标准解读
《GB/T 11446.3-2013 电子级水测试方法通则》相比于《GB/T 11446.3-1997 电子级水测试方法通则》,主要在以下几个方面进行了更新与调整:
-
技术内容的更新:2013版标准根据近年来电子工业对超纯水质量要求的提升,对测试项目和指标进行了修订,引入了更严格的检测参数和限值,以适应电子元件小型化、高性能化的需求。
-
测试方法的改进:新标准采用了更先进的分析技术和仪器,如高效液相色谱(HPLC)、电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)等,提高了检测灵敏度和准确性,确保测试结果的可靠性和可比性。
-
适用范围的扩展:2013版标准扩大了适用的电子级水质类别,涵盖了更多类型的高纯度水使用场景,如半导体制造、平板显示、光伏等行业,增强了标准的通用性和实用性。
-
规范性引用文件的更新:新版标准引用了最新的国内外相关标准和规范,替代了已过时的参考文献,确保了测试方法与国际先进水平接轨。
-
术语和定义的明确:为避免理解歧义,2013版标准对一些关键术语和定义进行了明确和细化,增强了标准的可操作性。
-
数据处理和报告格式:新标准对测试数据的处理方法和测试报告的格式提出了更具体的要求,强调了数据的透明性和可追溯性,便于质量控制和信息交流。
如需获取更多详尽信息,请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。
....
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- 现行
- 正在执行有效
- 2013-12-31 颁布
- 2014-08-15 实施
文档简介
ICS31030
L90-
中华人民共和国国家标准
GB/T114463—2013
代替.
GB/T11446.3—1997
电子级水测试方法通则
Genericrulesfortestmethodsofelectronicgradewater
2013-12-31发布2014-08-15实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T114463—2013
.
前言
预计结构如下
GB/T11446:
电子级水
———GB/T11446.1;
待定
———GB/T11446.2();
电子级水测试方法通则
———GB/T11446.3;
电子级水电阻率的测试方法
———GB/T11446.4;
电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
———GB/T11446.5;
电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
———GB/T11446.6;
电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法
———GB/T11446.7;
电子级水中总有机碳的测试方法
———GB/T11446.8;
电子级水中微粒的仪器测试方法
———GB/T11446.9;
电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法
———GB/T11446.10。
本部分为的第部分
GB/T114463。
本部分按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本部分代替电子级水测试方法通则
GB/T11446.3—1997《》。
本部分与相比主要有如下变化
GB/T11446.3—1997,:
术语和定义中增加了准确度精密度和检出限的定义见第章
———“3”“”、“”“”(3);
在采样中增加了对采集用于非碱性痕量金属及微粒分析的样品的要求并修订了采样瓶
———“4”,,
的准备要求见第章
(4);
增加了条款将瓶子放入塑料袋中密封并采集平行样品见
———“4.9,,。”(4.9);
修改了贮存与运输中的贮存温度条件并对需要检测3--2-的样品的贮存条
———“5”,PO4、NO3、SO4
件提出了要求见第章
(5)。
本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出
。
本部分由中国电子技术标准化研究院归口
。
本部分起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心中国科学院半导体研究所中国电子技
:、、
术标准化研究院中国电子科技集团公司第四十六研究所
、。
本部分主要起草人褚连青王奕何秀坤段曙光提刘旺刘筠
:、、、、、。
本部分所代替标准的历次版本发布情况为
:
———GB/T11446.3—1989、GB/T11446.3—1997。
Ⅰ
GB/T114463—2013
.
电子级水测试方法通则
1范围
的本部分规定了电子级水的采样贮存与运输及报告的格式
GB/T11446、。
本部分适用于级电子级水
EW-Ⅰ~EW-Ⅳ。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
电子级水
GB/T11446.1—2013
3术语和定义
界定的以及下列术语和定义适用于本文件
GB/T11446.1—2013。
31
.
取样sampling
获得被试验物质的有代表性的部分
。
32
.
在线监测on-linemonitoring
在高纯水生产过程中选择合适的取样点用仪器直接对水质指标进行测量
,。
33
.
浓度concentration
单位量试样中所包含的某种物质的量
。
34
.
灵敏度sensitivity
试样中被测元素的含量变化与测得的相应信号的变化之比值
。
35
.
空白值blankvalue
由水试剂器皿仪器环境及操作人员本身引入的测量结果的额外增加值
、、、、。
36
.
空白试验blanktest
在不加入试样或被测元素的情况下
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