MEMS传感器项目可行性报告（可编辑模板）

1、泓域咨询/MEMS传感器项目可行性报告MEMS传感器项目可行性报告泓域咨询机构承诺书申请人郑重承诺如下：“MEMS传感器项目”已按国家法律和政策的要求办理相关手续，报告内容及附件资料准确、真实、有效，不存在虚假申请、分拆、重复申请获得其他财政资金支持的情况。如有弄虚作假、隐瞒真实情况的行为，将愿意承担相关法律法规的处罚以及由此导致的所有后果。公司法人代表签字：xxx投资公司（盖章）xxx年xx月xx日项目概要MEMS传感器即微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems）在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过40多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领

2、域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。在全球的MEMS传感器市场中，亚太地区受到智能手机、平板电脑、可穿戴产品等市场需求持续增长、且全球电子整机产业不断向中国转移等因素影响，2014年MEMS市场占比达到45.7%，远超美国、欧洲等区域。该MEMS传感器项目计划总投资4029.12万元，其中：固定资产投资2929.49万元，占项目总投资的72.71%；流动资金1099.63万元，占项目总投资的27.29%。达产年营业收入7608.00万元，总成本费用5878.56万元，税金及附加76.92万元，利润总额1729.44万元，利税总额204

3、4.90万元，税后净利润1297.08万元，达产年纳税总额747.82万元；达产年投资利润率42.92%，投资利税率50.75%，投资回报率32.19%，全部投资回收期4.61年，提供就业职位122个。坚持应用先进技术的原则。根据项目承办单位和项目建设地的实际情况，合理制定项目产品方案及工艺路线，在项目产品生产技术设计上充分体现设备的技术先进性、操作安全性。采用先进适用的项目产品生产工艺技术，努力提高项目产品生产装置自动化控制水平，以经济效益为中心，在采用先进工艺和高效设备的同时，做好项目投资费用的控制工作，以求实科学的态度进行细致的论证和比较，为投资决策提供可靠的依据。努力提高项目承办单位的

4、整体技术水平和装备水平，增强企业的整体经济实力，使企业完全进入可持续发展的境地。报告主要内容：项目承担单位基本情况、项目技术工艺特点及优势、项目建设主要内容和规模、项目建设地点、工程方案、产品工艺路线与技术特点、设备选型、总平面布置与运输、环境保护、职业安全卫生、消防与节能、项目实施进度、项目投资与资金来源、财务评价等。第一章 项目承办单位基本情况一、公司概况公司坚持“以人为本，无为而治”的企业管理理念，以“走正道，负责任，心中有别人”的企业文化核心思想为指针，实现新的跨越，创造新的辉煌。热忱欢迎社会各界人士咨询与合作。公司满怀信心，发扬“正直、诚信、务实、创新”的企业精神和“追求卓越，回报社

5、会” 的企业宗旨，以优良的产品、可靠的质量、一流的服务为客户提供更多更好的优质产品。公司通过了GB/ISO9001-2008质量体系、GB/24001-2004环境管理体系、GB/T28001-2011职业健康安全管理体系和信息安全管理体系认证，并获得CCIA信息系统业务安全服务资质证书以及计算机信息系统集成三级资质。 公司拥有优秀的管理团队和较高的员工素质，在职员工约600人，80%以上为技术及管理人员，85%以上人员有大专以上学历。公司始终秉承“集领先智造，创美好未来”的企业使命，发展先进制造，不断提升自主研发与生产工艺的核心技术能力，贴近客户需求，助力中国智造，持续为社会提供先进科技，覆

6、盖上下游业务领域的行业综合服务商。产品的研发效率和质量是产品创新的保障，公司将进一步加大研发基础建设。通过研发平台的建设，使产品研发管理更加规范化和信息化；通过产品监测中心的建设，不断完善产品标准，提高专业检测能力，提升产品可靠性。undefined二、所属行业基本情况MEMS传感器指可批量制作的，将微型传感器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一体的微型器件或系统，即利用传统的半导体等材料，用微纳加工技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应的ASIC芯片集成为一个整体。MEMS技术目前被称为最炙手可热的半导体技术之一。与传统的传感器相比，基于半导体技术和微纳加工技术的MEMS传

7、感器具有体积微小、低功耗、一致性高等特点，可大批量、低成本制造，大大拓宽了传感器的应用领域，为智能设备的发展奠定了重要的技术基础，已成为主流的传感器技术。近年来受益于消费电子、汽车电子、医疗电子、光通信、工业控制等多个市场的高速成长，MEMS行业发展势头迅猛，全球和中国市场呈现稳步增长。中国MEMS消费电子类产品，如智能手机、平板电脑等产量保持稳定增长，带动加速传感器、陀螺仪、硅麦克风等MEMS行业需求的增长，中国已经成为全球MEMS市场发展最快的地区。2018年中国MEMS整体规模达到504.3亿元，预计到2021年将达到851.1亿元。三、公司经济效益分析上一年度，xxx（集团）有限公司实

8、现营业收入4587.96万元，同比增长17.77%（692.42万元）。其中，主营业业务MEMS传感器生产及销售收入为4113.95万元，占营业总收入的89.67%。上年度主要经济指标序号项目第一季度第二季度第三季度第四季度合计1营业收入963.471284.631192.871146.994587.962主营业务收入863.931151.911069.631028.494113.952.1MEMS传感器(A)285.10380.13352.98339.401357.602.2MEMS传感器(B)198.70264.94246.01236.55946.212.3MEMS传感器(C)146.87

9、195.82181.84174.84699.372.4MEMS传感器(D)103.67138.23128.36123.42493.672.5MEMS传感器(E)69.1192.1585.5782.28329.122.6MEMS传感器(F)43.2057.6053.4851.42205.702.7MEMS传感器(.)17.2823.0421.3920.5782.283其他业务收入99.54132.72123.24118.50474.01根据初步统计测算，公司实现利润总额991.35万元，较去年同期相比增长201.75万元，增长率25.55%；实现净利润743.51万元，较去年同期相比增长103.

