生物医学传感器

1、1生物医学传感器生物医学传感器原理及应用原理及应用陈陈 骥骥 主讲主讲2 课程教材：课程教材： 彭承琳彭承琳 等编，等编，生物医学传感器生物医学传感器 原理与应用原理与应用（第二版），重庆大学出版社，（第二版），重庆大学出版社，2011年版年版 参考教材：参考教材： 彭承琳彭承琳 主编，主编，生物医学传感器原理及应用生物医学传感器原理及应用，高等教育出版社，高等教育出版社，2000年年 杨玉星，杨玉星，生物医学传感器与检测技术生物医学传感器与检测技术，化学，化学工业出版社，工业出版社，20053第一章第一章 绪绪 论论1.1.传感器（传感器（Transducer/Sensor）的定义）的定义

2、我国国家标准我国国家标准( (GB7765-87中中) )传感器的定义是：传感器的定义是：“能能够感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出够感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置信号的器件或装置”。包含了以下几方面的意思：包含了以下几方面的意思：传感器是测量装置，能完成检测任务；传感器是测量装置，能完成检测任务；它的输入量是某一被测量，可能是物理量，也可能是它的输入量是某一被测量，可能是物理量，也可能是化学量、生物量等。化学量、生物量等。它的输出量是某种物理量，这种量要便于传输、转换、它的输出量是某种物理量，这种量要便于传输、转换、处理、显示等等，这种量可以是气、光、

3、电物理量，处理、显示等等，这种量可以是气、光、电物理量，但主要是电学物理量；但主要是电学物理量；输出输入有对应关系，且应有一定的精度程度。输出输入有对应关系，且应有一定的精度程度。4传感器的组成传感器的组成传感器一般由敏感元件、转换元件、基本转换电路三部传感器一般由敏感元件、转换元件、基本转换电路三部分组成，组成框图如图所示：分组成，组成框图如图所示：敏感元件敏感元件：是直接感受被测量，并输出与被测量成确：是直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的某一物理量的元件。定关系的某一物理量的元件。转换元件转换元件：敏感元件的输出就是它的输入，它把输入：敏感元件的输出就是它的输入，它把输入转换成电路

4、参量。转换成电路参量。 基本转换电路基本转换电路：上述电路参数接入基本转换电路，便：上述电路参数接入基本转换电路，便可转换成电量输出。传感器只完成被测参数至电量的可转换成电量输出。传感器只完成被测参数至电量的基本转换基本转换 5传感器的组成传感器的组成 一种气体压力传感器的示意图。一种气体压力传感器的示意图。 膜盒膜盒2 2的下半部分与壳体的下半部分与壳体1 1固接，固接，上半部分通过连杆与磁芯上半部分通过连杆与磁芯4 4相相连，磁芯连，磁芯4 4置于两个电感线圈置于两个电感线圈3 3中，后者接入转换电路中，后者接入转换电路5 5。 膜盒就是膜盒就是敏感元件敏感元件，其外部，其外部与大气压力相

5、通，内部感受被与大气压力相通，内部感受被测压力。当变化时，引起膜盒测压力。当变化时，引起膜盒上半部分移动，即输出相应的上半部分移动，即输出相应的位移量。位移量。 转换元件转换元件是可变电感线圈是可变电感线圈3 3，它把输入的位移量转换成电感它把输入的位移量转换成电感的变化。的变化。6 实际上，有些传感器很简单，有些则较复杂，实际上，有些传感器很简单，有些则较复杂，大多数是开环系统，也有些是反馈的闭环系统。大多数是开环系统，也有些是反馈的闭环系统。最简单的传感器由一个敏感元件（兼转换元件）最简单的传感器由一个敏感元件（兼转换元件）组成，它感受被测量时直接输出电量，如热电组成，它感受被测量时直接输

6、出电量，如热电偶就是这样。偶就是这样。 如图所示，两种不同的金属材料如图所示，两种不同的金属材料A A和和B B，一端，一端连接在一起，放在被测温度连接在一起，放在被测温度T T中，另一端为参中，另一端为参考，温度为考，温度为T T0 0，则在回路中将产生一个与温度，则在回路中将产生一个与温度T T、T T0 0有关的电动势，从而进行温度测量有关的电动势，从而进行温度测量。78传感器的组成传感器的组成l 有些传感器由敏感元件和转换元件组成。如图所示的有些传感器由敏感元件和转换元件组成。如图所示的压电式加速度传感器，其中质量块压电式加速度传感器，其中质量块m m是敏感元件，压电是敏感元件，压电片

