洁净间培训最新

1、1 1洁净间培训洁净间培训洁净间基础知识17contents目录目录 统计量.18 统计量.29洁净室日常管理.54 洁净室管理四大原则.56 洁净间内注意事项.62 基础统计空气洁净技术.1空气洁净技术空气洁净技术第一节洁净技术发展情况p20世纪50年代初，高效空气粒子过滤器HEPA(High Effciecy Particulate Air Filter)，在美国问世，是洁净技术的第一次飞跃。50-60年代在美国得到发展，特别是军事领域发展较快。p20世纪70-80年代，洁净技术相继在日本、德国、英国、法国等得到应用。p中国的洁净技术在20世纪60年代起步，第一个洁净室1965年建成使用，

2、是电子工厂。p干净的生产环境是提高零件加工与装配精度的保证，是提高元器件和整机的运行可靠性和寿命的必要条件。例如：美国导弹公司，在装配惯性制导用陀螺仪时，平均每生产10个产品就返工120次，后来在洁净间内装配，返工可降低至2次，并且寿命提高了100倍。空气洁净相关解释p空气净化：是采用某种手段、方法和设备使被污染的空气变成洁净的空气。p空气洁净的目的：是使收到污染的空气，被净化到生产、生活所需的状态或达到某种洁净度。p空气洁净度：是指洁净对象空气的洁净程度，通常是 用一定体积或一定质量空气中所含污染物的粒径、数量来表示。p空气净化的途径：一方面是输入洁净空气对室内污染空气进行稀释，另一方面是迅

3、速排出室内浓度高的污染空气。空气净化的途径p控制污染源，减少污染发生量；p有效阻止室外污染物的侵入，这是最主要途径；p迅速排除室内发生的污染物；p空气流速控制；p系统上的气密性；p建筑上的必要措施。无尘室基本原理人员、设备、外气、建筑物本身等皆会产生颗粒,如何控制颗 粒数目大小，避免影响生产，这就是设立无尘室之主要目标。 空调外气带入之尘埃机械设备生产发尘建筑材料发尘门窗泄漏进入尘埃人员发尘空气净化系统的三级过滤示意图高效滤网防尘区回风空调箱新风防尘区中效滤网初效滤网在C/R所使用滤网之标准组合方式为：初效滤网=中效滤网=高效滤网1、 Pre-Filter:设置于外气吸入口处，捕集效率低（重量

4、法70-80），使用年限约46周。2、Middle-Filter:为保护Final-Filter及延长其使用寿命而设置，捕集效率以NBS（比色法）7090%,使用年限约为36个月。3、Final-Filter：捕捉最后段Particle用，HEPA约可用1年。0.3um捕集效率DOP法99.97以上。风机洁净室的系统构成四周不易粘附尘埃，表面光滑，洁净的房间；大风量的循环空气（考虑局部排气）和高性能的过滤器；符合需要的控制温湿度的空调设备（要考虑内部发热）；设置控制外部尘埃带入室内的风淋室，传递窗等设备。洁净室的四大技术要素p 送风至少经过三级过滤（粗效、中效和高 效），并且高效过滤器应设置在

5、系统的末端。p 洁净室应有足够的净化和空调的送风量。p 洁净室应维持必要的压力梯度（正压梯度 或负压梯度）。p 洁净室应有合理的气流组织。洁净室气流方式系统可高精度控制需要维持高洁净度不均衡上流会对下流有影响.为了控制整室，室内气流不均衡时会发生.精密控制容易难可能难难扩张性容易难容易容易容易维持管理难难容易难容易维修中下下中上搬运费用中下下中上初期投资费用受操作人员影响小.不受操作人员影响.受操作人员影响.上流会对下流有影响.受操作人员影响小.作业中洁净度Class 1100Class 1Class 1,000100,000Class 100Class 1100洁净度隧道方式TunnelCl

6、ean room洁净管方式Clean tube Clean room暖气方式Turbulent Airflow Clean room水平层气流方式Horizontal LaminarAirflow Clean room竖直气流层方式Vertical LaminarAirflow Clean room 方式项目南京埃科高效过滤器洁净间基础知识洁净间基础知识第二节洁净室(CleanRoom),也称为无尘室洁净室是指能将一定空间范围内空气中的悬浮微粒、细菌等污染物排除，并将室内的温湿度、洁净度、压力、气流速度及静电等影响生产环境因素控制在某一设计需求范围内，而给予特别设计的房间。 无尘粒子无尘粒子

