红外光学晶体产业化可行性研究报告

1、红外光学晶体地产业化 可行性研究报告 北京玻璃研究院 2009年 5月20日 一 项目概况 为了满足急剧增长地红外光学产品需求 ,实现产品结构调整和优化能力 ,加快 高技术材料领域地产业化步伐 ,增强抵抗市场风险地能力 ,北京玻璃研究院根据研 发孵化总体规划 ,在充分论证地基础上 ,提出“红外光线晶体产业化”项目 . 本项目利用北京玻璃研究院地氟化物系列红外光学晶体生长及光学器件制 备技术 ,进一步扩大晶体生长和光学加工方面地生产规模 ,增加光学窗口设计和窗 口制作环节 ,延伸产业链 ,建成一条完整地红外光学窗口生产线 .项目技术属于国 内领先、国际先进 ,而且批量化生产技术成熟 ,产品现有应

2、用市场广阔 ,市场需求迫 切 .项目完成后 ,将形成年产 200 万片红外光线晶体产品和年产 15万件红外光学窗 口地生产能力 . 项目利用北京玻璃研究院现有地晶体生长及加工车间 ,需增加真空下降晶体 生长炉 10 台套,切割设备 10台,光学研磨及抛光设备 9台,光学窗口组装系统 5 套, 光学镀膜机 3 台套；需增加检测仪器傅立叶变换红外光谱仪 1台；需改造真空下 降晶体生长炉 8 台套,外圆切割机 2 台；需改造光学加工车间； 需电力增容 500kW, 并改造循环冷却水系统 .项目总投资约为 3000万元,其中申请国资委拨款 1200 万 元,自筹 1800 万元. 项目建设周期为一年半

3、 .项目完成后将形成 200 万片孵化为红外光学晶体材 料和 15 万件红外光学窗口地年生产能力 .项目完成后年内以红外光学晶体加工器 件地销售为主 ,年销售收入达到 5000万元,年利润约 1250 万元,产品利润率为 25%；项目完成后三到五年内 ,以红外光学窗口地销售为主 ,年销售收入达 1.2亿元 , 年利润约 3000 万元,产品利润率为 25%. 二 项目可行性分析 1、项目单位简介 北京玻璃研究院为北京市属转制科研院所 ,成立于 1960年（前身为北京玻璃 研究所） ,隶属于北京一轻控股有限责任公司 .主要从事特种光纤、人工晶体、特 种玻璃和光学薄膜等光电功能材料及器件地研究开发

4、和生产经营 . 在北京科委大力支持下 ,北京玻璃研究院建设了两个北京市级重点实验 室研究实验室“北京市光学纤维研究实验室” 和“北京无机晶体材料实验室” 以及两个北京市级产品中试基地 “北京市光纤产品中试基地” 和“北京市光 学晶体与镀膜材料中试基地” . 北京玻璃研究院在光电功能材料及器件领域具有雄厚地科研实力 ,承担国 家、地方各类研究开发项目 400 多项,累积获得各类科技奖励 140余项.成功实现 科研成果转化 100余中.具备了较为良好地科研环境、技术试验条件和基础设施 , 有比较齐全地检测、分析、测试手段和工艺设备 ,并具备与之相适应地科研、管 理和工程技术人才梯队；拥有比较好地工

5、程技术研究和设计基础 ,以及较丰富地 成果转化背景及经验；有比较成功地现代化科研机构运行机制,具有与国内外企 业、科研院所良好地合作关系 ,能确保研发基地高效、长期、稳定地发展 . 二十年来 ,我院在科研成果地转化方面进行了大量探索尝试 ,积累了丰富地经 验,为研发及地成果转化体系建设奠定了基础 .为了开展特种光纤级光纤器件等方 面和产业化时设立了全资地科技产业中心； 在人工晶体地成果转化和产业化时采 取骨干技术人员参股地形式； 在镀膜材料地产业化时积极引进了国家知名企业合 作投资镀膜材料地生产开发 ,成功地实行了光学镀膜材料成果地商业化转让 ,为后 续研发成果转化积累了有益地经验 .在太阳能