10、97万元，增长率16.26%。上年度主要经济指标项目单位指标完成营业收入万元4587.96完成主营业务收入万元4113.95主营业务收入占比89.67%营业收入增长率（同比）17.77%营业收入增长量（同比）万元692.42利润总额万元991.35利润总额增长率25.55%利润总额增长量万元201.75净利润万元743.51净利润增长率16.26%净利润增长量万元103.97投资利润率47.22%投资回报率35.41%财务内部收益率27.64%企业总资产万元9579.53流动资产总额占比万元29.48%流动资产总额万元2823.57资产负债率25.88%第二章 项目技术工艺特点及优势一、技术方

11、案（一）技术方案选用方向1、对于生产技术方案的选用，遵循“自动控制、安全可靠、运行稳定、节省投资、综合利用资源”的原则，选用当前较先进的集散型控制系统，由计算机统一控制整个生产线的各项工艺参数，使产品质量稳定在高水平上，同时可降低物料的消耗。严格按行业规范要求组织生产经营活动，有效控制产品质量，为广大顾客提供优质的产品和良好的服务。2、遵循“高起点、优质量、专业化、经济规模”的建设原则。积极采用新技术、新工艺和高效率专用设备，使用高质量的原辅材料，稳定和提高产品质量，制造高附加值的产品，不断提高企业的市场竞争能力。3、在工艺设备的配置上，依据节能的原则，选用新型节能型设备，根据有利于环境保护的

12、原则，优先选用环境保护型设备，满足项目所制订的产品方案要求，优选具有国际先进水平的生产、试验及配套等设备，充分显现龙头企业专业化水平，选择高效、合理的生产和物流方式。4、生产工艺设计要满足规模化生产要求，注重生产工艺的总体设计，工艺布局采用最佳物流模式，最有效的仓储模式，最短的物流过程，最便捷的物资流向。5、根据该项目的产品方案，所选用的工艺流程能够满足产品制造的要求，同时，加强员工技术培训，严格质量管理，按照工艺流程技术要求进行操作，提高产品合格率，努力追求产品的“零缺陷”，以关键生产工序为质量控制点，确保该项目产品质量。6、在项目建设和实施过程中，认真贯彻执行环境保护和安全生产的“三同时”

13、原则，注重环境保护、职业安全卫生、消防及节能等法律法规和各项措施的贯彻落实。（三）工艺技术方案选用原则1、在基础设施建设和工业生产过程中，应全面实施清洁生产，尽可能降低总的物耗、水耗和能源消费，通过物料替代、工艺革新、减少有毒有害物质的使用和排放，在建筑材料、能源使用、产品和服务过程中，鼓励利用可再生资源和可重复利用资源。2、遵循“高起点、优质量、专业化、经济规模”的建设原则，积极采用新技术、新工艺和高效率专用设备，使用高质量的原辅材料，稳定和提高产品质量，制造高附加值的产品，不断提高企业的市场竞争力。（四）工艺技术方案要求1、对于生产技术方案的选用，遵循“自动控制、安全可靠、运行稳定、节省投

14、资、综合利用资源”的原则，选用当前较先进的集散型控制系统，控制整个生产线的各项工艺参数，使产品质量稳定在高水平上，同时可降低物料的消耗；严格按照电气机械和器材制造行业规范要求组织生产经营活动，有效控制产品质量，为广大顾客提供优质的产品和良好的服务。2、建立完善柔性生产模式；本期工程项目产品具有客户需求多样化、产品个性差异化的特点，因此，产品规格品种多样，单批生产数量较小，多品种、小批量的制造特点直接影响生产效率、生产成本及交付周期；益而益（集团）有限公司将建设先进的柔性制造生产线，并将柔性制造技术广泛应用到产品制造各个环节，可以在照顾到客户个性化要求的同时不牺牲生产规模优势和质量控制水平，同时

15、，降低故障率、提高性价比，使产品性能和质量达到国内领先、国际先进水平。二、项目工艺技术设计方案（一）技术来源及先进性说明项目技术来源为公司的自有技术，该技术达到国内先进水平。（二）项目技术优势分析本期工程项目采用国内先进的技术，该技术具有资金占用少、生产效率高、资源消耗低、劳动强度小的特点，其技术特性属于技术密集型，该技术具备以下优势：1、技术含量和自动化水平较高，处于国内先进水平，在产品质量水平上相对其他生产技术性能费用比优越，结构合理、占地面积小、功能齐全、运行费用低、使用寿命长；在工艺水平上该技术能够保证产品质量高稳定性、提高资源利用率和节能降耗水平；根据初步测算，利用该技术生产产品，可

