实验三扩散硅压阻式压力传感器实验_第1页
实验三扩散硅压阻式压力传感器实验_第2页
实验三扩散硅压阻式压力传感器实验_第3页
实验三扩散硅压阻式压力传感器实验_第4页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、北京XXX大学实验报告课程（项目）名称：实验三扩散硅压阻式压力传感器实验学院：专业：班级：学号：姓名：成绩：2013年12月10日、任务与目的了解扩散硅压阻式压力传感器的工作原理和工作情况。二、实验仪器（条件）所需单元及部件：主、副电源、直流稳压电源、差动放大器、F/V显示表、压阻式传感器（差压）旋钮初始位置：直流稳压电源土 4V档，F/V表切换开关置于2V档，差放增益适中或最大, 主、副电源关闭。三、原理（条件）扩散硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的器件，也就是在单晶硅的基片 上用 扩散工艺（或离子注入及溅射工艺）制成一定形状的应变元件，当它受到压力作用时，应 变元 件的电阻发生

2、变化，从而使输出电压变化。四、内容与步骤（1） 了解所需单元、部件、传感器的符号及在仪器上的位置。（见附录三）（2）如图3 0 AA(3)如图3 0 B引压咀H三通曾皮管单向 调节阀觀压皮管(5) 将加压皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝拧松。(6) 开启主、副电源，调整差放零位旋钮，使电压表指示尽可能为零，记下此时电压表读数(7) 拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，电压表有压力指示时，记下此时的 读数，并将数据填入表格中记录。注：根据所得的结果计算系统灵敏度S= V/A P,并作出V-P关系曲线，找出线性区域。五、数据处理(现象分析)电压(Mv)(1)拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按

3、加压皮囊，电压表的读数随压力的变化如下表:压力(kpa)0481216202428323640电压(MV032570011051513190122302620300033803730(2)根据所得的结果计算系统灵敏度S= A V/A P,并作出V-P关系曲线，找出线性区域。ABcDEFGHIJKL1EE 力（kwo4812162024283236也2.电压（MvJQ32570011051513190122302620300033803730.3AV/AP8L 2593. 7510 L 251029782. 2597, 5959581 54灵虽度s93. 255Ff六、结论通过实验进一步了解了扩散硅压阻式压力传感器的工作原理，并且观察了

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 信息产业

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论