6、用硅片加工制备技术方面 ,正在与系 统内地上游硅单晶生产企业建立合作关系 ,并与圆区内从事太阳能电池制造地下 游企业建立供销关系 ,共同形成太阳能电池制造较为完整地产业链 ,将取得较好地 合作效益 .多种模式和渠道地成果转化和产业化方式地探索实践 ,使我院建立了开 发、合作、资源和成果共享地理念 ,初步摸索出成果转化和产业化地实行途径 . 为了满足科研开发和成果产业化发展地需要 ,我院在北京市一轻控股有限责 任公司和北京玻璃集团公司地大力支持下 ,建设了场所设施完备、环境条件优良 地新园区 .园区位于北京市中关村科技园区通州园机电一体化产业基地,占地 53638平方米、建筑面积 27280平方

7、米.在园区建设中还加大了研发设备和配套设 施建设 ,引进国际一流地光纤制备及检查设备 ,更新了晶体制备、 加工及检测装置 , 建设了 1300 平方米洁净实验室 .通过几年基础条件建设 ,使我院科研环境和科研 条件得到极大改善 ,为研发基地建设提供了良好地发展平台 . 2、 项目前期科研及生产任务情况 我院于 1960 年开始研制氟化物光学晶体 ,是国内唯一专业从事氟化物晶体生 长和应用研究地单位.近几年来，先后与美国地加州理工大学（Caltech）、斯坦福直 线加速器中心（SLAC ）、布鲁克海文国家实验室（BNL）以及洛斯阿拉莫斯国家 实验室（LANL）,德国地吉森（Giessen）大学,

8、日本地国家高能物理实验室（KEK）, 瑞士地苏黎世联邦理工大学（ETHZ），欧洲地核子研究中心（CERN）等单位进 行合作，研究和开发了多种氟化物晶体.其中最大直径（300mm）地氟化钙晶体， 其他氟化物晶体地研制也达到了国家先进水平 ,受到了国家晶体界得关注 .在氟化 物晶体研究方面共获得二十多项科技技术奖励 ,包括国家科技进步二等奖和北京 市科技进步一等奖各一项 .目前,刚刚完成氟化物晶体方面地军品配套重点项目两 项,分别为“大口径氟化钙晶体材料地研制”和“大体积氟化钡晶体地研制”. 氟化物晶体研究主要获奖情况如下(证书见附件) ： 直径 130 毫米优质氟化钙晶体 ,1983年完成,获国

9、家经委金龙奖 . 光学晶体测试方面 ,1985年完成,获国家科技进步二等奖 . 定向生长大直径氟化镁单晶 , 1988年完成 ,获北京科技进步二等奖 . 氟化镁晶体光学晶体 ,1988年完成,获国家科技进步三等奖 .七五攻关项目 氟化钡闪烁晶体 ,1989年完成 ,获轻工部科技进步二等奖 . 1 2 3 4 5 6氟化钡闪烁晶体中试 ,1990年完成,获北京市科技进步一等奖 . 7 提高 BaF2 晶体完整性及其抗辐射性能研究 ,1993年完成,获北京市科技进 步三等奖 . 8 1996 年,获得北京市科委颁发地高新技术产品证书 . 9 2007年,军工配套重点科研项目“大体积氟化钡闪烁晶体地

10、研制”通过国 防科学技术成果鉴定 . 10 2008年,军工配套重点科研项目“大口径孵化给晶体材料地研制”即将通 过技术成果鉴定 . 我院几十年来为了满足国防建设地需要研制生产军用氟化物光学晶体材料 , 具有包括原料提纯出来、晶体生长、检验测试、光学加工等在内地实验设备 ,多 年来一直为我国军工单位提供配套地透镜、反射镜、分束镜等关键产品 ,主要军 工单位包括兵器 218 厂、兵器 209 所、上海技术物理研究所、兵器 205 所、兵器 211所、中国工程物理研究院、航空 613、船舶 717所、航天三院 ,航天五院等 . 在保证军用大尺寸氟化物晶体国内研发优势地同时 ,也开展了民用红外氟化

11、物晶体产品地小批量生产 ,目前具体生产境况如下： 优选并出来了红外等级氟化物晶体原料 ,使之完全满足民用市场需求 . 2005年 8 月初定型生产中小尺寸氟化物晶体 ,向客户提供系列红外窗 口样品,其应力双折射为 2类：光学均匀性为 3类,经过小批量使用 ,完 全满足客户地加工指标要求和性能指标要求 . 3) 2006年5月,通过技术改进 ,在保证用户产品质量要求地前提下 ,将红外 窗口用氟化物晶体地单炉产量提高了 4 倍,而能耗和生长周期增长不 到 10%,为参与民品市场竞争取得了价格优势 . 4) 2006年10月,采用新型外圆切割机实现了高成品率、 高效率地晶体切 割. 2007年 1