16、提高原料利用率和用电效率，在装备水平上，该技术使用的设备自动控制程度和性能可靠性相对较高。2、本期工程项目采用的技术与国内资源条件适应，具有良好的技术适应性；该技术工艺路线可以适应国内主要原材料特性，技术工艺路线简洁，有利于流程控制和设备操作，工艺技术已经被国内生产实践检验，证明技术成熟，技术支援条件良好，具有较强的可靠性。3、技术设备投资和产品生产成本低，具有较强的经济合理性；本期工程项目采用本技术方案建设其主要设备多数可按通用标准在国内采购。4、节能设施先进并可进行多规格产品转换，项目运行成本较低，应变市场能力很强。第三章 背景及必要性一、MEMS传感器项目背景分析MEMS传感器即微机电系

17、统（MicroelectroMechanicalSystems）在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过40多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。过去几年中，MEMS传感器的销售额一直保持着稳步的增长。2017年，全球MEMS传感器和执行器总体市场规模为115亿美元，其中MEMS传感器为61亿美元，增长17.3%，预计2018年，全球MEMS传感器销售额将增长10%以上，达到68亿美元。美国是MEMS产业、技术和产品的发源地，其发展水平世界领先。上世纪60年代，斯坦福等大学就从事M

18、EMS领域的研究开发，佐治亚理工学院和美国加利福尼亚大学洛杉矶分校等众多美国大学几乎都建立有自己的MEMS晶圆生产线。美国麻省理工学院、斯坦福大学、加利福尼亚大学伯克利分校、凯斯西储大学等还开发用于MEMS研究的设备、仪器等，支撑其技术研究。各学校一边研究探索，同时也相互不断进行技术与业务的交流，并与产业界组建成联盟，促进MEMS技术及时转化成MEMS产品。经过长期的发展，美国已发展为集官、产、学、研、金融等为一体的较为完整的MEMS产业体系。其用来进行MEMS产品生产的晶圆尺寸目前基本与IC同步，呈现大口径化、智能化，与人体神经元和大脑信息互通互联，与IC芯片、计算机软件、数据采集和处理技术

19、等多位一体化发展的趋势。同时，应用领域也不断向军事、医疗、生物、仿生学、航空航天等领域全方位快速渗透和发展。欧洲各国政府积极制定相关规定推动MEMS产业和技术的发展，欧洲国家政府要求2012年汽车必须采用电子稳定控制（ESC）和轮胎压力监测系统。欧洲新车评估体系（NCAP）等汽车安全性评估系统虽然是一种自愿评估机制，但目前得到了欧洲各国政府、汽车俱乐部和消费者组织的支持。在德国，汽车MEMS传感器行业一直发展很好，企业RobertBosch仍是目前汽车MEMS传感器的龙头业者。日本政府从2007年起相继推出了与MEMS相关的国家项目，推动MEMS相关开发。例如，日本文部科学省科学技术及学术政策

20、局推出“尖端融合领域革新创造基地的形成”计划课题“微系统融合研究开发”启动了产学合作项目。日本东北大学与理光、丰田汽车等11家公司共同启动了产学合作项目。目标是通过走在MEMS领域前沿的研究小组与拥有具体应用对象的企业合作，使各种MEMS技术尽快达到实用水平。日本MEMS传感器公司的最新技术发展动向主要有：智能视觉传感器、快速图像检索、人机接口MEMS器件、智能汽车感应系统等。如：日本东京早稻田大学研制出通过肺、舌头、声带和喉咙发出声音的机器人WT-4，使科学家们对大脑如何控制说话系统有了更深的了解。WT-4不仅使用机器肺脏与声带，还增加了机动灵活的舌头、柔软的上腭、嘴唇和牙齿，能够更加清晰地

21、读出日本字母发音等，能模仿人类的声音。目前，日本主要的MEMS公司有丰田电装DENSO、松下、欧姆龙（Omron）、Matsushita、冲电气（Oki）、村田制作所（Murata）、爱普生、三菱电机、夏普等。根据数据显示，2017年全球MEMS传感器销售规模为61亿美元，其中日本占比14.3%，即为8.7亿美元。二、鼓励中小企业发展在我国国民经济和社会发展中，制造业领域民营企业数量占比已达90%以上，民间投资的比重超过85%，成为推动制造业发展的重要力量。近年来，受多重因素影响，制造业民间投资增速明显放缓，2015年首次低于10%，2016年继续下滑至3.6%。党中央、国务院高度重视民间投资

22、工作，近年来部署出台了一系列有针对性的政策措施并开展了专项督查，民间投资增速企稳回升，今年1-10月，制造业民间投资增长4.1%，高于去年同期1.5个百分点。提振民营经济、激发民间投资已被列入重要清单。民营经济是经济和社会发展的重要组成部分，在壮大区域经济、安排劳动就业、增加城乡居民收入、维护社会和谐稳定以及全面建成小康社会进程中起着不可替代的作用，如何做大做强民营经济，已成为当前的一项重要课题。加强统筹规划，完善服务网络和服务设施，积极培育各级中小企业综合服务机构。通过资格认定、业务委托、奖励等方式，发挥工商联以及行业协会（商会）和综合服务机构的作用，引导和带动专业服务机构的发展。建立和完善