7、是转换元件。片是转换元件。l 因转换元件的输出已是电量，故无需转换电路。因转换元件的输出已是电量，故无需转换电路。 l 敏感元件与转换元件在结构上常是装在一起的，由于敏感元件与转换元件在结构上常是装在一起的，由于空间的限制或者其他原因，转换电路常装入电箱中。空间的限制或者其他原因，转换电路常装入电箱中。l 尽管如此，因为不少传感器要在通过转换电路后才能尽管如此，因为不少传感器要在通过转换电路后才能输出电信号，从而决定了转换电路是传感器的组成环输出电信号，从而决定了转换电路是传感器的组成环节之一。节之一。MEMS技术技术 从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口

8、电路、通信系统以及电源于一体的微型机电系统 MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等 Micro-Electro-Mechanical Systems （USA） Micro-Machine (JAPAN) Micro-Systems (EUROPE)加速度传感器加速度传感器正文电梳驱动原理电梳驱动原理微观结构微观结构正文动作模拟演示动作模拟演示142. 2. 传感器的作用传感器的作用 人们为了从外界获取信息，必须借助于感觉器官。人们为了从外界获取信息，必须借助于感觉器官。而单靠人们自身的感

9、觉器官，在研究自然现象和规律以而单靠人们自身的感觉器官，在研究自然现象和规律以及生产活动中它们的功能就远远不够了。为适应这种请及生产活动中它们的功能就远远不够了。为适应这种请况，就需要传感器。传感器是人类五官的延长，是代替况，就需要传感器。传感器是人类五官的延长，是代替人体五种感觉器官（视、听、触、嗅、味）的装置。人体五种感觉器官（视、听、触、嗅、味）的装置。 在信息时代，首先要解决的就是获取准确可靠的信息，在信息时代，首先要解决的就是获取准确可靠的信息，而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。段。 传感器技术是现代医学仪器及计算机应

10、用的关键技术。传感器技术是现代医学仪器及计算机应用的关键技术。 152. 2. 传感器的作用传感器的作用 在医学上，在医学上，生物医学传感器的主要用途有生物医学传感器的主要用途有: (1) 提供生物医学提供生物医学检测检测的信息的信息 (2) 提供连续提供连续监护监护的信息的信息 (3) 提供人体疾病治疗和提供人体疾病治疗和控制控制的信息的信息 162. 2. 传感器的作用传感器的作用(1) 提供生物医学检测的信息提供生物医学检测的信息: 如心音、血压、脉搏、血流、呼吸、体温等如心音、血压、脉搏、血流、呼吸、体温等信息、供临床诊断和医学研究用。信息、供临床诊断和医学研究用。 除直接从人体收集信

11、息外除直接从人体收集信息外,临床上常从各种体临床上常从各种体液液(血、尿、唾液等血、尿、唾液等)样品获得诊断信息。这类信样品获得诊断信息。这类信息是利用化学传感器和生物传感器来获取生化检息是利用化学传感器和生物传感器来获取生化检验信息验信息,是诊断各种疾病必不可少的依据。是诊断各种疾病必不可少的依据。172. 2. 传感器的作用传感器的作用 (2) 提供连续监护的信息提供连续监护的信息: 长时间连续测定某些参量长时间连续测定某些参量,监视这些参量是否处监视这些参量是否处于规定的范围内于规定的范围内,以便了解病人的恢复过程以便了解病人的恢复过程,出出现异常时及时报警。现异常时及时报警。 如心脏手