7、控制控制温度温度 控制控制湿度湿度 控制控制照度照度 控制控制 洁净室洁净度等级标准ISO 14644-1ISO-14644是国际标准，现在美国、欧洲、日本、俄罗斯和我国都采用此标准，美国原来应用的是美国联邦标准209A、B、C、D、E，现在美国也不用了。原来我们熟悉的100级、1000级、10000级和100000级都是源自美国联邦标准FS 209B，现在它们分别被国际标准ISO-14644标准中的5级、6级、7级和8级所替代。洁净室的级别洁净室的级别,世界各国都有各自的划分标准,但现在国际上正逐步统一标准(ISO)。17一般空调准洁净间洁净间一般空调清洁度10000级清洁度1000级基板保

8、管仓库掰断研磨清洗检查内包装包装发货区域温度：222 正压环境根据需要局部为100级湿度：4510度 进入工厂的工序之前至少要设置3层门，防止外部气体的侵入污染； LE工序后保管的玻璃有可能会被间隔纸所含的水分或高湿度环境中的水分再次污染； 后工程的掰断-研磨工序如上所述通过空调控制温度222度，湿度4510，湿度管理还有防静电的目的； 保持室内正压，防止外部的灰尘，颗粒等侵入。一般空调准洁净间洁净间一般空调清洁度10000级清洁度1000级基板保管仓库掰断研磨清洗检查内包装包装发货区域温度：222正压环境根据需要局部为100级湿度：4510度清洗机室为准洁净间；维护时打开盖子清洗，有别于一般

9、环境；准洁净间也有环境污染的可能，有些厂家会覆盖静电板防止污染入侵；由于使用高温水所以温度会升高。一般空调准洁净间洁净间一般空调清洁度10000级清洁度1000级基板保管仓库掰断研磨清洗检查内包装包装发货区域温度：222度正压环境根据需要局部为100级湿度：4510度 洁净间安装FFU，清洁度为1000级。1000级为1立方英尺中0.5 m以上的微粒为1000个以下。 FFU单元HEPA过滤器拥有过滤99.97%的0.3m微粒的能力。 控制温度湿度，空调故障和露水珠，静电都会影响产品质量 洁净间种类多样，主要采用如右图气流乱流式和地板通风口式。乱流式地板易积灰，需每日清扫。洁净室的分类按气流流

10、型洁净室的分类：p单向流洁净室p 非单向流洁净室p混合流洁净室p矢流洁净室单向流洁净室单向流（层流）洁净室，其中又分垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。图1 单向流气流流型 单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理，把灰尘从一端向另一端挤压出去，用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流。 垂直单向流是气流以一定的速度（0.25m/s0.5m/s）从顶棚流向地坪的气流流型。这种气流能创造100级、10级、1级或更高洁净级别。但其初投资很高、运行费很高，工程中尽量将其面积压缩到最小，用到必须用的部位。 水平单向流是气流以一定的速度（0.3m/s0.5m/s）从一面墙流向对面的墙的气流流型。

11、该气流可创造100级的净化级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型。非单向流洁净室的气流流型又可分为顶送下回；顶送下侧回；顶送顶回等。图2 非单向流气流流型非单向流洁净室非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风；回风的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初投资和运行费用也不同。混合流洁净室图3 混合流气流流型混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小，用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省初投资和运行费。矢流（对角流）洁净室选上侧圆弧型高效过滤器风口送

12、风，对侧下回风口回风的气流流型。图4 矢流气流流型矢流洁净室的气流是以放射型的流线流出，流线之间没有竖向交叉，可用相对少量的送风获得较高级别的洁净度。多用在医药、医疗和电子等行业的小洁净室中。在某些特殊的实验室中也得到广泛的应用。各种气流流型洁净室的风量、冷量、初投资和运行费的比较（仅供参考）不同洁净级别洁净厂房的送风量、冷量投资耗电的指标气流流型洁净级别（级）送风量（m/s）（次/h）耗冷指标（W/m2）投资指标（元/ m2）耗电指标（W/m2）单向流垂直101000.25m/s1300150010000130001.251.35水平1000.3m/s8001000500060000.91.