23、财政补助机制，支持服务机构开展信息、培训、技术、创业、质量检验、企业管理等服务。三、宏观经济形势分析全球经济放缓、中美经贸关系不确定性等将拖累我国出口，但进博会的成功举办有望改善我国贸易结构进而对出口形成支撑。整体看，我国工业企业出口增速可能会继续小幅放缓。稳中有进的宏观经济环境将为企业效益持续改善提供坚实支撑，工业品价格涨幅的趋缓将带动工业企业效益增速稳中趋缓。宏观经济保持稳中有进，将对工业企业生产形成带动作用，有助于提升市场活力、增强企业创新动力，为企业效益改善奠定坚实基础；规范降低涉企保证金和社保费率等一系列减费降税政策的落实，将提升企业盈利能力；去产能政策已取得阶段性成果，产品供需有望

24、实现新的均衡，工业生产者出厂价格将趋于平稳。四、MEMS传感器项目建设必要性分析近年来受益于消费电子、汽车电子、医疗电子、光通信、工业控制等多个市场的高速成长，MEMS行业发展势头迅猛，全球和中国市场呈现稳步增长。中国MEMS消费电子类产品，如智能手机、平板电脑等产量保持稳定增长，带动加速传感器、陀螺仪、硅麦克风等MEMS行业需求的增长，中国已经成为全球MEMS市场发展最快的地区。2018年中国MEMS整体规模达到504.3亿元，预计到2021年将达到851.1亿元。国内MEMS产业经过政府和企业的共同努力，已经形成从设计研发（中试）、生产制造、封装测试到系统集成的完整MEMS产业链条，包含如

25、苏州纳米科技发展有限公司、上海微技术工业研究院、中国科学院电子所等科研院所；歌尔股份、瑞声科技、敏芯微电子、格科微电子、硅睿科技、深迪半导体等设计企业；中芯国际、上海先进、华润上华、罕王微电子等专业MEMS代工企业；华天科技、长电科技、晶方科技等传统半导体封装测试企业；华为、中兴、联想、比亚迪、海康威视等系统集成应用商。从企业数量和分布来看，2018年我国MEMS传感器制造企业大约有200家，大多属于初创类中小型企业。企业主要集中在长三角地区，企业数量占比超过50%，其中江苏省占比接近30%。这主要得益于长三角具有良好的集成电路产业基础，硅基MEMS研发及代工生产线资源较多，产业链完整，涵盖设

26、计、代工和封测的重点企业。从产品使用领域结构来看，国内MEMS公司在营业规模、技术水平、产品结构、与国外有明显差距，60%至70%的设计产品集中在加速度计、压力传感器等传统领域。MEMS传感器作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场，已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生特医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。未来随着MEMS传感器在自动驾驶、无人机/机器人、AR/VR、工业4.0、可穿戴设备、人工智能、5G等领域的不断发展，针对这些应用场景，赛迪顾问从物联网的几大细分市场的规模、增长潜力等维度

27、，筛选出未来六大潜力市场，分别是智慧城市、工业互联网、智慧家庭、车联网、智慧农业、智慧医疗。结合未来六大物联网潜力市场，赛迪顾问针对不同传感器产品的市场规模和增长潜力等维度，筛选出未来六大潜力产品，分别是压力、惯性（组合）、射频、MEMS麦克风、非制冷红外成像和探测器、气体传感器。五、MEMS传感器行业分析MEMS传感器指可批量制作的，将微型传感器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一体的微型器件或系统，即利用传统的半导体等材料，用微纳加工技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应的ASIC芯片集成为一个整体。MEMS技术目前被称为最炙手可热的半导体技术之一。与传统的传感器相比，基

28、于半导体技术和微纳加工技术的MEMS传感器具有体积微小、低功耗、一致性高等特点，可大批量、低成本制造，大大拓宽了传感器的应用领域，为智能设备的发展奠定了重要的技术基础，已成为主流的传感器技术。MEMS传感器技术虽然在全球只有20余年的商业化历史，但作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，已广泛应用于航天航空、医疗电子、网络与通信、消费电子、汽车电子、工业自动化等领域。同时，MEMS传感器技术的发展在很大程度上促进了物联网的成长，实现智能硬件与现实世界更有意义的互连。工业互联网是全球工业系统与高级计算、分析、感应技术以及互联网连接融合的结果。它通过智能机器间的连接并最终

29、将人机连接，结合软件和大数据分析，重构全球工业、激发生产力，让世界更美好、更快速、更安全、更清洁且更经济。工业互联网必须以物联网和工业数据分析为基础，不同于传统互联网公司比如谷歌、亚马逊等可以通过PC、移动端后台收集数据，工业数据需要来自安装在机器上的传感器，传感器收集机器运行时的数据，实时传送到云端进行存储、分析和决策。工业级传感器相对于普通传感器来说，需要更强大的稳定性和更高的灵敏度，因为很多工业级传感器需要在更恶劣环境下运行，比如生产车间相比普通环境，工业噪声会大很多，比如电力、铁路沿线的监测，需要在恶劣的自然条件下进行监测。而工业互联网对于工业数据的要求是实时采集、存储和分析，因此ME

30、MS传感器体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量生产、易于集成和实现智能化的特点，正好契合了工业互联网对于传感器的要求。随着传感器技术的不断成熟、价格降低和新技术持续出现，传感器应用范围和出货数量将快速增长，市场容量亦会随之扩大。目前人们每天使用到100颗传感器，而未来随着智能设备和物联网的普及，至2024年人们每天接触到的传感器数量将激增至300颗。2014年至2022年，全球传感器市场总量将增长2.5倍，这其中硅基MEMS传感器将成为主流，至2020年全球MEMS产品市场规模将从2014年的约115亿美元增长至约220亿美元。在整个亚太地区中，来自中国的MEMS传感器需求尤为突