12、术后的病人需监视其体温、脉搏、动如心脏手术后的病人需监视其体温、脉搏、动脉压、静脉压、呼吸和心电等一系列参数的变脉压、静脉压、呼吸和心电等一系列参数的变化情况化情况182. 2. 传感器的作用传感器的作用(3) 提供人体疾病治疗和控制的信息：提供人体疾病治疗和控制的信息： 利用检测到的生理参数控制人体的生理过程。利用检测到的生理参数控制人体的生理过程。 例如自动呼吸机用传感器检测病人的呼吸信号例如自动呼吸机用传感器检测病人的呼吸信号来控制呼吸机的动作，使之与人体呼吸同步；来控制呼吸机的动作，使之与人体呼吸同步； 电子假肢用测得的肌电信号，控制人工肢体的电子假肢用测得的肌电信号，控制人工肢体的运

13、动运动; 人工肝、人工肾（血液透析）体外循环中的血人工肝、人工肾（血液透析）体外循环中的血流、血压控制等。流、血压控制等。19生物医学测量上的各种参量生物医学测量上的各种参量位移位移 血管内、外径血管内、外径, ,主动脉、腔静脉尺寸主动脉、腔静脉尺寸, ,左心室左心室尺寸尺寸, ,肢体容积变化肢体容积变化, ,胸廓变化胸廓变化, ,心脏收缩变心脏收缩变化，骨胳肌收缩变化化，骨胳肌收缩变化, ,胃收缩胃收缩, ,肠蠕动肠蠕动速度速度血流速度血流速度, ,排尿速度排尿速度, ,分泌速度分泌速度, ,发汗速度发汗速度, ,流泪速度流泪速度, ,呼吸气流速呼吸气流速振动振动（加速度）（加速度）心音心音

14、, ,呼吸音呼吸音, ,血管音血管音, ,脉搏脉搏, ,心尖搏动心尖搏动, ,心瓣膜振动心瓣膜振动, ,手颤手颤, ,颈动脉搏动颈动脉搏动, ,脉象脉象, ,语音语音压力压力血压血压, ,眼压眼压, ,心内压心内压, ,颅内压颅内压, ,胃内压胃内压, ,食道压食道压, ,膀胱压膀胱压, ,子宫内压子宫内压力力心肌力心肌力, ,肌肉力肌肉力, ,咬合力咬合力, ,骨胳负载力骨胳负载力, ,血液粘滞力血液粘滞力, ,手握力手握力20生物医学测量上的各种参量生物医学测量上的各种参量流量流量血流量血流量, ,呼吸流量呼吸流量, ,尿流量尿流量, ,心输出量心输出量温度温度口腔温口腔温, ,直肠温直肠

15、温, ,皮肤温皮肤温, ,体核温体核温, ,心内温心内温, ,肿物温肿物温, ,中耳膜内温中耳膜内温, ,脏器温脏器温, ,血液温血液温生物电生物电心电心电, ,脑电脑电, ,肌电肌电, ,眼电眼电, ,胃电胃电, ,神经电神经电, ,脑脑干电干电, ,皮肤电皮肤电化学化学成分成分K, Na ,Cl K, Na ,Cl ，Ca ,OCa ,O2 2 ，COCO2 2 ,H ,Li ,H ,Li生物生物物质物质乳酸乳酸, ,血糖血糖, ,蛋白质蛋白质, ,胆固醇胆固醇, ,酶，抗原酶，抗原, ,抗体抗体, ,受体受体, ,激素激素, ,神经递质神经递质,DNA,RNA,DNA,RNA213.3.

16、生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类 生物医学传感器的分类方法有很多种生物医学传感器的分类方法有很多种 （1 1）按被测量分为三大类：）按被测量分为三大类： 1)1)物理传感器；物理传感器；2)2)化学传感器；化学传感器；3)3)生物传感器生物传感器 1 1）物理传感器：）物理传感器： 用于测量血压、体温、血流量、血粘度、用于测量血压、体温、血流量、血粘度、生物组织对辐射的吸收、反射或散射以及生物生物组织对辐射的吸收、反射或散射以及生物磁场等。这些被测量都属于物理量，设计传感磁场等。这些被测量都属于物理量，设计传感器时多利用这些非电量的物理效应。器时多利用这些非电量的物理效应。 223.3

