芯硕激光直接成像系统

1、mercury2000p系列无掩膜光刻机         支持：     第二代无掩膜光刻技术    全局对准功能    手动对准功能    预对准功能    对准补偿设定    高精度图形套刻匹配    全自动聚焦功能    灰度补偿功能    支持gdsii,cif,dxf多种格式处理  产品介绍: 芯硕

2、mercury系列无掩膜直写光刻设备基于先进的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术实现直写光刻。    该系列产品主要应用于大规模集成电路150nm工艺节点以上掩膜版制作，亦可用于微纳加工、mems、led、生物芯片等领域的直写光刻，在应用中省去了繁琐的掩膜加工步骤，相比单束直写具有效率高、技术先进、应用灵活等特点。该系列产品采用芯硕专利技术的大功率ld(波长405nm)光源，可达0.65um解析度和0.25um的套刻精度。  指标 :         sem效果图: nept

3、une280封装基板激光直接成像系统支持：     涨缩模式选择：       1.无涨缩       2.固定涨缩       3.自动涨缩       4.固定分区间涨缩       5.分区域对位与设定涨缩涨缩：指pcb板的形变。pcb尺寸涨缩的原因：（1） 经纬方向差异造成几班尺寸变化；由于裁剪时未注意纤维方向，造成剪切应力残留在基板内，一旦释放，直接影响基板

4、尺寸的收缩。（2） 基板中树脂未完全固化，导致尺寸变化（3） 多层板在层压前，存放的条件差，使薄基板或半固化片吸湿，造成尺寸稳定性差（4） 多层板经压合时，过度流胶造成玻璃布形变所致    两面配合度自动对准    自动记录生产讯息与参数设定；用于查询统计与追溯    自动报错    可指定添加标记与批号    板子全面微形变时，图形因应调整功能    系统自动定期校正    联网远程问题点协助排除    可联线成自动线 &#

5、160;产品介绍: 芯硕ldi(laser direct imaging) neptune280系统，基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术，实现多束激光直接成像，免除传统的底片制造，直接成像，在图像转移质量、生产周期和成本上，优于传统的工业，适用于先进封装基板黄光制程的激光直写成像系统，满足封装基板制造工艺中对精细化线宽和高精对准的要求。指标:  sem效果:10/10um线路sem效果ldi(laser direct imaging) tyche80系统     支持：  

6、   涨缩模式选择：       1.无涨缩       2.固定涨缩       3.自动涨缩       4.固定分区间涨缩    两面配合度自动对准    自动记录生产讯息与参数设定；用于查询统计与追溯    自动报错    系统自动定期校正    联网远程问题点协助排除    可联线成自动线 

7、;产品介绍: 芯硕ldi(laser direct imaging) tyche80系统，基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术，实现多束激光直接成像。免除传统的底片制造，直接成像，在图像转移质量、生产周期和成本上，优于传统的工业。产品适用于：    1)高精密、any layer的hdi；    2)少量多样、高稼动率的sample、qta；    3)用于量产的tyche 80hs，全自动化激光直接成像解决方案，给用户带来更大的收益；    4)适用于pcb全制程图像的转移

8、。  指标: sem效果 30/30um线路sem效果ldi (laser direct imaging) saturn90系统        支持：    涨缩模式选择：       1.无涨缩       2.固定涨缩       3.自动涨缩       4.固定分区间涨缩    &

9、#160;  5.分区域对位与设定涨缩    两面配合度自动对准    自动记录生产讯息与参数设定；用于查询统计与追溯    自动报错    可指定添加标记与批号    板子全面微形变时，图形因应调整功能    系统自动定期校正    联网远程问题点协助排除    可联线成自动线  产品介绍: 芯硕ldi(laser direct imaging) saturn90系统，基于已经自主开发成熟的第二代光刻直写技术，通过空间光调制器扫描技术，实现多束激光直接成像。免除传统的底片制造，直接成像，在图像转移质量、生产周期和成本上，优于传统的工业。产品适用于：    1)高精密、any layer的hdi；    2)少量多样、高稼