31、出，消费升级和产业升级均带动了MEMS传感器市场的迅速扩容。近年来，中国的MEMS传感器市场增长速度一直高于全球市场的平均增速，主要原因为中国MEMS传感器市场发展相对较晚，基数较小。迅速增长的市场需求，为中国境内的MEMS设计制造企业提供了良好的发展时机。汽车、智能手机、平板电脑和医疗保健是目前MEMS传感器应用最为集中的领域，而在上述领域中渗透率较高的压力传感器、麦克风、加速度计、陀螺仪、惯性组合传感器和射频MEMS器件也成为全球MEMS传感器市场的主要构成部分。中国MEMS传感器市场的起步和发展与中国3C产品(包括计算机、通信和消费类电子产品)及汽车电子产品保持快速增长、全球电子整机产业

32、向中国转移密切相关，而智能手机又是3C产品中MEMS传感器应用最为集中的领域，因此中国MEMS传感器的市场构成以汽车电子和智能手机相关传感器为主，在上述2大领域中运用较为广泛的压力传感器、加速度传感器、微机械陀螺和麦克风等产品成为中国MEMS传感器市场的重要组成部分。未来伴随着新产品和新应用在汽车电子、以智能手机和平板电脑为代表的3C产品和医疗电子中进一步渗透，在上述加速度传感器等4类重要传感器之外，主要应用于医疗电子的生物微流控系统和应用于智能手机的微镜阵列的市场份额也将进一步增加。六、MEMS传感器市场分析预测在全球的MEMS传感器市场中，亚太地区受到智能手机、平板电脑、可穿戴产品等市场需

33、求持续增长、且全球电子整机产业不断向中国转移等因素影响，2014年MEMS市场占比达到45.7%，远超美国、欧洲等区域。MEMS压力传感器已成为MEMS传感器市场规模最大的细分市场之一，在汽车、工业、消费电子、医疗和和航天航空领域均有广泛的应用，预计到2018年的市场规模将达30亿美元。压力传感器在具体的应用中主要用于控制和监测。其最大市场仍然是汽车，主要用于轮胎压力监测系统。但在以手机、可穿戴设备为主的消费电子领域，增长将最为猛烈。手机和可穿戴设备中应用的压力传感器主要为高度计，用于测量高度并配合导航定位系统。高度计作为运动导航中高度(气压)测量的感测单元，已受到消费电子系统商的青睐，未来将

34、成为非常重要的应用，产生爆发性的市场需求。压力传感器在消费电子市场应用的兴起只是其应用市场的一部分，未来压力传感器里的高度计另外一个主要应用市场将会是爆发的无人机市场。随着无人机制造市场的爆发，压力传感器中高度计的用量应将出现更大增长。中国的MEMS压力传感器研发和制造目前还处于起步阶段，尚未出现一定经营规模的企业，具备相应研发和制造能力的企业非常稀缺。敏芯微电子目前是国内少数同时掌握高度计(智能手机、无人机应用量增速较快的压力传感器)的MEMS芯片和ASIC芯片设计制造能力并批量出货的企业。在全球范围内，MEMS压力传感器的技术难度较高，市场相对较为集中，目前，博世(Bosch)、株式会社电

35、装(Denso)、森萨塔(Sensata)、通用传感器(GESensing)和飞思卡尔(Freescale)合计市场份额已近50%。中国已经成为全球最为主要的汽车和智能手机市场，除此之外，中国无人机的出货量也在爆发增长中，胎压计、燃油消耗相关传感器的存量市场巨大，而在消费电子产品上应用的压力传感器例如高度计的需求量则会出现高速增长，中国本土的MEMS企业只要能突破核心技术，实现产业链的本土化，中国本土多层次的需求市场会为其生存发展提供肥沃土壤。第四章 项目建设主要内容和规模（一）用地规模该项目总征地面积12072.70平方米（折合约18.10亩），其中：净用地面积12072.70平方米（红线范

36、围折合约18.10亩）。项目规划总建筑面积16056.69平方米，其中：规划建设主体工程12231.88平方米，计容建筑面积16056.69平方米；预计建筑工程投资1208.00万元。（二）设备购置项目计划购置设备共计100台（套），设备购置费1000.25万元。二、产值规模项目计划总投资4029.12万元；预计年实现营业收入7608.00万元。第五章 项目建设地点一、MEMS传感器项目建设选址原则为了更好地发挥其经济效益并综合考虑环境等多方面的因素，根据MEMS传感器项目选址的一般原则和MEMS传感器项目建设地的实际情况，“MEMS传感器项目”选址应遵循以下原则：1、布局相对独立，便于集中开

37、展科研、生产经营和管理活动。2、与MEMS传感器项目建设地的建成区有较方便的联系。3、地理条件较好，并有足够的发展潜力。4、城市基础设施等配套较为完善。5、以城市总体规划为依据，统筹考虑用地与城市发展的关系。6、兼顾环境因素影响，具有可持续发展的条件。二、MEMS传感器项目选址方案及土地权属（一）MEMS传感器项目选址方案1、MEMS传感器项目建设单位通过对MEMS传感器项目拟建场地缜密调研，充分考虑了MEMS传感器项目生产所需的内部和外部条件：距原料产地的远近、企业劳动力成本、生产成本以及拟建区域产业配套情况、基础设施条件及土地成本等。2、通过对可供选择的建设地区进行比选，综合考虑后选定的M