13、0非单向流10005060次/h 600700280030000.250.33100002530次/h500600200022000.220.261000001520次/h350400140016000.130.16注：表中的送风量、单向流以断面风速表示，非单向流以换气次数表示。 表中冷量指标一般指电子工业洁净厂房。表中的初投资包括洁净厂房的围护、冷冻供应系统、空调净化系统，不含土建结构和自动控制的投资。表中的耗电量系指制冷系统和空调送风系统耗电不含电加热和电加湿的耗电量。按洁净室主要控制对象划分洁净室又可划分为：工业洁净室生物洁净室洁净室的分类工业洁净室工业洁净室主要的控制对象是灰尘粒子（不

14、分有生命的、无生命的）。工业洁净室主要应用在电子、航天、航空、机械、化工、化学制药、能源、纳米等工业中。尤其是电子工业和光电子工业更是离不开洁净室和洁净技术。 生物洁净室生物洁净室主要控制对象是有生命的、活的微生物粒子，如病菌、病毒等对人类、动物、环境有害的粒子。生物洁净室广泛地应用在医疗（洁净手术室、洁净病房）、生物制药、实验动物饲养、生物安全实验室、卫生防疫检疫的事业中。生物洁净室的发展速度非常快，而且得到了各方的认同和重视。工业洁净室与生物洁净室的差别比较项目工业洁净室生物洁净室研究对象（主要）灰尘、粒子只有一次污染。微生物、病菌等活的粒子不断生长繁殖，会诱发二次污染（代谢物、粪便）。控

15、制方法净化措施主要是采取过滤方法。粗、中、高三级过滤，粗、中、高、超高四级过滤和化学过滤器等。主要是采取：铲除微生物生长的条件，控制微生物的孳生、繁殖和切断微生物的传播途径。过滤和灭菌等。控制目标控制有害粒径粒子浓度。控制微生物的产生、繁殖和传播，同时控制其代谢物。对生产工艺的危害关键部位只要一颗灰尘就能造成产品的极大危害。有害的微生物达到一定的浓度以后才能够成危害。对洁净室建筑材料的要求所有材料（墙、顶、地等）不产尘、不积尘、耐磨擦所有材料应耐水、耐腐且不能提供微生物孳生繁殖条件。对人和物进入的控制人进入要换鞋、更衣、吹淋。物进入要清洗、擦拭。人和物要分流，洁污要分流。人进入要换鞋、更衣、淋

16、浴、灭菌；物进入要擦拭、清洗、灭菌；空气送入要过滤、灭菌，人物分流，洁污分流。检测灰尘粒子可用粒子计数器检测瞬时粒子浓度并显示和打印。微生物检测不能测瞬时值，须经48小时培养才能读出菌落数量。粒子大小感性认知基本分子 病菌 烟气雾气病毒 细菌 酶菌 雨 头发 花粉 喷雾 植物孢子 下面的大小是和人类的头发厚度（100um)作比较式时的大小状态人肉眼可看到的最小的大小（10um)标示直径0.3um大小，HEPA Filter可去除99.97%的粒子人类的头发厚度100um标示1um，VLSI(1M)线幅的大小CustomerSpecParticle粒子大小感性认知感性认知1,00010,000外

17、大气层大气层田园地带街市区10,000,0001,000,000100,000工业地带一般自然界气体等级灰尘粒子产生来源发尘源及量：发尘源及量：1、产品及设施 无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内； 产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略； 由于金属墙壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下。 2、人 发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘绝对量也在不断减少。 A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为的确良、去静电纯涤纶、 尼龙； B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少

18、； C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍； D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。 一个人一分钟产生之粒子数(1000个/分/人) 动作衣着一般作业服两载式无尘服全覆盖型无尘服粒径0.3m0.5m0.3m0.5m0.3m0.5m静止状态立姿543339151113196坐次448302142112157动作状态手腕上下运动445029804623004919手自由运动347022405702895221上体前屈392022407755403924头 上 下 左右12306311871512211脱帽26201310转身22408503902673215蹲姿4160

19、312011106056437踏步42402300120086011545步行536029201285101015756所以，人体是最大的发尘因素。洁净间的管理，关键是人员的管理！洁净间的管理，关键是人员的管理！洁净服的口罩个人打 次喷嚏的发菌量是万万个）、）是普通的喷嚏图示、）是抑制后的情况、）是带口罩后的效果。）、）是咳嗽后的图示口罩是重要的防尘对策！41不戴手套会引起静电在洁净室内为了不产生静电，采取了各种各样的措施。（离子补尘器、导电地板等）但是，在不戴手套的情况下去接触产品，就会引起静电，从而产生下图所示的不良产品。42尘埃带入室内的后果会对产品质量产生不良影响。 （0.5的尘埃造成