17、.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类2 2）化学传感器：）化学传感器： 化学传感器是把人体内某些化学成分、浓度等化学传感器是把人体内某些化学成分、浓度等转换成与之有确切关系的电学量的器件。转换成与之有确切关系的电学量的器件。 用于测量人体体液中离子的成分或浓度（如用于测量人体体液中离子的成分或浓度（如CaCa+ +、K K+ +、Na+Na+、）、）、pHpH值、氧分压（值、氧分压（po2po2）及）及葡萄糖浓度等。这些被测量都属于化学量，不过葡萄糖浓度等。这些被测量都属于化学量，不过这些被测物质的分子量一般都不太大，利用电化这些被测物质的分子量一般都不太大，利用电化学原理或物理效应可以

18、制成化学传感器。学原理或物理效应可以制成化学传感器。 利用各种化学传感器测量人体中的某些化学利用各种化学传感器测量人体中的某些化学成分成分,如用离子选择性电极测量纳、氯、钙等离如用离子选择性电极测量纳、氯、钙等离子子;利用气敏电极测定氧分压和二氧化碳分压。利用气敏电极测定氧分压和二氧化碳分压。233.3.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类 生物电位生物电位（如心电、脑电、眼电、肌电等）（如心电、脑电、眼电、肌电等） 本来属于物理量，但由于测量生物电位时不可避本来属于物理量，但由于测量生物电位时不可避免地使用电极，电极和皮肤或软组织之间的界面是免地使用电极，电极和皮肤或软组织之间的界面是一

19、个半电池。电极是电化学研究的对象，如把测量一个半电池。电极是电化学研究的对象，如把测量生物电位的电极也看作是一种传感器，则应将其列生物电位的电极也看作是一种传感器，则应将其列入化学传感器。入化学传感器。24一次性心电电极通用型一体五导联线吸球心电电极25ECG-2203B 心电图机多参数监护仪26273.3.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类 3)3)生物传感器：生物传感器：l 用于酶、抗原、抗体、激素、脱氧核糖核酸用于酶、抗原、抗体、激素、脱氧核糖核酸（DNADNA）等物质的传感。）等物质的传感。l 这类物质也属于化学物质，但它们的这类物质也属于化学物质，但它们的分子量较大，分子量较大

20、，分子结构比较复杂分子结构比较复杂，一般的化学传感器很难对它，一般的化学传感器很难对它们进行识别。们进行识别。l 生物传感器的敏感部分具有生物识别功能，有很生物传感器的敏感部分具有生物识别功能，有很强的特异性和高度的敏感性，能有选择地与被测强的特异性和高度的敏感性，能有选择地与被测物质起作用物质起作用。l 生物传感器是具有生物识别能力的化学传感器生物传感器是具有生物识别能力的化学传感器。28生物传感器生生理理参参数数利用生物活性物质选择利用生物活性物质选择性识别来测定生化物质性识别来测定生化物质利用材料的物理变化利用材料的物理变化物理传感器非电学量参数非电学量参数机体的各种生物电机体的各种生物

21、电（心电、脑电、肌电、（心电、脑电、肌电、神经元放电等）神经元放电等）生物电电极电学量参数电学量参数利用化学反应原理，利用化学反应原理，把化学成分、浓度转把化学成分、浓度转换成电信号换成电信号化学传感器293.3.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类 （2 2）按工作原理分类：）按工作原理分类： 电阻式传感器、电阻式传感器、 电感式传感器、电感式传感器、 电容式传感器、电容式传感器、 压电式传感器、压电式传感器、 光电式传感器、光导纤维式传感器、红外传感器、光电式传感器、光导纤维式传感器、红外传感器、 热电式传感器、热电式传感器、 超声波式传感器、超声波式传感器、 半导体式传感器、半导体式

22、传感器、 声表面波传感器、声表面波传感器、 超导传感器等。超导传感器等。 303.3.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类 （3 3）按被测对象分类：）按被测对象分类： 血压传感器、血氧传感器、血压传感器、血氧传感器、 温度传感器、心音传感器、温度传感器、心音传感器、 脉搏波传感器、呼吸传感器、脉搏波传感器、呼吸传感器、 葡萄糖传感器、基因传感器等。葡萄糖传感器、基因传感器等。31血氧饱和度指夹仪.血氧饱和度探头红外脉搏传感器压电式脉搏传感器32BP300T压力传感器腕式电子血压计上臂式电子血压计新型上臂式电子血压计33温度传感器模块 DS18B20SHT1115温湿度智能传感器34OTP