38、EMS传感器项目最佳建设地点MEMS传感器项目建设地，所选区域完善的基础设施和配套的生活设施为MEMS传感器项目建设提供了良好的投资环境。（二）工程地质条件1、根据建筑抗震设计规范（GB50011）标准要求，MEMS传感器项目建设地无活动断裂性通过，无液化土层及可能震陷的土层分布，地层均匀性密实较好，因此，本期工程MEMS传感器项目建设区处于地质构造运动相对良好的地带，地下水为上层滞水，对混凝土无腐蚀性，各土层分布稳定、均匀而适宜建筑。2、拟建场地目前尚未进行地质勘探，参考临近建筑物的地质资料，地基土层由第四系全新统（Q4）杂填土、粉质粘土、淤泥质粉土、圆砾卵石层组成，圆砾卵石作为建筑物的持力

39、层，Pk=300.00Kpa；建设区域地质抗风化能力较强，地层承载力高，工程地质条件较好，不会受到滑坡及泥石流等次生灾害的影响，无不良地质现象，地壳处于稳定状态，场地地貌简单适应本期工程MEMS传感器项目建设。三、MEMS传感器项目用地总体要求（一）MEMS传感器项目用地控制指标分析1、“MEMS传感器项目”均按照项目建设地建设用地规划许可证及建设用地规划设计要求进行设计，同时，严格按照建设规划部门与国土资源管理部门提供的界址点坐标及用地方案图布置场区总平面图。2、建设MEMS传感器项目平面布置符合轻工产品制造行业、重点产品的厂房建设和单位面积产能设计规定标准，达到工业MEMS传感器项目建设用

40、地控制指标（国土资发【2008】24号）文件规定的具体要求。（二）MEMS传感器项目建设条件比选方案1、MEMS传感器项目建设单位通过对可供选择的建设地区进行缜密比选后，充分考虑了MEMS传感器项目拟建区域的交通条件、土地取得成本及职工交通便利条件，MEMS传感器项目经营期所需的内外部条件：距原料产地的远近、企业劳动力成本、生产成本以及拟建区域产业配套情况、基础设施条件等，通过建设条件比选最终选定的MEMS传感器项目最佳建设地点MEMS传感器项目建设地，本期工程MEMS传感器项目建设区域供电、供水、道路、照明、供汽、供气、通讯网络、施工环境等条件均较好，可保证MEMS传感器项目的建设和正常经营

41、，所选区域完善的基础设施和配套的生活设施为MEMS传感器项目建设提供了良好的投资环境。2、由MEMS传感器项目建设单位承办的“MEMS传感器项目”，拟选址在MEMS传感器项目建设地，所选区域土地资源充裕，而且地理位置优越、地形平坦、土地平整、交通运输条件便利、配套设施齐全，符合MEMS传感器项目选址要求。（三）MEMS传感器项目用地总体规划方案本期工程项目建设规划建筑系数78.29%，建筑容积率1.33，建设区域绿化覆盖率7.49%，固定资产投资强度161.85万元/亩。（四）MEMS传感器项目节约用地措施1、土地既是人类赖以生存的物质基础，也是社会经济可持续发展必不可少的条件，因此，MEMS

42、传感器项目建设单位在利用土地资源时，严格执行国家有关行业规定的用地指标，根据建设内容、规模和建设方案，按照国家有关节约土地资源要求，合理利用土地。2、在MEMS传感器项目建设过程中，MEMS传感器项目建设单位根据总体规划以及项目建设地期对本期工程MEMS传感器项目地块的控制性指标，本着“经济适宜、综合利用”的原则进行科学规划、合理布局，最大限度地提高土地综合利用率。第六章 工程方案一、工程设计条件MEMS传感器项目建设地属于建设用地，其地形地貌类型简单，岩土工程地质条件优良，水文地质条件良好，适宜本期工程MEMS传感器项目建设。二、建筑设计规范和标准1、砌体结构设计规范（GB50003-200

43、1）。2、建筑地基基础设计规范（GB50007-2002）。3、建筑结构荷载规范（GB50009-2001）。三、主要材料选用标准要求（一）混凝土要求根据混凝土结构耐久性设计规范（GB/T50476）之规定，确定构筑物结构构件最低混凝土强度等级，基础混凝土结构的环境类别为一类，本工程上部主体结构采用C30混凝土，上部结构构造柱、圈梁、过梁、基础采用C25混凝土，设备基础混凝土强度等级采用C30级，基础混凝土垫层为C15级，基础垫层混凝土为C15级。（二）钢筋及建筑构件选用标准要求1、本工程建筑用钢筋采用国家标准热轧钢筋：基础受力主筋均采用HRB400，箍筋及其他次要构件为HPB300。2、HP