20、不良品）43不正确穿戴帽子，从而引起头发脱落，会对生产上造成致命的不良后果。关于洁净服饰44帽子：防止头发和肤屑的掉落口罩：防止口中散发细菌洁净服：防止作业服和皮肤的发尘长筒靴：防止作业服的下摆发尘手套：防止静电和肤屑产生 抑制尘埃产生。防止灰尘带入洁净室内风淋室（A/S）、传递窗（PB）正确使用风淋室（A/S），能够减少带入室内的灰尘。正确听从风淋室播音员的指示进行操作，够去除95%的1以上的灰尘洁净间日常管理洁净间日常管理第三节洁净室进入顺序 脱掉鞋子，将鞋子放入鞋柜. 脱掉外衣，放入衣柜. 着装内衣状态下，通过风淋，进入洁净服更衣间. 在洁净服更衣间内，穿上洁净服及洁净鞋.(洁净服：上/

21、下一体型) ，进入Hand Shower Room. 在Hand shower Room，戴上洁净 间用口罩、 帽子,手套, 指套、在体镜前确认着装状态.6) 入室前，在着装 完备状态下， 在洗手机内洗手烘干，洗手机需 要设置纯水配管线)7) 通过风淋，进入洁净工作间.洁净室进入顺序1.请在黄线外脱鞋2.经粘尘垫粘尘3.将鞋子放入鞋柜4.工作服放入衣柜5.风淋进入穿衣间9.戴口罩10.戴头套8.穿好进入整理间7.穿洁净鞋6.穿洁净服14.烘干13.洗手12.整理服装11.戴手套5.经风淋进入工作间如果拍打洁净服，内部的尘埃会跑出来。拍打压迫会迫使内部空气外溢。风淋的作用是吹落洁净服上附着的灰尘

22、。洁净服的作用： 过滤作用 ：阻止内部污物跑出来。 控制灰尘的产生：洁净服本身不产生灰尘。 防止静电：最大限度防止静电带电。风淋洁净间为什么需要风淋？风淋的作用大概有以下几点。1.作为不同洁净度管理的洁净间和进入洁净间的预备室，设置风淋使在洁净间工作的人员认识到进入风淋以后便是洁净间了。通过这种区域划分，限制穿着一般工作服的没有接受过洁净间培训的人员入内。2.封闭气流的作用通常洁净间为了防止外部气流的涌入，要对室内加压，保持比外界高的压力。当人进入室内，物品的搬入等情况下，门口开放，室压降低，洁净度有显著下降的危险。为此，风淋设计了出口和入口，保证不同时开放。3.除去衣物和携带物品的灰尘在预备

23、室经常会在衣服和物品上附着灰尘。风淋可以把附着的灰尘用高压喷气吹走，吹走的灰尘用HEPA过滤器过滤。洁净室进出人员洁净室进出人员管理八管理八不准不准具有具有下列状况之人员不准进入洁净室：下列状况之人员不准进入洁净室：(1)(1)皮肤有晒焦、脱皮剥落、搔痒症者；皮肤有晒焦、脱皮剥落、搔痒症者；(2)(2)患有严重型伤风、感冒，打嚏、咳嗽多者；患有严重型伤风、感冒，打嚏、咳嗽多者；(3)(3)不注重个人卫生，头发脏乱、头皮屑多者；不注重个人卫生，头发脏乱、头皮屑多者；(4)(4)有搔头、挖鼻孔、搓脸、搓皮肤之不良习惯者；有搔头、挖鼻孔、搓脸、搓皮肤之不良习惯者；(5)(5)涂覆胭脂、粉底或未按规定

24、洗去化妆品、指甲油者；涂覆胭脂、粉底或未按规定洗去化妆品、指甲油者；(6)(6)吸烟过量者吸烟过量者( (烟粒子在说话烟粒子在说话, ,呼吸过程中能再次喷出呼吸过程中能再次喷出) )(7)(7)持有或带有非无尘类物品或相关规定禁止带入洁净室之物品者；持有或带有非无尘类物品或相关规定禁止带入洁净室之物品者；(8)(8)未穿或未按规定穿戴好洁净服者；未穿或未按规定穿戴好洁净服者；洁净室入内人员洁净室入内人员管理八管理八注意注意进入进入洁净室的人员应注意以下事项：洁净室的人员应注意以下事项：（1 1）室内作业人员需严格遵守作业指示要求，按规定步骤）室内作业人员需严格遵守作业指示要求，按规定步骤操作设