23、-538红外测温传感器SDT-718 热释电红外模块红外测温仪35 医用传感器应具有以下特性医用传感器应具有以下特性: 1较高的灵敏度和信噪比较高的灵敏度和信噪比,以保证能检测出微以保证能检测出微小的有用信息。小的有用信息。 2良好的线性和快速响应良好的线性和快速响应,以保证信号变换后以保证信号变换后不失真并能使输出信号及时跟随输入信号的变不失真并能使输出信号及时跟随输入信号的变化。化。 3良好的稳定性和互换性良好的稳定性和互换性,以保证输出信号受以保证输出信号受环境影响小而保持稳定。同类型传感器的性能环境影响小而保持稳定。同类型传感器的性能要基本相同要基本相同,在互相调换时不影响测量数据。在

24、互相调换时不影响测量数据。36 除具有上述特性外，还必须考虑到生物体的解除具有上述特性外，还必须考虑到生物体的解剖结构和生理功能，尤其是安全性和可靠性更剖结构和生理功能，尤其是安全性和可靠性更应特别重视。应特别重视。 传感器必须与生物体内的化学成分相容，既不传感器必须与生物体内的化学成分相容，既不被腐蚀也不给生物体带来毒性；被腐蚀也不给生物体带来毒性； 传感器的形状、尺寸和结构应和被检测部位的传感器的形状、尺寸和结构应和被检测部位的结构相适应，使用时不应损伤组织，不给正常结构相适应，使用时不应损伤组织，不给正常生理活动带来干扰；生理活动带来干扰； 传感器有更严格安全要求和其它生物方面的要传感器

25、有更严格安全要求和其它生物方面的要求。求。374.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径1 1）采用新原理）采用新原理 利用新的物理效应、化学效应可研制出新一代传利用新的物理效应、化学效应可研制出新一代传感器。感器。 例如利用例如利用约瑟夫逊效应约瑟夫逊效应开发的磁场传感器可以开发的磁场传感器可以检测极微弱的磁场，使超高灵敏度的测量成为现检测极微弱的磁场，使超高灵敏度的测量成为现实，可用于超低温中的磁导率测量、生物体磁场实，可用于超低温中的磁导率测量、生物体磁场的测量等方面。的测量等方面。 光纤传感器、声表面波传感器、光纤传感器、声表面波传感器、DNADNA传感器等已传感器等已取得很大进

26、展。取得很大进展。38约瑟夫逊效应约瑟夫逊效应（超导隧道效应）：（超导隧道效应）：l 19621962年，剑桥大学研究生约瑟夫逊分析了由极年，剑桥大学研究生约瑟夫逊分析了由极薄绝缘层（厚度约为百万分之一毫米）隔开的薄绝缘层（厚度约为百万分之一毫米）隔开的两个超导体断面处发生的现象，超导两个超导体断面处发生的现象，超导绝缘绝缘超导超导 (SIS)(SIS)结，称为约瑟夫逊结。结，称为约瑟夫逊结。l 通过调节两块超导体间的绝缘层的厚薄，可以通过调节两块超导体间的绝缘层的厚薄，可以使其电压比某一特定值大时才有电流通过，小使其电压比某一特定值大时才有电流通过，小时则没有电流通过。时则没有电流通过。 3

27、9约瑟夫逊效应约瑟夫逊效应（超导隧道效应）：（超导隧道效应）：l 约瑟夫逊预言，超导电流可以穿过绝缘层，在约瑟夫逊预言，超导电流可以穿过绝缘层，在薄绝缘层隔开的两种超导材料之间有电流通过，薄绝缘层隔开的两种超导材料之间有电流通过，即即“电子对电子对”能穿过薄绝缘层（隧道效应）；能穿过薄绝缘层（隧道效应）；l 同时还产生一些特殊的现象：只要超导电流不同时还产生一些特殊的现象：只要超导电流不超过某一临界值，则电流穿过绝缘层时将不产超过某一临界值，则电流穿过绝缘层时将不产生电压，即电流通过薄绝缘层无需加电压。生电压，即电流通过薄绝缘层无需加电压。l 这些预言被美国贝尔实验室用试验证实，而这这些预言被

