生产部门污染控制及ESD知识了解实用教案

1、头头 发发衣服纤维第1页/共35页第一页，共34页。污染污染(wrn)的来源的来源在在CR内不可以内不可以(ky)将口罩拉下与将口罩拉下与别人讲话别人讲话在在CR内不可以内不可以(ky)使用纸巾使用纸巾金属碎片带入带入CR之前必须用净化间指定的清洁之前必须用净化间指定的清洁 溶液溶液(70酒精和酒精和30DI水水)进行清洁进行清洁第2页/共35页第二页，共34页。污染污染(wrn)的尺寸的尺寸Disc 表面读写头飞行高度(0.3-0.35 u”)烟雾烟雾人的头发 尘埃微粒手指印手指印第3页/共35页第三页，共34页。净化净化(jnghu)室级别室级别在净化室地板在净化室地板(dbn)上形成上形

2、成交叉区域交叉区域返回返回空气空气返回返回空气空气凸起的地板HEPA温度和湿度的控制第4页/共35页第四页，共34页。Class “XXX”意味着什么意味着什么(shn me)？在在1 1立方英尺的样本空间中立方英尺的样本空间中0.5um0.5um的或更大颗粒的微粒不得超过的或更大颗粒的微粒不得超过(chogu)10(100)(chogu)10(100)个数值。个数值。净化净化(jnghu)(jnghu)室室 Class 10(100) Class 10(100) 的定义的定义 现在我们采纳：现在我们采纳：Smoke Room_Class100或或Class1000Clean Room &am

3、p; MRB_Class100Kitting Room_Class1000MRC_Class100 Class 100Class 10 Class 1 Class Class “XXXXXX” 意味着意味着什么？什么？第5页/共35页第五页，共34页。6第6页/共35页第六页，共34页。吹风吹风(chu fng)间间第7页/共35页第七页，共34页。保持净化保持净化(jnghu)室的清洁室的清洁不能拉下口罩第8页/共35页第八页，共34页。污染污染(wrn)的控制的控制第9页/共35页第九页，共34页。保持净化保持净化(jnghu)室的清洁室的清洁第10页/共35页第十页，共34页。防止防止(

4、fngzh)particulate第11页/共35页第十一页，共34页。防止防止(fngzh)particulate第12页/共35页第十二页，共34页。防止防止(fngzh)particulate第13页/共35页第十三页，共34页。第14页/共35页第十四页，共34页。防止防止(fngzh)particulate第15页/共35页第十五页，共34页。What Is ESD? 什 么 是 ESD ? ESD是指带有静电的物体靠近或接触另一物体，只要它们是指带有静电的物体靠近或接触另一物体，只要它们(t men)之之间存在电势差，就会发生静电荷传递。这种静电荷传递过程我们称之间存在电势差，就会

5、发生静电荷传递。这种静电荷传递过程我们称之为静电泄放。为静电泄放。两个物体经过摩擦或者在相对运动过两个物体经过摩擦或者在相对运动过程中产生静电程中产生静电,并且以静电方式留在物并且以静电方式留在物体表面体表面(biomin),当它靠近某一传导当它靠近某一传导体的表面体的表面(biomin)时就引起静电泄时就引起静电泄放放ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识 第16页/共35页第十六页，共34页。ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识基本知识 静电的概念静电的概念静电就是静止的电荷，就是物体表面有多余静电就是静止的电荷，就是物体表面有多余(duy)的的电

6、荷（正电荷和负电荷）存在。电荷（正电荷和负电荷）存在。静电产生有三种方法：静电产生有三种方法：摩擦摩擦相接触的两种物体相接触的两种物体(wt)发生分离发生分离静电感应产生静电静电感应产生静电第17页/共35页第十七页，共34页。ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识 静电产生方法(fngf)静电感应产生静电 HGA- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -当HGA靠近静电(jngdin)源也将会在HGA上产生感应电荷。第18页/共35页

7、第十八页，共34页。 相接触的两种物体(wt)发生分离打开(d ki)导体tray 当分离任何当分离任何(rnh)两个物体（绝缘体或者导体），静电将会产生在两个物体上。两个物体（绝缘体或者导体），静电将会产生在两个物体上。打开绝缘体tray ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识 静电产生方法第19页/共35页第十九页，共34页。How Does Electrostatic Charge Generating And Eliminating?静静 电电 的的 产产 生生 及及 消消 除除?ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识 ; 所有绝缘材料都容易产生

8、静电所有绝缘材料都容易产生静电(jngdin)，而且不，而且不容易用简单方法消除绝缘材料表面产生的静电容易用简单方法消除绝缘材料表面产生的静电(jngdin)。如普通的塑胶制品，陶瓷、石英、玻璃等。如普通的塑胶制品，陶瓷、石英、玻璃等。我们可以通过离子风机等人为产生离子，中和绝缘体我们可以通过离子风机等人为产生离子，中和绝缘体或孤立的导体表面所带的静电或孤立的导体表面所带的静电(jngdin)。; 导体在发生静电导体在发生静电(jngdin)感应或摩擦情况下也可感应或摩擦情况下也可以产生静电以产生静电(jngdin)，但我们可以用简单地接地的方，但我们可以用简单地接地的方法来消除导电材料表面产

