完膜后等温度降至 200C以下开进气阀,开门后等温度降至 50C以下取伞.2. 当车间温度高于22C时,根据原工艺进行生产.机参考设备部文件参考设备部文件参考设备部文件参考设备部文件5.3镀膜后自检5.3.1光学性能检查：A. 镜片冷却至常温后,取1、3、5圈各一片,测试光学性能见测试清单,并按镀膜批号保存好镀膜曲线；B. 光栅产品冷却至常温后,每圈伞片边缘各取一片,去胶并测试衍射比值；C. 假设测试光学性能0K那么将测试片归还到吸塑

21、盒中原位置后,将测试曲线与对应产品一同后流品质抽检；D. 假设测试光学性能NG那么及时通知当班组长,当班组长假设能自行调整那么调整后再知会工程负责人,假设不能自行调整那么第一时间通知产品负责人, 待产品负责人制定调整方案后再做调整,调整状况均需详细记录到?镀膜原始数据记录表?中.5.3.2外观检查：A. 每罩取测试了光学性能的3片产品进行外观检查；B. 检查方式：置于强光灯下,目视检查；C. 检查工程：麻点、喷点、雾状、手指印、水渍等；D. 处理方法：3片中只要发现有1片不良,及需上报当班组长,由组长确认是否可继续生产,当组长不能判定时,需上报工程负责人,由工程负 责人确定是否可继续生产,同时

22、工程负责人需制定改善方案.六、膜料更换及使用6.1膜料更换膜料名称常规更换周期更换流程SiO2每次洗设备后更换Si< 15天15天为蒸着使用时间TiO2 Ti3O5 Ta2O5Nb2O5 A12O3 H4< 15天15天为蒸着使用时间< 20天20天为蒸着使用时间探高折射率材料熔料遵循先大光点将膜料颗粒熔化,再中光点进行小范围熔光点限制成小圆圈路线,最后小光点大面积的扫描整个 坩埚内全部扫描到,使药品得到充分的溶化的原那么；探 熔料次数?2次,手动熔料电流限制见附件.探低折射率材料不需要进行熔料.探更换膜料后需将更换信息记录到?镀膜原始数据记录表?中.探 此药品属于使用量比拟

23、小的药品 ,在平时 使用过程中选择小瓶盛装拿起使用 ,原装的大 瓶膜料放入枯燥箱中保管探 此药品属于使用量比拟小的药品,在备注平时使用过程中选择小瓶盛装拿起使用 原装的大瓶膜料放入枯燥箱中保管6.2熔料6.2.1昭和、莱宝镀膜机都是设备自动熔料;6.2.2韩一镀膜机熔料当真空到达8.0E-5Torr时进行Si材料预熔,预熔前先将电子枪2调到手动状态并开启电子枪及高压电源,将扫描 X、Y分别调整到6慢慢 加大束流至100mA等待60s再慢慢加到200mA等待90s这时Si已慢慢熔化,在降束流将至150mA并将扫描X、丫调整到0等待60s,再慢慢 加到250mA等待90s,再慢慢加到350mA等待

24、90s,再慢慢加到450mA等待30s,将扫描X、丫分别调整到10并慢慢降束流至200mA等待20s, 再慢慢降束流至100mA等待20s,再慢慢降束流至50mA等待20s,再将束流慢慢降到0扫描X、丫分别调整为0,关闭电子枪将其调到自动 状态.熔料曲线：SiTio2/M16.2.3南光镀膜机熔料：当真空计显示为5.0E-3时,方可预熔膜料将工转电压调至100V,熔料,开电子枪灯丝,调节遥控盒上束流使电流表2显示为0.5A预热5分钟,假设用电子枪I ,那么把电子枪选择开关 指向枪I,开扫描电源,开高压,慢慢加大束流,注意观察真空室内光斑的位置,不断调节X,Y扫描移动光斑,在坩埚的位置,使膜料均