44、B300级钢筋选用E43系列焊条，HRB400级钢筋选用E50系列焊条。四、土建工程建设指标本期工程项目预计总建筑面积16056.69平方米，其中：计容建筑面积16056.69平方米，计划建筑工程投资1208.00万元，占项目总投资的29.98%。第七章 设备选型分析一、设备选型（一）设备选型的原则1、选用的设备必须有较高的生产效率，能降低劳动强度，满足生产规模的要求，2、为满足产品生产的质量要求，关键设备为知名厂家生产的品牌产品，3、按经济规律办事，讲求投资经济效益，在充分考虑设备的先进性和适用性的同时，综合考虑各设备的性价比和寿命年限。（二）设备选型方向1、以“比质、比价、比先进”为原则。

45、选择设备时，要着眼高起点、高水平、高质量，最大限度地保证产品质量的需要，不断提高产品生产过程中的自动化程度，降低劳动强度提高劳动生产率，节约能源降低生产成本和检测成本。2、主要设备的配置应与产品的生产技术工艺及生产规模相适应，同时应具备“先进、适用、经济、配套、平衡”的特性，能够达到节能和清洁生产的各项要求。该项目所选设备必须技术先进、性能可靠，达到目前国内外先进水平，经生产厂家使用证明运转稳定可靠，能够满足生产高质量产品的要求。3、设备性能价格比合理，使投资方能够以合理的投资获得生产高质量产品的生产设备。对生产设备进行合理配置，充分发挥各类设备的最佳技术水平。在满足生产工艺要求的前提下，力求

46、经济合理。充分考虑设备的正常运转费用，以保证在生产本行业相同产品时，能够保持最低的生产成本。4、以甄选优质供应商为原则。选择设备交货期应满足工程进度的需要，售后服务好、安装调试及时、可靠并能及时提供备品备件的设备生产厂家。根据生产经验和技术力量，该项目主要工艺设备及仪器基本上采用国产设备，选用生产设备厂家具有国内一流技术装备，企业管理科学达到国际认证标准要求。（三）设备配置方案该项目的生产及检测设备以工艺需要为依据，满足工艺要求为原则，并尽量体现其技术先进性、生产安全性和经济合理性，以及达到或超过国家相关的节能和环保要求。先进的生产技术和装备是保证产品质量的关键。因此，关键工艺设备必须选择国内

47、外著名生产厂商的产品，并且在保证产品质量的前提下，优先选用国产的名牌节能环保型产品。根据生产规模和生产工艺的要求，本着“先进、合理、科学、节能、高效”的原则，该项目对比考察了多个生产设备制造企业，优选了产品生产专用设备和检测仪器等国内先进的环保节能型设备，确保该项目生产及产品检验的需要。项目计划购置设备共计100台（套），设备购置费1000.25万元。第八章 节能分析一、节能概述不久前，国务院发布了“十三五”节能减排综合工作方案，方案最终要实现的目的，是要加快建设资源节约型、环境友好型社会，确保完成“十三五”节能减排约束性目标，节能降耗，保障人民群众健康和经济社会可持续发展，促进经济转型升级，

48、实现经济发展与环境改善双赢，节能环保，为建设生态文明提供有力支撑。二、节能法规及标准（一）节能法律及法规1、中华人民共和国节约能源法2、中华人民共和国可再生能源法3、中华人民共和国电力法4、中华人民共和国建筑法5、中华人民共和国清洁生产促进法6、中华人民共和国计量法（二）节能标准依据1、工业企业能源管理导则（GB/T15587-2008）2、综合能耗计算通则（GB/T2589-2008）3、评价企业合理用电技术导则（GB/T3485-1998）4、评价企业合理用热技术导则（GB/T3486-1993）5、用能单位能源计量器具配备和管理通则（GB17167-2006）6、企业能源审计技术通则（G

49、B/T17166-1997）7、企业节能量计算方法（GB/T13234-2009）三、项目所在地能源消费及能源供应条件1、供水条件：本期工程项目供水由某开发区自来水管网供应，能够保证项目用水需要。2、供电条件：本期工程项目电源由某开发区变配（供）电系统供应，可满足项目用电需要。四、能源消费种类和数量分析（一）项目用电量测算1、本期工程项目电力消耗主要包括生产用电及照明辅助用电，生产用电主要包括生产设备用电和公用辅助工程设备用电。590798.53千瓦时，折合72.61标准煤。2、本期工程项目用电量由生产设备电耗、公用辅助设备电耗、工业照明电耗以及变压器及线路损耗构成，根据项目生产工艺用电和办公

50、及生活用电情况测算该项目全年用电量590798.53千瓦时，折合72.61标准煤。（二）项目用水量测算1、项目建设规划区现有给、排水系统设施完备可以满足使用要求。2、项目实施后总用水量3550.59立方米/年，折合0.30吨标准煤。二、项目预期节能综合评价项目位于某开发区，项目建成后年消耗能源总量折合标煤72.91吨，节能量折合标煤24.30吨，节能率26.04%。第九章 总平面布置与运输一、总图布置方案（一）平面布置总体设计原则根据项目承办单位发展趋势，综合考虑工艺、土建、公用等各种技术因素，做到总图合理布置，达到“规划投资省、建设工期短、生产成本低、土地综合利用率高”的效果。同时考虑用地少