9、生的静电法来消除导电材料表面产生的静电(jngdin)。第20页/共35页第二十页，共34页。Electrostatic Risk 静静 电电 风风 险险M 静电 的产生和存在十分广泛，人体活动、机器移动、液体流动(lidng)，就连我们周围的空气也是有原子组成的，当这些空气流动(lidng)时也会产生静电，可以说在我们的生产过程中处处都可能产生静电。要完全消除静电几乎不可能，但可以采取一些措施来控制静电的危害在一定的范围内。 M 静电 如果没有途径消除的话，而是流向对静电非常敏感的电子元器件，特别是非常精密的电脑硬盘磁头，PCBA等，那么则会使这些敏感的电子元器件降低等级而成为废品或次品。E

10、SD Basic Knowledge ? ESD基本知识 第21页/共35页第二十一页，共34页。continuity test进进 入入 净净 化化 室室 之之 前前 需需 正正 确确 穿穿 好好 净净 化化 室室 制制 服服 并并 进进 行行ESD控制控制-人体人体(rnt)接地及监接地及监控控 测量时亮红灯表示不通过测量时亮红灯表示不通过不测时指示电源不测时指示电源测量时表示不通过测量时表示不通过用手握住测试测量时亮绿灯表示通过第22页/共35页第二十二页，共34页。ESD控制控制(kngzh)-人体接地人体接地及监控及监控M 在在ESD安全的工作环境中，人产生的静电是我们进行安全的工作

11、环境中，人产生的静电是我们进行ESD控制的一个重点，我们知道，人体是导体，对于人体产生的控制的一个重点，我们知道，人体是导体，对于人体产生的静电我们可以通过接地来加以消除。人体接地有两个重要环静电我们可以通过接地来加以消除。人体接地有两个重要环节：节：M1.通过太空服太空靴或防静电鞋及通过太空服太空靴或防静电鞋及ESD材料的地垫或地板材料的地垫或地板接地。接地。M2.通过腕带接地。通过腕带接地。M 通过手通过手/脚腕带接地是消除人体静电很重要的方法。并且脚腕带接地是消除人体静电很重要的方法。并且(bngqi)还必须对腕带接地进行连续不断检测（我们采用还必须对腕带接地进行连续不断检测（我们采用3

12、M/NOVX/WS AWARE手腕带检测仪）手腕带检测仪）第23页/共35页第二十三页，共34页。正确佩戴手腕带正确佩戴手腕带 金属片紧贴皮肤金属片紧贴皮肤 手腕带的导线与腕带手腕带的导线与腕带 & Monitor的插孔的插孔(ch kn)必须紧紧连接必须紧紧连接 确保确保Monitor监控器上的亮绿灯监控器上的亮绿灯 保证没有警告声保证没有警告声Rev: Q金金属属片片注意：注意：1.任何灯显示红色都不可以工作任何灯显示红色都不可以工作 2.正常正常(zhngchng)工作时不允许关闭报警器工作时不允许关闭报警器插上手腕带后，WS Aware monitor 必须确保(qubo)始终

13、亮绿灯在在 接接 触触 静静 电电 敏敏 感感 元元 件件 时时 必必 须须 佩佩 戴戴 静静 电电 手手 腕腕 带带ESD控制控制-人体接地及监控人体接地及监控第24页/共35页第二十四页，共34页。目前(mqin)我们在用的手腕带监测仪有：3M 722 / 724，Novx 300 ，Novx 5315, WS Aware等。Novx300Novx53153M 724WS AwareESD控制(kngzh)-人体接地及监控第25页/共35页第二十五页，共34页。 接地监测是监测设备和金属物体接地的重要(zhngyo)设备，在HAS和FOF生产线，大多数工位都安装有接地监测仪。目前我们在用的

14、是Ground Master 和 WS Aware监测仪。必须保持接地监测设备始终亮绿灯。接地监测设备不亮灯或亮红灯，停止工作，立即(lj)通知到相关技术人员来处理。必须始终确保(qubo)Ground Master 电源开关和监控开关在开启状态。Ground Master 和WS Aware monitor 接地监控指示灯ESD控制-设备接地及监控第26页/共35页第二十六页，共34页。工作原理工作原理(yunl)：在：在10s内把物体表面产生的内把物体表面产生的1000V静电消除在静电消除在+(-)10V之内当离子风机平之内当离子风机平衡电压超过衡电压超过+(-)10V,离子离子风机会亮红

15、灯报警，这风机会亮红灯报警，这时必须进行更换维修。时必须进行更换维修。ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识 ESD控制(kngzh)-离子化第27页/共35页第二十七页，共34页。ESD控制-设备接地(jid)及监控设备接地对生产流水线的输送皮带必须是ESD材料。工作台应使用金属台面，并对工作台面进行接地。工作台上的电脑显示器法拉第罩，视保屏都必须进行接地。 贮存ESD敏感产品或零部件的架子必须进行接地。手推车满足ESD要求（至少2个ESD车轮）。设备 / 工具通过轴承或气缸联接的接触(jich)ESD敏感产品的部分必须另接接地线接地。设备 / 工具接触(jich)ESD敏感产品的部分不得使用绝缘材料，应使用金属或ESD材料。 缩短接地线，去除多余的不必要的接地线保持接地线平直（避免卷曲接地线）并使用希捷要求的接地线尺寸及型号联接到已知的好的接地点，并确保接地牢靠对工位，设备，工具接地不要一个接一个的进行链接对同一(tngy)工位，设备，工具不要进行重复接地设备接地线第28页/共35页第二十八页，共34页。Smock Room的要求 注:在测太空服导通性(tn xn)的时候要单手单脚同时测。ESD要求(yoqi)第29页/共35页第二十九页，共34页。ESD要求(yoqi)第30页/共35页第三十页，共34页。图