28、美国贝尔实验室用试验证实，而这一超导物理现象则被称为一超导物理现象则被称为“约瑟夫逊效应约瑟夫逊效应”。l 约瑟夫逊效应是超导体的电子学应用的理论基约瑟夫逊效应是超导体的电子学应用的理论基础。础。 40SQUIDSQUID传感器传感器( (超传导量子干涉器件超传导量子干涉器件) )l 脑磁图测量系统的核心部件是脑磁图测量系统的核心部件是SQUIDSQUID传感器传感器l 地球的磁场为约地球的磁场为约0.30.31010-4 -4 T T（特拉斯）（特拉斯）l 脑生物磁场脑生物磁场50501000fT (1fT=101000fT (1fT=101515 T T ）l SQUIDSQUID传感器可

29、检测到地球磁场十亿分之一传感器可检测到地球磁场十亿分之一的变化量。的变化量。41SQUIDSQUID传感器传感器( (超传导量子干涉器件超传导量子干涉器件) ) 最新式的脑磁图测量系统可提供多达最新式的脑磁图测量系统可提供多达275275个传感器，个传感器， 其中的关键技术是其中的关键技术是SQUIDSQUID； SQUIDSQUID传感器是由超导材料铌金属，使用约瑟夫逊传感器是由超导材料铌金属，使用约瑟夫逊隧道效应的技术制作而成。隧道效应的技术制作而成。 SQUIDSQUID传感器均匀的分布在底部为头盔型的液氦杜传感器均匀的分布在底部为头盔型的液氦杜瓦容器内，工作在零下瓦容器内，工作在零下2

30、69269的超低温液态氦中，的超低温液态氦中，其工作温度接近于绝对零度，即零下其工作温度接近于绝对零度，即零下273.16273.16。 42脑磁图脑磁图传感器矩阵列传感器矩阵列l 脑磁图传感器均匀紧密脑磁图传感器均匀紧密地分布在大致成六角形地分布在大致成六角形的头盔内表面。的头盔内表面。l 头盔和液氦杜瓦容器做头盔和液氦杜瓦容器做成一体。成一体。 l 传感器矩阵列从传感器矩阵列从6464个至个至275275个可供选择。个可供选择。l 浸泡在液态氦中的测量浸泡在液态氦中的测量线圈离液氦杜瓦容器头线圈离液氦杜瓦容器头盔外表面的间距小于盔外表面的间距小于1717毫米。毫米。43SQUIDSQUID

31、（超传导量子干涉器件）（超传导量子干涉器件）l SQUIDSQUID是基于铌金属合金超是基于铌金属合金超导材料，使用约瑟夫隧道连导材料，使用约瑟夫隧道连接技术制作而成的。接技术制作而成的。l 每块晶片上制作每块晶片上制作8080个个SQUIDSQUID电路，且一次同时加工十块电路，且一次同时加工十块晶片，在技术上保证了制作晶片，在技术上保证了制作成的成的SQUIDSQUID具有高度的均匀具有高度的均匀一致性，也就保证了所有信一致性，也就保证了所有信道的特性相同。道的特性相同。l 图中显示了一个图中显示了一个SQUIDSQUID传感传感器的内部结构的电子显微镜器的内部结构的电子显微镜放大图放大图

32、。44液氦杜瓦容器液氦杜瓦容器l 头盔形的液氦杜瓦容器是优化低温系统的一部分，头盔形的液氦杜瓦容器是优化低温系统的一部分，并留有放置脑电图电极的空间。并留有放置脑电图电极的空间。l 为了抗无线电波的干扰，液氦杜瓦真空容器内还安为了抗无线电波的干扰，液氦杜瓦真空容器内还安装了抗电磁波干扰的屏蔽层。装了抗电磁波干扰的屏蔽层。l 在杜瓦真空容器内还涂有一层低温吸着材料以维持在杜瓦真空容器内还涂有一层低温吸着材料以维持其真空度其真空度。 45磁场屏蔽室磁场屏蔽室l 一般由两层一般由两层 m m 金属板和一层铝板构成，可同时屏蔽金属板和一层铝板构成，可同时屏蔽低频和高频的噪声干扰，重约吨。低频和高频的噪