25、匀预熔,当束流到达规定值,膜料预熔放气,直到真空计显示放气量只降不升时,再把光斑放到坩埚中间烧1分钟左右,关电子枪束流,关预置 探 熔AI2O3时将X扫描加一圈丫扫描加半圈熔料曲线：SiTio2AL2O3七、设备清洗7.1昭和镀膜机清洗7.1.1清洗周期A. 镀FM时：3天/周期 15罩FM;B. 镀AR时：7天/周期 105罩AR;C. FM+AR勺混合生产时,先安排生产FM,后生产AR,更换周期不超过105罩AR1罩FM=7罩AR.7.1.2清洗流程图清洁加热管边缘,工件架边缘,机 内侧壁沉积膜料用铜刷或刮刀清水冲洗干净清洁电子枪周边用吸尘器将粉尘 吸除用铝纸将电 子枪盖好更换枪灯丝用酒精

26、擦拭用酒精浸泡并擦拭安装电子枪、电子枪护板、真空室 内的底板、左右护板及挡板用酒精擦拭护板清洗要求：拆卸人员与喷砂人员共同填写?昭和镀膜机清洗交接表? 排气要求：温度设定300C,抽真空1小时,并试枪空镀5-10分钟.7.1.3配件更换A、电子枪灯丝更换1#电子枪灯丝更换周期：25天/周期25天为镀膜机工作时间;2#电子枪灯丝更换周期：每次清洗机台时更换.在生产周期内出现电子枪灯丝打火或枪灯丝烧断情况时可更换枪灯丝,.更换新的枪灯丝后要预热10分钟以上.更换下的枪灯丝须贴上小标签,并在小标签上注明更换时间、人及几号电子枪注：作业员更换枪灯丝时组长需监督确认,并在?镀膜原始数据记录表?中记录更换

27、信息 以便在下次清洗设备时由组长判定是否再次更换枪灯丝 .B、光控片更换1镀FM时安装全部的光控片20个；镀AR时安装4个光控片.注：1、更换光控片时,需保持光控片外表清洁；2、更换光控片后需在?镀膜原始数据记录表?中记录更换信息；3、更换后的光控片统一放置保管,积攒到一定数量后由采购部门统一外发返工抛光后再次 利用.4、更换套铜时须对应放置,换下的套铜放置于夹具中.C、光控灯泡更换更换周期：7天/周期7天为工作时间更换周期内如果发现光信号发生波动较大时或出现极值点偏差时,那么当即更换光控灯泡注：更换光控灯泡后需在?镀膜原始数据记录表?中记录更换信息;7.2莱宝镀膜机清洗7.2.1清洗周期A、

28、整个清洗周期,只能镀 AR产品100罩,镀其他产品需做折算：1罩光栅增透=1罩AR1罩光栅=0.25罩AR1 罩 G2K=3罩 ARB、 假设需镀光栅,必须在设备清洗后优先镀,且只能镀108罩,再镀只能镀光栅以外产品7.2.2 清洗流程图取出镀膜机内坩埚放置到枯燥柜中拆卸真空室内的底板、左右 护板、伞架、挡板送喷砂房喷砂清水冲洗清洁烘烤盘边缘,加热管边 缘,工件架边缘沉积膜料用铜刷或刮刀清洁电子枪周边+ 用吸尘器将粉尘吸除 用铝纸将电子枪盖好吸除掉落的膜料及粉尘用酒精擦拭擦拭扩散泵上方真空室、POLYCOLD管道及护板用酒精擦拭清洁电子枪体十用1000#砂纸用酒精浸泡并擦拭更换枪灯丝安装4块通

29、水护板安装其他护板护板清洗要求：拆卸人员与喷砂人员共同填写?莱宝镀膜机清洗交接表?.排气要求：温度设定280C,排气抽真空一小时,并试枪及离子源空镀5-10分钟7.2.3 配件更换A、电子枪灯丝更换以GT计算,当枪灯丝使用值为400时,需洗枪,换枪灯丝.在生产周期内出现电子枪灯丝打火或枪灯丝烧断情况时可更换枪灯丝,.更换新的枪灯丝后要预热10分钟以上.注：1、当镀一罩GT时枪1使用值加1,枪2加0；2、当镀一罩AR时,枪1使用值加1,枪2加4;3、作业员更换枪灯丝时组长需监督确认,并在?镀膜原始数据记录表?中记录更换信 息,以便在下次清洗设备时由组长判定是否再次更换枪灯丝 B、晶振片更换镀GT