25、备操作设备及产品；及产品；（2 2）室内维修人员需严格遵守洁净室之规定，尽量避免室内）室内维修人员需严格遵守洁净室之规定，尽量避免室内进行进行切削、打磨甚至切削、打磨甚至钻孔等易产生污染类作业；钻孔等易产生污染类作业；（3 3）室内人员禁止打闹、奔跑或进行剧烈性的大动作行为；）室内人员禁止打闹、奔跑或进行剧烈性的大动作行为；（4 4）室内人员禁止聚堆聊天、说笑、玩手机或长时间打电话）室内人员禁止聚堆聊天、说笑、玩手机或长时间打电话等影响等影响环境、工作之环境、工作之行为；行为；（5 5）室内人员禁止吸烟、吃零食，禁止携带与工作无关之杂物；）室内人员禁止吸烟、吃零食，禁止携带与工作无关之杂物；（

26、6 6）室内人员严禁不戴手套进行作业或接触产品；）室内人员严禁不戴手套进行作业或接触产品；（7 7）室内人员需时刻保持无尘服、鞋、帽等的正确穿戴，严禁在）室内人员需时刻保持无尘服、鞋、帽等的正确穿戴，严禁在室内室内脱衣、换装脱衣、换装或进行大动作穿戴整理等；或进行大动作穿戴整理等；（8 8）室内人员严禁随意丢放物品、工具、器皿等，应按规定有序）室内人员严禁随意丢放物品、工具、器皿等，应按规定有序放置于放置于相应规定相应规定区域或工具箱内；区域或工具箱内；洁净室进出人员管理洁净室进出人员管理之八之八做到做到进出进出洁净室人员应做到：洁净室人员应做到：(1)(1)争取每天冲澡、洗头，刮胡须、换衣争

27、取每天冲澡、洗头，刮胡须、换衣 ，保持身体清洁；，保持身体清洁；(2)(2)男士不留长发、长指甲，女士不涂胭抹粉、修眉毛、涂指甲；男士不留长发、长指甲，女士不涂胭抹粉、修眉毛、涂指甲；(3)(3)进入洁净室前应洗手，无尘服需严格按要求穿戴，不准将进入洁净室前应洗手，无尘服需严格按要求穿戴，不准将头发漏头发漏在外面，口罩在外面，口罩应罩在鼻梁位置；应罩在鼻梁位置；(4)(4)严格遵守无尘室规定，在指定区域更换拖鞋、穿戴无尘服，换严格遵守无尘室规定，在指定区域更换拖鞋、穿戴无尘服，换下无下无尘服应按规尘服应按规定折叠整齐或挂放指定地点；定折叠整齐或挂放指定地点；(5)(5)严格遵守进出通道制度，人

28、员进、出及物料通道要区分清楚，严格遵守进出通道制度，人员进、出及物料通道要区分清楚，物料物料进出需按固进出需按固定进行操作；定进行操作；(6)(6)进入风淋室，必须严格按规定进行周身吹扫，风听进入风淋室，必须严格按规定进行周身吹扫，风听5Sec5Sec后才后才可进入可进入无尘室；无尘室；(7)(7)不准穿无尘服走出更衣室，更不允许穿戴无尘服上厕所；不准穿无尘服走出更衣室，更不允许穿戴无尘服上厕所；(8)(8)争取不将手机带入洁净室，在洁净室内放取手机时应远离产品争取不将手机带入洁净室，在洁净室内放取手机时应远离产品，不，不允许摘下口允许摘下口罩、帽子进行通话。罩、帽子进行通话。洁净服选择容易活

29、动，质量好的洁净服洁净间用具C CLEANROOMLEANROOM 管理四大原则管理四大原则维持无尘室清净度四大原则不产生立刻排除不能堆积不带进入一一. .不带进入不带进入所有使用材料、设备、工具必须清扫干净后才可带进HEPA Filter及Frame不能泄漏室内必须维持设计之压力作业人员必须更衣，经过Air Shower后进入无尘室高 效 滤 网 口 密 封SILICON胶老化，需定期修补无尘室正压标识进入AIR SHOW 动作规范化AIR SHOW底部所设粘粘纸要及时更换 二二. .不产生不产生没有必要的物品不可带入人员必须穿着无尘服不可使用容易发尘的材料减少不必要之动作普通家用吸尘器的排气落尘很大，不能在防尘区使用。请使用中央集尘器。纸箱不能进入防尘室普通棉手工艺拖把不能进入防尘室使用，当然也不能存搭防尘室。三三. .不能堆积不能堆积必须按照标准方法与规定时间实施清洁不能有不易清洁、清扫的角落