超声显微镜介绍PPT学习教案

1、会计学1 超声显微镜介绍超声显微镜介绍 设备简介 CS-300超声扫描显微镜 适配探头频率 5MHz400MHz 第1页/共20页 CS-300 超声扫描显微镜主要利用高频的超声波 (5MHz以上)检测器件、材料内部的缺陷位置、大小和分 布状态等，对粘接层面非常敏感，能检测出气孔、裂纹、 夹杂和分层等缺陷，是以波形、图形为显示方式的一种无 损检测工具，可以保留在破坏性检测中被丢失的细微缺陷， 样品通过检测后可以继续使用。主要应用于失效分析、可 靠性分析、制程控制、品质控制，产品研发、工艺提升等。 设备简介 第2页/共20页 技术指标 v超声波发射接收器频率范围：1-500MHz; v换能器频率

2、范围：2.25-400MHz; v最高图像分辨率：4m； vA/D采集卡频率：1GSample/sec，板载缓存 512MB（2GB）； v最大扫描速度：1000 mm/s； v扫描轴最高分辨率：0.1m； v扫描轴重复精度：1m； v步进轴分辨率：0.2m v调焦轴分辨率：0.2m； 第3页/共20页 设备参数 v专用工控机，双核处理器，双显示器。 v m级水循环过滤系统； v电力要求：AC220V10%，50Hz，1000W v温度/湿度：223/5010%RH v操作系统：Windows XP，Windows 7 v设备尺寸（不含操作台）： 890mmx860mmx1560mm; v重量

3、：450Kg 第4页/共20页 软件功能 vSmartscan专用超声扫描检测软件，自主研发，功能强 大，中文操作界面，功能持续升级； v 检测模式：A、B、C扫描、D扫描、T扫描，M扫描（多 层）、Q-B扫描、区域扫描，JEDEC托盘扫描，厚度测量 ，平面度统计等； vC扫描图像模式：峰值图像、相位反转图像、TOF图像； v自动缺陷判别； v前表面跟随； v缺陷尺寸和面积统计，自动计算缺陷占所测量面积的百分 比； 第5页/共20页 软件功能 v自动定位测量； v扫描过程中可随时改变增益、门限宽度和门限时间起点； v自动存储设置参数； v提取扫描的图像参数设置，复位并设置为该图像的扫描参 数；

4、 v支持无器件离线扫描； v支持多个检测结果图像同时显示，并能重新进行分析处理 ； v比例尺，实时显示扫描器件的尺寸； 第6页/共20页 软件功能 v对扫描结果进行文字注释功能； v屏幕打印功能，方便进行A、B、C图像对比； v支持将检测结果输出为BMP等各种图像格式； v探头在线更换，甩气泡功能； v强大的图像处理软件包：图像的缩放、拖动、测量注释、 图像的中值滤波、均值滤波，反色处理，浮雕处理，增强对 比度、伪彩色着色（自定义颜色方案）等处理功能； v为用户定制专用的生产管理和工艺质量管理软件； 第7页/共20页 应用案例 v半导体器件及封装 塑封IC、陶瓷封装、金属封装、金属-陶瓷封装、

5、分立器件 、三极管、场效应管、复合管、各种封装外壳、光电器件、 微波功率器件、MEMS器件、晶圆粘接、智能卡，SOP、QFP、 PGA、BGA、倒装芯片、板载芯片，CSP，堆叠封装、MCM多芯 片模块、整流桥、晶闸管、IGBT、大功率电力电子器件、模 块电路、传感器等。 v材料检测 金刚石复合片、陶瓷、玻璃、金属、塑料，焊接件等。 第8页/共20页 应用案例 红色和黄色的区域表明存在分层缺陷。红色和黄色的区域表明存在分层缺陷。 红色和黄色的区域表明存在分层缺陷。红色和黄色的区域表明存在分层缺陷。 塑封整流桥（塑封整流桥（GBJGBJ） 第9页/共20页 应用案例 红色和黄色的区域表明存在分层缺

6、陷。红色和黄色的区域表明存在分层缺陷。 红色和黄色的区域表明存在分层缺陷。红色和黄色的区域表明存在分层缺陷。 伪彩色显示伪彩色显示 塑封三极管（塑封三极管（TO-220TO-220） 第10页/共20页 应用案例 PLCC芯片上表面，引线框架上表面 第11页/共20页 应用案例 CPU（PGA） 芯片粘接面存在明显的气泡 第12页/共20页 应用案例 管壳和基底间界管壳和基底间界 第13页/共20页 应用案例 颜色发亮区域为分层缺陷 金属封装 第14页/共20页 应用案例 中间颜色发亮区域为分层缺陷 器件外壳 第15页/共20页 应用案例 颜色发亮区域为分层缺陷 晶圆粘接 第16页/共20页 应用案例 颜色发亮区域为分层缺陷 晶圆粘接 第17页/共2