30、产品时,晶振寿命值 3时必须更换晶振片；镀除GT以外其它产品时,晶振寿命值 8时必须更换晶振片；光控限制时,晶振寿命值10时必须更换晶振片；每更换阳极筒时也必须更换晶振片；当发现镀膜速率不稳时及时更换晶振片；装好后,检查晶振频率是否正常显示,寿命值是否为0.注：1、更换晶振片时,需保持晶振片外表清洁；2、更换晶控片后需在?镀膜原始数据记录表?中记录更换信息；C、阳极筒更换以GT计算,镀7罩GT后需要更换阳极筒；以AR计算,镀15罩AR后需要更换阳极筒；超过一个12小时未用时也应该更换阳极筒；从其它产品转镀光栅产品时,需要更换阳极筒.注：1、更阳极筒后需在?镀膜原始数据记录表?中记录更换信息；2

31、、镀光栅时要求离子源功率 DP限制在5.0 ± 0.1.通过调整BV值限制D离子源清洁及存放更换硼化镧后,使用时间w 48小时时,每更换阳极筒时都需清洁一次离子源；使用时间48小时时,每更换2次阳极筒时清洁一次离子源.当离子源陶瓷环假设出现明显破损,需更换.当离子源不使用时须加盖盖好,使用时须将盖取出.当镀膜机开门时间2小时那么须将离子源取出放入枯燥柜中存放.E、硼化镧与加热器更换使用时间250H时,需更换硼化镧与加热器；更换后需计时归零,同时将时间计时器设定为 250HF、石墨加热器及硼化镧的预使用及硼化镧“消毒石墨加热器的预热 当更换新的石墨加热器时,需对加热器和硼化镧进行预热除

32、气的操作,具体步骤如下：=根据操作指南安装新部件=关上真空室门并在“idle 状态下抽真空至3.0E-5mbar=通冷水,在APS限制面板MENU陳单中设置以下参数：Operati ng modelocalHEATER CURRENT30AHEATER POWER0KW=按下“ HEATER按钮,等待加热器的预热时间完成.=改变HEATER CURRENT加热器电流到40A并等待预热时间完成.=根据每次10A逐渐增加HEATER CURRNET至100A,每一步都需等待预热时间完成.=根据每次20A逐渐增加HEATER CURRNET至200A,每一步都需等待预热时间完成.=将HEATER P

33、OWER 加热器功率设置为1.8kw并等待预热时间完成.完成以上步骤后,加热器的参数已设置为正常工作时的状态.硼化镧的预热=将离子源设置为LOCAL模式=按下“ HEATER ,等待加热器加热完毕.在约500S=在MENU3菜单将32号离子源中设置为以下参数Coil curre nt0.5AAPS shutter delay time0secDischarge pre-curre nt10ADischarge pre-time0secBias voltage0VDischarge idle curre nt0AGas 1 start flow10sccmGas 1 trigger delay0

34、secGas 1 ramp time0secGas 1 end flow10sccm=按下“ SOURCE点火程序和适应阶段将在到达设定的参数之前自动运行在开始阶段,DISCHARGE VOLTAGE 将比BIAS VOLTAGE 要高,在MENU1菜单中查看当前值=每次10A增加DISCHARGE CURRENT至U 30A.在 MENU2菜单中更改注：每一步都需等待几分钟直到离子源稳定放电电压缓慢减小.=减小 GAS 1 FLOW 到 8sccm.=增力卩 DISCHARGE CURRENT 到 40A.=增力卩 COIL CURRENT 到 1.00A注：现在 DISCHARGE VOL

35、TAGE 应该比 BIAS VOLTAGE 要低.=将BIAS VOLTAGE 设定为120V以启动偏压限制,此时DISCHARGE VOLTAGE 应该近似为90-100V.让APS以此状态运行至少20-30分钟=依次按下SOURCE和HEATER关闭离子源和加热器.硼化镧“消毒当硼化镧外表被氧化时,称为“中毒,其外在表现为硼化镧外表变为土黄色,此时需 对其进行“消毒除气操作.消毒原理是硼化镧外表在氩离子环境中再生.具体操作如下：1清洁用莱宝专用工具将阳极桶取出并更换,将离子源加热器、硼化镧及其附件取出进 行清洁,后安装到位.2关上真空室门抽真空至 2.0E-5mbar.3按HEATE键,启