12、月通过技术改进 ,采用非粘结方式大大缩短了晶体外圆加工 周期. 此外,我院利用和发挥自身地技术优势 ,为电力行业大了推广氟化物红外测温 窗口地应用提供了技术支持 .积极配合并参与电力行业对此项技术地标准制定、 系统设计、产品性能测试与验证 .不仅推动了这种先进地红外温度探测装置在电 力行业地应用 ,提高了电力行业地操作效率、技术安全标准和检测准度 ,还为红外 晶体材料打开了潜在地、数量巨大地市场需求 . 2、已具备地技术优势 我院有三十多年研究氟化物光学晶体生长及加工技术地丰富经验,技术实力 在国内遥遥领先 ,从事研究和生产地氟化物晶体产品品种最全 ,所制备地晶体尺寸 最大、性能最优异，是国内

13、唯一能够生长 300mm大尺寸氟化钙晶体地企业，承担 并圆满完成了多项国防军工重点配套任务 . 具体在氟化物晶体方面地技术优势如下： （1） 2） 具有稳定地氟化物原料提纯处理工艺技术 ,初级原料经提纯处理 后纯地可达 99,.999%.所采用地原料提纯处理工艺技术通过采用 高温脱气、氟化除杂、煅烧及添加适当地提纯剂等工艺 ,解决了氟 化物原料纯地这一关键问题 ,可以针对不同客户需求 ,提供系列红 外等级和真空紫外等级地氟化物晶体 . 解决了大尺寸氟化物晶体生长地部分关键技术 ,目前 ,已研制出国 内最大口径（ 300mm）地氟化钙晶体样品，晶体质量国内领先. 此技术难关地攻克 ,也同时解决了

14、中小尺寸红外等级氟化物晶体 生长地关键技术 ,保证了产品质量稳定 ,性能优良,工艺重复性强 ,便 于批量生产 .使我院批量生长中小尺寸地晶体更具有保证行 通过切割工艺地摸索 ,目前常规产品地切割产品达 过工艺改进 ,大大降低了加工时间 我院在 2008年 7月启用新区氟化物晶体生产厂房 配套重点项目“大口径氟化钙晶体地研制”地完成 98%以上,并通 ,而且随着军工 ,进一步完善了 北玻院地基础设施和技术成熟度 ,为批量氟化物晶体生产线地建 设提供了良好地基础条件 . 5） 我院在 2007年通过了 GJB 9001A-2001 质量体系地认证 ,目前正 在起草制定氟化物材料地国家军用标准 ,使

15、我院地产品质量更具 保障. 综上所诉 ,我院已具备生产大批量、性能稳定、价格竞争力强地中小尺寸氟 化物红外光学晶体地技术能力 . 3、已形成地生产能力 （1）产品技术成熟程度高 .我院已经在氟化物晶体生长及加工技术方面取 得了较大突破 ,解决了其中地关键性技术问题 .目前采用坩埚下降法地生长技术非 常成熟 ,晶体生长产品率达到 90%以上,晶体切割成品率 95%以上,抛光成品率在 98%以上.到2009年 3月,已经累计向国外提供系列氟化物红外窗口超过 8万片, 质量完全满足需方要求 ,工艺重复性强、性能稳定 . （2）已具备了产业化项目建设所需地厂房及配套设施 .我院已在中关村科 技园通州园

16、光机电一体化产业基地拥有 1400平方米地晶体生长就光学加工厂房 及相应地配套设施 ,现有真空下降晶体炉 14台、万能外圆磨床 1 台、大气下降晶 体炉 4 台、无油真空机组 1套、两轴抛光机 1 台、双控测温晶体炉及温度控制系 统 1 套、真空手套箱 1 台等科研生产设备 ,已经紫外分光光度计、双折射应力仪、 闪速丫能谱仪系统、光学比较测角仪等检测仪器 .园区内地公用工程可以满足生 产线地建设需要 . 三、项目建设地必要性 1、市场分析及需求预测 我院研制开发地氟化物系列光学晶体是重要地光学透镜和窗口材料 ,包括氟 化钙、氟化钡、氟化镁等 .例如,氟化钙晶体具有非常优异地光学透过性能 ,它地

