真空镀铝学习演示文稿

1、兰州灯具镀膜机 .2050 型 .1600 型 .1688 型严禁设备工作时在电气柜和罐体之间穿过严禁设备工作时在电气柜和罐体之间穿过注意扩散泵烫伤，注意硅油燃烧注意扩散泵烫伤，注意硅油燃烧1600 型型 单系统单系统WKKLHH2050 系统图系统图H1H2H1H2如图为旋片泵的工作原理示意图，旋片泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子（转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙非常小）和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。两 个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、

2、C三个部分，当转子按图示方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积不断地增大，A空间的压 强不断的降低，当A空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进吸气腔A，此时正处于吸气过程。B腔的空间的容积 正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程。而与排气口相通的空间C的容积进一步地减小，C空间的压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时， 被压缩的气体推开排气阀，被抽的气体不断地穿过油箱内的油层而排至大气中，在泵的连续运转过程中，不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的 目的。排气阀浸在油里以防止大气流入泵中，油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入

3、泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封，同时油还充满了一切有害空间，以消除它们对极限真空的影响。旋片泵工作原理图1-泵体;2-旋片;3-转子4-弹簧;5-排气阀 冷阴极潘宁放电原理可以用如图冷阴极潘宁放电原理可以用如图1 1所示的结构来说明所示的结构来说明, ,一一个圆筒作为阳极个圆筒作为阳极, ,在其两端放两电极在其两端放两电极, , 一般接相同电位一般接相同电位作为阴极作为阴极, , 将整个放电系统放入轴向磁场中。空间中残将整个放电系统放入轴向磁场中。空间中残存的电子、离子存的电子、离子, ,在电磁场的作用下在电磁场的作用下, ,产生轮滚线运动产生轮滚线运动, ,

4、电子运动轨迹大大延长电子运动轨迹大大延长, , 导致它与中性气体分子的碰撞导致它与中性气体分子的碰撞几率增大几率增大, , 提高了电离效率提高了电离效率, , 使得这种结构在很低的气使得这种结构在很低的气压下也能发生放电。压下也能发生放电。潘宁放电原理图潘宁放电原理图： 根据磁感应强度根据磁感应强度B B 和气体密度和气体密度n n 的大小可以将潘宁放电分成几类的大小可以将潘宁放电分成几类: : 在气压很低、磁场很弱时不发生自持放电。在气压很低、磁场很弱时不发生自持放电。低气压放电模式低气压放电模式, , 此时放电的基本特点是此时放电的基本特点是: : 由于磁场内电子横越磁场的速率远比离子慢由

5、于磁场内电子横越磁场的速率远比离子慢, ,于是在放电空间内形成过剩的电子云于是在放电空间内形成过剩的电子云, , 电子云使径向电位下垂电子云使径向电位下垂, , 并在阳极附近形成鞘层并在阳极附近形成鞘层; ; 阳极电流随气压线性增加阳极电流随气压线性增加, , 这是潘宁电离计（这是潘宁电离计（PIGPIG）的基础）的基础; ; 此时并未在整个空间形成等此时并未在整个空间形成等离子体。离子体。 高气压放电模式高气压放电模式, ,当气压大于当气压大于1.31.31010-2-2Pa, Pa, 放电模式由低气压放电突然过渡到高气压放电。放电模式由低气压放电突然过渡到高气压放电。 低气压放电模式还可以细分为两种模式低气压放电模式