36、动离子源加热器并自动等待 300秒.4按MEN键、3键,进入离子源参数设置,并设置SET3Q如下;COIL CURRENT0.5 ADISCHARGE PRE CURRENT10 ADISCHARGE PRE TIME10sDISCHARGE CURRENT10ABIAS VOLTAGE0.0 VDISCHARGE IDLE CURRENT10AGAS 1GAS 2GAS START FLOW /sccm200GAS END FLOW /sccm2005按SOURC键,启动离子源=当离子源第一次点火后 DISCHARGE PRE CURRENT放电电流可能小于10A并且离子束可能会闪烁.如果在

37、离子源内部产生电弧,那么可能触发低压保护而关闭离子源,同时会出现F: DISCHARGE VOLTAGE的报警提示.=按下“ ACKN 键消除报警.=重新启动离子源直到在此条件下有稳定的放电电压.=根据一定的增量逐渐增加参数的数值.如下表6789COIL CURRENT0.5A1.0A1.5A2.0ADISCHARGE PRE CUNRRENT20A20A20A20ADISCHARGE CUNRRENT20A20A20A20AGAS FLOW GAS 1(sccm)20202020注：当离子束不再闪烁并且看起来稳定时,进入下一步例如：离子源参数不再改变时,可进入下一步=将DISCHARGE P

38、RE TIME设置为60秒,并按以下步骤进行10)11)12)COIL CURRENT2.0A2.0A2.0ADISCHARGE PRE CUNRRENT20A20A20ADISCHARGE PRE TIME60s60s60sDISCHARGE CUNRRENT30A40A40AGAS FLOW GAS 1(sccm)202015=完成以上步骤后,偏压限制启动偏压设置大于 013)14)15)16)17)DISCHARGE CUNRRENT40A40A40A40A50ABIAS VOLTAGE80V100V120V120V120VGAS FLOW GAS 1(sccm)1515151212=根

39、据最近的离子源参数运行至少 15分钟,直到COIL CURRENT 线圈电流和BIAS VOLTAGE 偏压稳定.检查=启动镀膜时候使用的离子源设置不充氧气消毒完成后的离子源参数应该接近 “中 毒之前的状态.=开门后取出硼化镧观察其颜色,如果是丁香蓝LaB6的典型颜色,那么消毒完成, 可以正常工作.7.3韩一镀膜机清洗731清洗周期A. 镀IR-CUT、FM时：2天/周期；B. 镀BS时：3天/周期,中间可穿插个别护板更换；注：组长确认可以适当延长清洗周期延长时间不可超过12小时7.3.2清洗流程图亠每次清洗设备时需对铝纸进行更换取出镀膜机内坩埚-放置到枯燥柜中*拆卸真空室内的底板、左 右护板

40、、伞架、挡板等->送喷砂房喷砂清洁加热管边缘,工件架 边缘,机内侧壁沉积膜料4用铜刷或刮刀+清洁电子枪周边用吸尘器将粉尘吸除用铝纸将电子枪盖好+吸除掉落的膜料及粉尘清水冲洗干净用酒精擦拭擦拭扩散泵上方真空室、POLYCOLD管道及真空室内壁用酒精擦拭清洁电子枪体用1000#砂纸用酒精浸泡并擦拭*更换枪灯丝打磨安装电子枪、真空室内的 底板、左右护板及挡板排气测试护板清洗要求：拆卸人员与喷砂人员共同填写?韩一镀膜机清洗交接表?. 排气要求：温度设定300r,抽真空一小时,并试枪及离子源空镀 5-10分钟733配件更换A、电子枪灯丝更换1#电子枪灯丝更换周期：25天/周期25天为镀膜机工作时间

