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文档简介

1、eds是能快速地分析各种试样的微区内be-u的所有元素的一种设备。eds可以与epma，sem，tem等组合，其中semeds组合是应用最广的显微分析仪器。光子能量检测过程x射线光子进入锂漂移硅si(li)探测器后，在晶体内产生电子一空穴对。在低温下，产生一个电子空穴对平均消耗能量为3.8ev。能量为e的x射线光子产生的电子空穴对为ne/3.8 。例如：mnka能量e为5.895kev，形成的电子空穴对为1550个。cak: 3.7kev，约产生1,000电子空穴对。电子-空穴对形成电压脉冲信号，探测器输出的电压脉冲高度对应x射线的能量。x射线的能量为ehh为普朗克常数，为光子振动频率。 不同

2、元素发出的特征x射线具有不同频率，即具有不同能量，只要检测不同光子的能量（频率）, 即可确定元素定性分析.可分为定点，线扫描，面扫描分析物质原子内层的某些电子被轰击，或跃迁到外部壳层，或使该原子电离，而在内层留下空位。然后，处在较外层的电子便跃入内层以填补这个空位。跃迁中多余的能量以特定波长的x射线光量子的形式放出。1.有标样定量分析：在相同条件下，同时测量标样和试样中各元素的x射线强度，通过强度比，再经过修正后可求出各元素的百分含量。有标样分析准确度高。2. 无标样定量分析：标样x射线强度是通过理论计算或者数据库进行定量计算l能快速、同时对各种试样的微区内be-u的所有元素，元素定性、定量分

3、析，几分钟即可完成。l对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得x射线扫描、面分布结果。l能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。l检测限一般为0.1%0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%leds定量分析的相对误差(含量20%wt）的元素，允许的相对误差5% (3 %wt含量20%wt的元素，允许的相对误差10% (1 %wt含量3%wt的元素，允许的相对误差30% (0.5%wt含量1%wt的元素，允许的相对误差50% l能量分辨率低（130ev）l工作条件要求严格。si(li)探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态，即使是在不工

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