51、、施工费用节约等要求，沿围墙、路边和可利用场地种植花卉、树木、草坪及常绿植物，改善和美化生产环境。（二）主要工程布置设计要求应与场外道路衔接顺畅，便于企业运输车辆直接进入国道、高速公路等国家级道路网络，场区道路应与总平面布置、管线、绿化等协调一致。道路在项目建设场区内呈环状布置，拟采用城市型水泥混凝土路面结构形式，可以满足不同运输车辆行驶的功能要求。道路设计注重道路之间的贯通，同时，场区道路应尽可能与主要建筑物平行布置。（三）绿化设计投资项目绿化的重点是场区周边、办公区及主要道路两侧的空地，美化的重点是办公区，场区周边以高大乔木为主，办公区以绿色草坪、花坛为主，道路两侧以观赏树木、绿篱、草坪为

52、主，适当结合花坛和垂直绿化，起到环境保护与美观的作用，创造一个“环境优美、统一协调”的建筑空间。场区植物配置以本地区树种为主，绿化设计的树木花草配置应依据项目建设区域的总体布置、竖向、道路及管线综合布置等要求，并适合当地气象、土壤、生态习性与防护性能，疏密适当高低错落，形成一定的层次感。（四）辅助工程设计1、项目所在地供水水源来自项目建设地自来水厂，给水压力0.30Mpa，供水能力充足，水质符合国家现行的生活饮用水卫生标准。2、项目拟安装使用节水型设施或器具，定期对供水、用水设施、设备、器具进行维修、保养；对泵房、水池、水箱安装液位控制系统，以防溢水、跑水，从而造成水资源的浪费。生活粪便污水经

53、级化粪池处理后与一般生活废水一起排到项目建设地污水处理站集中处理达标后排放；雨水经收集口与地表水一起以暗管系统直接排到项目建设地市政雨水管网。3、项目承办单位内设配电室，电源进户采用电缆直接埋地敷设引入配电室；场内供电电压等级380V/220V、TN-C-S系统供电，选择节能型SF11型变压器；场内配电室操作环境，按国标爆炸及火灾危险环境电力装置设计规范（GB50058）的要求设计。4、话音通信部分：根据场区通信业务需求及场区周围情况，行政调度电话均为安装市话，其中综合值班室安装调度电话和行政电话。主体工程及原材料仓库等均采用自然通风为主、机械换气通风为辅；对生产系统中个别温度高、粉尘多的工位

54、采取机械强制通风方案，以保证良好的生产环境。二、运输组成（一）运输组成总体设计1、项目建设规划区内部和外部运输做到物料流向合理，场内部和外部运输、接卸、贮存形成完整的、连续的工作系统，尽量使场内、外的运输与车间内部运输密切结合统一考虑。2、外部运输和内部运输可采用送货制；采用合适的运输方式和运输路线，使企业的物流组成达到合理优化；把企业的组成内部从原材料输入、产品外运以及车间与车间、车间与仓库、车间内部各工序之间的物料流动都作为整体系统进行物流系统设计，使全场物料运输形成有机的整体。（二）场内运输1、场内运输系统的设计要注意物料支撑状态的选择，尽量做到物料不落地，使之有利于搬运；运输线路的布置

55、，应尽量减少货流与人流相交叉，以保证运输的安全。2、场内运输主要为原材料的卸车进库；生产过程中原材料、半成品和成品的转运，以及成品的装车外运；场内运输由装载机、叉车及胶轮车承担，其费用记入主车间设备配套费中，本期工程项目资源配置可满足场内运输的需求。（三）场外运输1、场外运输主要为原材料的供给以及产品的外运；产品的远距离运输由汽车或铁路运输解决，区域内社会运输力量充足，可满足本期工程项目场外远距离运输的需求。2、短距离的运输任务将利用社会运力解决，基本可以满足各类运输需求，因此，本期工程项目不考虑增加汽车运输设备。3、外部运输应尽量依托社会运输力量，从而减少固定资产投资；主要产成品、大宗原材料

56、的运输，应避免多次倒运，从而降低运输成本且提高运输效率。4、该项目所涉及的原辅材料的运入，成品的运出所需运输车辆，全部依托社会运输能力解决。（四）运输方式由于需要考虑MEMS传感器产品所涉及的原辅材料和成品的运输，运输需求量较大，初步考虑铁路运输与公路运输方式相结合的运输方式。第十章 环境保护、职业安全卫生先进适用清洁生产技术工艺及装备基本普及，钢铁、水泥、造纸等重点行业清洁生产水平显著提高，工业二氧化硫、氮氧化物、化学需氧量和氨氮排放量明显下降，高风险污染物排放大幅削减。一、建设区域环境质量现状项目建设区域CODcr、BOD5、氨氮值浓度均不超标，CODcr质量指数在0.43-0.50之间，

57、BOD5质量指数在0.29-0.32之间，氨氮质量指数在0.26-0.27之间，硫化物未检出，由此可见，项目建设区域地表水环境质量标准执行地表水环境质量标准（GB3838-2002）类标准。二、建设期环境保护（一）建设期大气环境影响防治对策在施工过程中用到的施工机械主要包括搅拌机、推土机、挖掘机等，它们都是以柴油为燃料，因此，施工过程中会产生一定量的废气，主要包括一氧化碳、一氧化氮、二氧化硫等，施工机械产生的燃油废气均为不定时无组织排放，排放量随设备性能而异；由于产生量不大，且施工场地空旷，废气易扩散，废气经自然扩散稀释后对周围空气质量影响较小。（二）建设期噪声环境影响防治对策在高噪声设备周围设置掩蔽物；通过场界设置临时隔声屏障和选用低噪音施工机械等有