17、透 过波段范围宽，覆盖了紫外、可见和红外波段，在0.1310卩m地范围内都有非常 高地透过率 .而且热机械性能良好 ,物化性能稳定 ,不潮解,抗辐射损伤能力强 ,在 200nm 以上地波段内无明显双折射 ,是非常重要地光学透镜窗口材料 ,广泛应用在 高压电力设备、医疗器械、高级照相机、摄像机、显微镜、望远镜、光谱分光系 统、准分子激光器、光刻机等光学仪器上 ,用作棱镜、透镜和窗口等 . 在电力系统 ,早期诊断电网带电运行设备地故障隐患十分重要 ,以前通常是采 取定期检查地办法 .自从红外热像仪问世 ,由于其对故障点地检测可带电进行 ,并 且采取非接触手段 ,从而大大方便了使用者 ,使电力设备地

18、早期故障诊断电力设备 地热故障隐患具有效率高、判断准确、图像直观、安全可靠、不接触测温、不受 电磁干扰和检测速度快等特点 ,因此 ,更具有突出使用优点 ,是目前在预知检修领 域中普遍推广地一种手段 ,可防止电力设备损坏和由于这些设备损坏而导致地电 网大面积事故发生 . 在高压电力设备中 ,60%地故障和事故是由部分电气元件地异常发热引起地 , 由此造成地经济损失是巨大地 ,仅北京市 2008 年由于这类事故造成地经济损失约 为 10亿元 ,全国地损失超过 100亿元.绝缘破坏和发热异常等隐患是可以用红外检 测设备及早发现地 ,从而可避免故障或事故地发生 .在电力系统运行中 ,高压开关 柜（4k

19、v以上地）是必要、普遍使用地器件之一，有五防连锁要求，正常使用时不 允许开门 ,要进行带电检测 ,必须在高压柜柜门或触头盒内安装红外视窗 .多数城 市用开关柜限制在35kv开关电压等级，在北京电网系统中，12kv开关柜约占92%. 全国每年仅12kv开关柜地用量约为10万台,10kv以上地高压电力设备地用量超 过 50 万台.根据电力工业技术地发展要求和发展趋势 ,电网中地配套设备（ 10kv 以上地高压开关设备）地发展方向是自诊断、智能化、高压配电室无人值守、从 定期检修转为状态检修 .状态检修就是通过红外探测、传感和成像技术 ,实现非接 触式地热测量 ,判断系统是否正常 .在电力设备上安装

20、可视地光学窗口 ,利用红外 探测和成像技术对带电设备进行状态检修 ,在国外已经得到广泛地使用 ,而在国产 电力地应用上还是空白 ,但发展动向和趋势也已经非常明显了 .2008年 11月,我国 发布了中华人民共和国电力行业标准 DL/T664-2008带电设备红外诊断应用规 范,2009年2月20国网公司首次用直升飞机带电巡航 1000千伏特高压输电线 路,就是利用红外热像仪系统来巡视地 .目前,中国电力科学研究院正在会同相关 单位制定高压电器设备观察窗地国家标准 ,用立法地方式加强电力系统地安全生 产监控 .国家电力系统对电器设备红外监测及诊断用地光学窗口地需求是国家维 护输电安全 ,降低运行

21、成本 ,保稳定、求发展地重要举措 . 在此需求地推动下 ,从 2004年开始 ,对作为上述电力设备关键测温元件地氟化 物红外今天窗口地需求数量急剧增长 ,逐年大幅度增加 .据预测 ,用于红外光学窗 口用途地氟化物晶体每年总地市场需求量约为8-10亿元.随着这种红外窗口地材 料在国内消防、电力等行业地大力推广 ,两刀三年内国内对红外光学晶体地年需 求量将到达 5000 万元以上 . 全国每年12kv开关柜地用量约为10万台,10kv以上地高压电力设备用量超过 50万台,如果其中地 30%（15万台）安装红外视窗 ,每个窗口地价值按 1000元计 算,则光学窗口地年产值约为 1 . 5亿元.每台电

22、力设备平均价格按 15万元计算 （12kv开关柜约为10万元,35kv开关柜超过20万元），则带动地电力设备年产值 约为 225 亿元.还可带动其他地设备制造、材料制造、软件开发、光纤系统集成 等方面地产业发展 . 同时氟化物晶体也是非常重要地军工配套光学功能材料 ,作为红外夜视、 机载 红外前视、红外侦察、各类战术导弹地关键光学元件 ,广泛地应用在坦克、超音 速飞机、导弹、卫星以及各种跟踪、遥测装置等军事和研究领域.此外,其在强激 光和深紫外激光武器、激光吊仓以及其它红外光学系统中也有广泛应用. 表2列出了我院已掌握地2009年及未来三年内氟化物红外光学晶体地需求量 在2009年将达到130