33、声干扰，重约吨。l m m金属层是具有很高磁导率的合金，主要用来屏蔽金属层是具有很高磁导率的合金，主要用来屏蔽来自室外的低频噪声来自室外的低频噪声(10Hz)(10Hz)(10Hz)。l 磁场屏蔽室之所以能有屏蔽效能，是因为电磁波穿磁场屏蔽室之所以能有屏蔽效能，是因为电磁波穿过电磁屏蔽体时会产生吸收损耗和反射损耗。过电磁屏蔽体时会产生吸收损耗和反射损耗。46MEGMEG信号的发生原理信号的发生原理 脑磁图是研究脑磁场信号的脑功能图象技术。脑磁图是研究脑磁场信号的脑功能图象技术。一组紧密排列的脑神经元细胞产生的生物电流可看一组紧密排列的脑神经元细胞产生的生物电流可看作为一个信号源。由这一电流源产

34、生的生物磁场可作为一个信号源。由这一电流源产生的生物磁场可穿透脑组织以及颅骨到达头部之外，可用一组探测穿透脑组织以及颅骨到达头部之外，可用一组探测器阵列来测量分布在头皮表面上的这种磁场以确定器阵列来测量分布在头皮表面上的这种磁场以确定脑内信号源的精确位置和强度。脑内信号源的精确位置和强度。 由脑磁图探测到的大脑活动部位可以是由外界由脑磁图探测到的大脑活动部位可以是由外界激发产生的结果，比如视觉刺激，或者是自发性产激发产生的结果，比如视觉刺激，或者是自发性产生的结果，比如癫痫活动。把握这些活动部位的精生的结果，比如癫痫活动。把握这些活动部位的精确位置对于各种临床诊断，脑外科手术前的手术计确位置对

35、于各种临床诊断，脑外科手术前的手术计划制定，以及脑的基础研究都具有十分重要的意义。划制定，以及脑的基础研究都具有十分重要的意义。 47MEG/EEGMEG/EEG信号的发生原理信号的发生原理 脑磁图主要用于正切脑磁图主要用于正切磁场的测量，而脑电图磁场的测量，而脑电图则用于径向磁场的测量。则用于径向磁场的测量。 脑磁图是测量细胞内脑磁图是测量细胞内的电流，而脑电图则是的电流，而脑电图则是测量细胞外的电流。测量细胞外的电流。 脑磁图为脑功能图像脑磁图为脑功能图像化提供了最为精确的测化提供了最为精确的测量系统量系统。 48脑电图信号的失真脑电图信号的失真1 1）由于头部各组织的导电率各不）由于头部

36、各组织的导电率各不相同的效应，使得脑电图信号相同的效应，使得脑电图信号在到达头皮表面时会产生失真，在到达头皮表面时会产生失真，从而使得信号源的精确定位很从而使得信号源的精确定位很困难或根本不可能。困难或根本不可能。2 2）而脑磁场信号和各种脑组织的）而脑磁场信号和各种脑组织的导电率无关，因此脑磁图信号导电率无关，因此脑磁图信号在穿透头皮后不会产生任何失在穿透头皮后不会产生任何失真。脑磁图可用于脑内信号源真。脑磁图可用于脑内信号源的精确定位，而且事先没有必的精确定位，而且事先没有必要知道头皮，颅骨和脑组织的要知道头皮，颅骨和脑组织的精确的导电率值。精确的导电率值。 49MEGMEG信号检测信号检

37、测 对正常人听觉刺激的数据分析：对正常人听觉刺激的数据分析： 上图显示了均匀分布在整个上图显示了均匀分布在整个头部的头部的143143个脑磁图传感器所测个脑磁图传感器所测到的脑磁场变化曲线。所示曲线到的脑磁场变化曲线。所示曲线为为100100次数据采样的平均值，所次数据采样的平均值，所示时间范围约示时间范围约600600毫秒。毫秒。 下图显示了在同一时间坐标下图显示了在同一时间坐标轴上所有信道的脑磁场变化曲线轴上所有信道的脑磁场变化曲线的重迭。从此例可以清楚地看出，的重迭。从此例可以清楚地看出，磁场强度的最大值（磁场强度的最大值（100100毫微特毫微特斯拉）发生在听到刺激声音之后斯拉）发生在