41、;2#电子枪灯丝更换周期：每次清洗机台时更换.在生产周期内出现电子枪灯丝打火或枪灯丝烧断情况时可更换枪灯丝,.更换新的枪灯丝后要预热10分钟以上.注：作业员更换枪灯丝时组长需监督确认,并在?镀膜原始数据记录表?中记录更换信息 以便在下次清洗设备时由组长判定是否再次更换枪灯丝 B、晶振片更换单独晶振限制时：晶振寿命值 10时必须更换晶振片；光控限制时：晶振寿命值16时必须更换晶振片；当发现镀膜速率不稳时及时更换晶振片；装好后,检查晶振频率是否正常显示,寿命值是否为0.注：1、更换晶振片时,需保持晶振片外表清洁；2、更换晶控片后需在?镀膜原始数据记录表?中记录更换信息.C、光控灯泡更换更换周期：7

42、天/周期7天为工作时间更换周期内如果发现光信号发生波动较大时或出现极值点偏差时,那么当即更换光控灯泡注：更换光控灯泡后需在?镀膜原始数据记录表?中记录更换信息；7.4南光镀膜机清洗741清洗周期10天/周期以镀AR计算w 60罩清水冲洗护板清洗要求：拆卸人员与喷砂人员共同填写?南光镀膜机清洗交接表? 排气要求：温度设定280C,抽真空2小时,并试枪空镀5-10分钟743配件更换A、电子枪灯丝更换2#电子枪灯丝更换周期：每次清洗机台时更换.在生产周期内出现电子枪灯丝打火或枪灯丝烧断情况时可更换枪灯丝更换新的枪灯丝后要预热10分钟以上.注：作业员更换枪灯丝时组长需监督确认,并在?镀膜原始数据记录表

43、?中记录更换信息 以便在下次清洗设备时由组长判定是否再次更换枪灯丝 B、晶振片更换检查晶振片寿命值,寿命值v 96%寸,必须更换晶振片.晶振片更换好后,需检查晶振频率是否正常显示,寿命值是否?98%假设不是,那么需重新更换.注：1、更换晶振片时,需保持晶振片外表清洁；2、更换晶控片后需在?镀膜原始数据记录表?中记录更换信息.7.5镀膜机设备点检7.5.1参照?镀膜机日常点检表?进行每天的日常点检并做好记录.7.5.2点检人员核对点检数据有无异常,假设有异常须马上上报到组长处.组长核实点检数据及分析, 假设能自行解决,那么处理后填好相关记录,假设不能自行解决,马上上报设备部,请设备部人员进 行修

44、理.八、镀膜工艺8.1变温工艺：适应于1#,2#机台制作全部产品及其他机台制作的反射镜8.2设备测温8.2.1测温时机：8.2.1.1. 每次洗设备后烘设备时进行测温,测试数据记录入到?镀膜机烘烤温度记录表?中.8.2.1.2. 机台停机大于等于24小时后,开机使用时进行测温,测试数据记录入到?镀膜机烘烤温度记录表?中.8.2.2测温要求：A. 伞架全部上满盖片,1,5圈测试B. 设定温度规定：设备名称设定温度昭和、韩一300 C莱宝、南光280 C注：设备进行了比拟大的变动时需特别提出注明设备部件维护,更换等8.2.3测温方法：测温1测温28.2.4测定结果分析A. 测定真实温度与标准规定值

45、差异在| AlvIO度时可正常生产.平均B. 测定真实温度与标准规定值差异在 10<| |<20度时,正常生产,生产的片子需进行快速的水煮跟踪测试品质协作,及时反应信息,假设没问题,继续生产；假设有问题,及时反应当 班组长马上停止生产,将设定镀膜温度提升或者降低相对应的温差来调节温度进行测试,测试没问题后再生产.C. 测定真实温度与标准规定值差异在| |>20度时,将设定镀膜温度提升或者降低相对应的温差后,再进行测温可与生产实验同步进行,测试完成后再参照8.2.4的A、B C条款做出对应处理.探 举例说明：昭合设备测温的标准温度为：1圈：260度 5 圈：270度镀膜伞圈数标