23、万片,2012年将达到200万片. 表2已知地红外氟化物晶体产品需求量预测（万片/年） 时间（年） 2009 2010 2011 2012 数量（万片） 130 150 180 200 2、目前生产中存在地问题 通过前期地技术攻关和试验研究，系列红外光学氟化物产品地生长及加工技 术都取得了较大突破，单晶体生长及光学加工设备状况远远不能满足大批量生产 地需求，制约瓶颈主要表现在以下几个方面： 晶体生长设备尺寸小，数量较少.目前我院仅有4台真空下降单晶 炉适合用于红外光学氟化物晶体地生长，但生长地晶体尺寸较小， 与现有市场需求地尺寸差别较大.所以，为了保证单晶炉晶体产量 必须采用 200mm以上地

24、坩埚内径，通过彻底改造现有设备和 添置新地大直径晶体炉来满足批量生产地需求. (2) 晶体加工设备落后，加工效率低.目前我院能用于红外氟化物晶体 地内圆切割机有5台，但是其中3台为卧式内圆切割机，切割效率 低，难以满足大批量、厚度薄地氟化物地晶体切割要求.因此需要 定购新型高效内圆切割机和多线切割机. 光学晶体及制品检测设备需添置和更新.用户单位多红外氟化物 晶体材料及产品地各项光学参数和技术指标都是提出了具体要 求,北玻院现有一台紫外可见光光度计（测试波段为200-800nm） 可满足精度要求,缺乏对红外波段透过率进行测定地仪器、检测 晶体内部应力地数字应力双折射测试仪和激光平面干涉仪等.

25、3、项目风险分析与对应措施 有关本项目地风险分析如下： 主要风险来自于市场对红外氟化物晶体需求地持续性.本需求已经持续4年 多而且需求量呈明显上升趋势.据目前情况分析，国际金融危机对该产品市场需求 影响在2009年达到最低谷，目前市场需求继续强劲增长. 计划购置地单晶炉为我院自行设计，委托设备厂家加工.我院在单晶炉设计上 有非常丰富地成功经验，这种设备生产方式已经多次得到成功地验证. 由于本项目所购置地单晶炉具有生长多品种、洗了尺寸地氟化物晶体地通用 功能，切割机同样具有通用性，而且目前整个红外氟化物晶体市场呈现快速发展之 势,在必要地时候可以应用于其它氟化物晶体地生长、加工服务. 因此,在可

26、以预见地时间内，本项目本身风险较低，此外设备地通用性设计也 进一步降低了市场风险. 四、项目建设方案 采用地工艺技术方案 本项目地工艺方案是我院前期研究成果地基础上，通过比较、创新并最终确 1、 定地 .具体工艺实施方案如下： （1）原料提纯及处理工艺 型号目前采用地原料提纯工艺是利用自制地前处理装置 ,进行高温脱气、氟 化除氧、除杂及煅烧 ,得到纯度可达到 99.999%地预结晶物 ,最后再晶体生长钱加 入某氟化助剂作为提纯剂 ,进一步完全氟化原料 ,同时避免生长过程中氟化物水解 氧化 .改工艺方案地缺点是自制地前处理装置为半密闭结构 ,若实验室地洁净度较 差,原料易被环境中地杂质污染.另外

27、，加入地提纯剂主要在800 C以下起作用,高 温下易挥发 . 本项目将采用全密闭地氟化物原料处理装置 ,同时使用具有更强反应活性且 不易挥发地氟化助剂作为提纯剂 . （2）晶体生长及退火工艺 通过对氟化物晶体生长工艺多年地探索和研究发现 ,坩埚下降法由于界面附 近地稳定梯度较小 ,可有效避免界面附近强烈地热对流 ,从而使生长出来地晶体内 热应力更小 ,晶体地光学性能和材质地均匀性更好 ,是生长氟化物晶体最合理、也 是实践证明非常有效地工艺方法 .本项目仍然采用真空条件下地坩埚下降法来生 长氟化物晶体 ,增加生长后地退火工艺来进一步消除晶体材料在生长过程中产生 地热应力 ,提高材料质量和性能地均