38、听到刺激声音之后的的9797毫秒，用红线表示。毫秒，用红线表示。 504.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径 2 2）采用新材料）采用新材料 由于材料科学的巨大进步，新的功能材由于材料科学的巨大进步，新的功能材料的开发将导致新型传感器的出现。料的开发将导致新型传感器的出现。 半导体材料研究的进步，促进了半导体半导体材料研究的进步，促进了半导体传感器的迅速发展；传感器的迅速发展； 压电半导体材料为压电传感器集成化提压电半导体材料为压电传感器集成化提供了方便；供了方便； 高分子压电薄膜的研制成功，将使机器高分子压电薄膜的研制成功，将使机器人的触觉系统更接近人的触觉系统人的触觉系统更接近人

39、的触觉系统皮肤。皮肤。514.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径l 精细陶瓷、形状记忆合金等是很有希望的传感器精细陶瓷、形状记忆合金等是很有希望的传感器材料，尤其是记忆合金，当它复原时会产生相当材料，尤其是记忆合金，当它复原时会产生相当大的力，可作力敏感元件和执行元件的结合体。大的力，可作力敏感元件和执行元件的结合体。l 在功能材料方面，把酶或活体组织的一部分作为在功能材料方面，把酶或活体组织的一部分作为敏感元件，它对特定的化学物质具有高度的选择敏感元件，它对特定的化学物质具有高度的选择性。不仅可测量各种分于量和结构的化学物质，性。不仅可测量各种分于量和结构的化学物质，而且有可能测量

40、食品的新鲜度。而且有可能测量食品的新鲜度。l 随着材料科学技术的发展，适用于敏感元件的材随着材料科学技术的发展，适用于敏感元件的材料会大量增加，新型传感器将不断地出现。料会大量增加，新型传感器将不断地出现。524.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径 3 3）采用新的加工技术与工艺）采用新的加工技术与工艺 采用新的加工技术可以制造出新型传感器，如采用新的加工技术可以制造出新型传感器，如采用光刻、扩散等方法，可以制造出微型化和集采用光刻、扩散等方法，可以制造出微型化和集成化传感器，现在已经制造出能装在注射针上的成化传感器，现在已经制造出能装在注射针上的压力传感器和成分传感器。压力传感器和

41、成分传感器。 MEMS技术技术，采用半导体集成电路制造技术在采用半导体集成电路制造技术在同一个芯片上同时制造几个传感器或传感器阵列，同一个芯片上同时制造几个传感器或传感器阵列，而且这些传感器输出信号的放大、运算等处理电而且这些传感器输出信号的放大、运算等处理电路也集成在这个芯片上，从而可构成多功能传感路也集成在这个芯片上，从而可构成多功能传感器、分布式传感器。器、分布式传感器。MEMS制造工艺制造工艺1. 体微加工技术体微加工技术（蚀刻：干法蚀刻和湿法蚀刻）2. 表面微加工技术表面微加工技术（光刻）3. 键合键合( bonding)技术技术（硅熔融键合和静电键合）4. L IGA技术技术（Li

42、thograpie(光刻)、Galvanoformung(电铸) Abformung(塑铸)）体加工技术体加工技术Bare Silicon WaferDeposit Sacrificial Film(serving as a mask)Bulk MicromachiningFabrication CyclePattern Sacrificial FilmPattern Bulk Material (Si)Remove Sacrificial Film(serving as a mask)表面加工技术表面加工技术Bare Silicon WaferDeposit Mechanical FilmP

43、attern Mechanical FilmDeposit Sacrificial FilmPattern Sacrificial FilmDeposit Mechanical FilmPattern Mechanical FilmRelease StructureSurface MicromachiningFabrication Cycle体加工体加工&表面加工表面加工Surface MicromachiningBulk MicromachiningTrenchBridgeCantileversWafer SurfaceCavityNozzleMembrane体加工体加工&表面加工表面加工膜越厚，腐蚀膜越厚，腐蚀 次数越少。次数越少。去除下层材料，去除下层材料，释放机械结构释放机械结构