46、准温度T1洗设备后实测温度T2I 1= |T1- T2|处理方法例11圈260 C255 C5 C由于| |=5<10 C,故按方法 A处理, 即正常生产.5圈270 C262 C8 C由于| |=8<10 C,故按方法 A处理, 即正常生产.例21圈260 C252 C8 C由于| |=8<10 C,故按方法 A处理, 即正常生产此时1 3圈也按方法A 处理.5圈270 C258 C12C由于| |=12<20 C,故按方法B处理, 此时4 5圈也按方法B处理.九、镀膜应急情况处理方法9.1. 镀膜机配件故障：故障部件问题点原因分析处理方法电子枪灯 丝灯丝不亮灯丝老化

47、开路定期提前更换枪灯丝安装无意间使引脚折断检查灯丝并重装.电子枪打火灯丝不回零时转换电子枪造将灯丝电压、电流回零后再转换电子枪成电路产生大电流冲击束流打到材料以外的部位调整扫描使束流光斑打在坩埚内枪灯丝接触不良用1000#砂纸及酒精将电子枪头擦拭干 净,检查灯丝压块沟槽是否适宜,灯丝是 否压紧.灯丝电压、电流不稳给定电位器接线松动检查电位器连接电缆及引线灯丝电压反向给定电位器接线断开检查电位器连接电缆及引线空开跳灯丝自身冷热短路检杳枪灯丝电子枪高压无法启动开高压条件未满足关好机柜门、翻开主机枪水流阀门,待咼 真空到达后,先开扫描再开咼压扫描未翻开枪高压空开断开合上枪高压空开高压打火电子枪枪头不

48、干净或毛刺引起高压 放电用1000#砂纸及酒精擦拭干净枪头,尤其 是高压灯丝接线拄.经常检杳并拧紧高压、线圈电流正常, 但坩埚内无束斑主磁场偏转极性不对调整X线圈引线位置线圈匝间短路检查线圈阻值没有束流放气修理电子枪材料飞溅束流功率过大加上扫描电源,减少束流材料预熔不佳对材料手动预处理挡板 及工转镀膜时挡板无法开启当板气阀开的过小调整气动阀开关坩埚挡板掉了或遮不住装挡板时未装好或气阀气流太大、 太小装挡板时装好并试运行工件盘不转跳闸重新合上工转空开异物卡住如掉落的镀膜片停机检杳92镀膜机运行过程中故障故障部件问题点原因分析处理方法真空系统咼真空抽不上pocoly没有工作开机后检查poldcol

49、y电源及工作是否正常J有异物如扫描线、铝纸、脱落的 膜料等压在烝发室门上关蒸发室门前检查门框和密圭寸圈镀膜机水温偏高冷水机缺水开机前检查冷水机水位冷水机外循环子系统未翻开或缺水开机前检查并启动冷水机外循环系统镀膜机冷却水分配阀开度不合理适当调节冷水分配阀镀膜机冷却水总阀开度偏小翻开冷却水总阀冷却水总管上的旁通阀开度过大是否水压到达3kg,如不是那么调整偏转,扫描系统无输出偏转线圈接线脱落关蒸发室门前检查接线保险管烧坏更换保险管有电流无输出幅度调节电位器损坏检查幅度调节电位器及相关连线有输出但调节范围小偏转线圈接线接触不良清洗时碰 松接线关蒸发室门前检查接线束流光斑偏出偏转线圈接线错误检查并调整

50、偏转线圈接线烘烤系统烘烤恒温不准热电偶位置不对关蒸发室门前检查热电偶位置9.3.其他故障部件问题点原因分析处理方法其他部件晶振失效晶振脏污,晶振片质量不好,晶振 片未上到位清理好晶振探头并装好晶振片光控信号不稳或无信号光信号被异物遮住如铝纸等或 接收窗的玻璃片脏污经常检查光信号通路是否被遮住光控未开或上部光源接线不良检查光源接线后翻开光控上部光源未对准接收窗调整上部光源程序运行异常程序设定错误检查程序,做正确的更改电脑开启的程序太多,开启时间过 长电脑进行重启,清洗设备时电脑停机休息镀膜过程中扩散泵显示加热传感器显示温度正常检查传感器并清洗传感器探头加热丝故障油温在下降:报设备修理,更换加热丝1光控信号忽然乱