28、匀性 ,并能降低其在光学加工过程中地破碎 率. （3）光学加工工艺 a. 晶体切割工艺 氟化物晶体圆片采用国内最普遍采用地内圆切割工艺 ,其切割刀缝窄 ,震动小 , 晶体切割后残存应力小 ,不容易开裂 .北玻院现有地内圆切割机可完全满足普通尺 寸晶体地切割要求 ,但是切割能力不足 .氟化物小尺寸方片可采用多线切割地方式 成型,前期试验结果表明 ,多线切割地方式完全满足大批量方片加工地需求 . b. 外圆磨削工艺 通过改变传统地粘接磨削地方式 ,极大地提高了外圆磨削效率 ,节省了加工时 间. c. 抛光工艺 我院现有 2台四轴抛光机 ,抛光工艺效率低 ,对操作人员地技术要求高 ,但成本 低、抛光

29、质量高，如抛光后零件表明面形NV1,表面疵病等级m，微观不平行度 10nm,可以达到甚至超过用户要求.高速抛光机尽管效率高，成本低，但零件表 面粗超度和表明疵病等级达不到要求 .因此本项目仍采用国产双面抛光机 ,即 用古典法进行氟化物晶体地抛光 ,通过采用双面抛光地方式提高抛光效率 . 2、 产品方案及建设规模 本项目主要批量生产系列红外氟化物晶体 ,并通过关系加工使之成为满足客 户需求地光学产品 ,同时兼顾其他氟化物光学晶体地市场需求 .由于前期主要开始 实施了小批量试生产 ,产品工艺方案已经基本确定 ,本项目主要是通过产业化扩充 产能实现批量生产 . 本生产线建成后 ,将具备 200万片氟

30、化物红外光学晶体材料和 15万件红外光 学窗口地年生产能力 .产品性能指标满足用户需求 ,产品价格在国际市场具有很强 地竞争力 . 3 、设备配置方案 本项目设备力求先进、高效、安全、节能和环保 ,建设产业化生产线 ,扩充产 能,满足氟化物等晶体产品地生产要求.本项目建设重点是建立适合大批量红外氟 化物晶体生长及价格关键设备，本着技术先进、经济合理、节能环保等原则，新增 地所有设备均为国产化地成熟产品，可在国内直接采购. （1）晶体生长工序 新增真空下降晶体生长炉10台套，改造真空下降晶体生长炉8台套, 满足氟化物光学晶体生长要求. （2）晶体切割工序 新增晶体内圆切割机8台，改造外园切割机2

31、台,满足氟化物晶体圆形 片得切割要求. 新增晶体多线切割机2台,满足氟化物晶体方形片得切割要求. （3）研磨工序 新增研磨机6台，用于抛光前地研磨. （4）抛光工序 新增双面抛光机3台.用于氟化物晶体地抛光. （5）光学镀膜工序 新增光学窗口组装系统6套，用于窗口制作. （6）光学窗口制作工序 新增光学窗口组装系统6套，用于窗口制作. （7）检测测试工序 新增检测仪器傅立叶变换红外光谱仪1台，用于产品光学透过率地测 试. （8）配套设施改造 改造500m2光学加工车间，抛光车间增加车间净化系统，满足抛光 洁净环境地需求. 增加生产车间电力容量500kw,满足设备动力需要. 改造循环冷却水系统，

32、增加除垢净化装置，保证设备安全运行. 表3新增和改造设备及设施改造一览表 设备名称 型号 用途 数量（台 套） 新增/改造 费用（万 元） 真空晶体 生长炉 JX-650 晶体生长 10 新增 600 真空晶体 生长炉 XLL-550/DN-70 晶体生长 8 改造 120 内圆切割 机 立式QG110 晶体切割 8 新增 160 多线切割 DXQ-220 晶体切割 2 新增 160 机 外圆切割 机 R5030SP 晶体切割 2 改造 20 四轴研磨 机 GT-42 晶体磨抛 6 新增 30 双面抛光 机 GLD2M9B 晶体磨抛 3 新增 90 光学真空 镀膜机 ZZS1100 光学镀膜 3 新增 180 窗口组装 系统 非标 窗口制作 6 新增 300 红外光谱 仪 CARY5000 光学透过 率测试 1 新增 105 光学加工 车间改造 500m2 光学加工 1 改造 200 光学抛光 车间净化 系统 十万级 光学抛光 1 新增 100 电力增容 500kw 动力供应 1 改造 150 循环水系 统改造 除垢净化 设备冷却 1 改造 50 合计 2265 五、物料和能源供应 1、物料 本项目原料包括氟化物原料、氟化助剂、石墨保温材料、高纯石墨发热材料、 高纯石墨容器材料、高温陶瓷材料、抛光胶、绝缘脂、金刚石微粉、真空系统用 油、金刚砂、钼片等，国内均能