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文档简介

10万级洁净区环境监测要求监测项目技术要求监测方法监测频次温度1828 OC（十万级、三十万级）JGJ71-901次/班湿度4565（十万级、三十万级）JGJ71-901次/班换气次数十万级15次/小时JGJ71-901次/月静压差5Pa（不同洁净级别洁净室（区）之间）JGJ71-901次/月10Pa（洁净室（区）与室外）5Pa（洁净室（区）之间与非洁净室（区）尘埃粒子0.5m5mGB/T16292-19961次/季十万级个/m320000个/m3浮游菌十万级500个/m3GB/T16293-19961次/季沉降菌十万级10个/皿GB/T16294-19961次/周100级和10000级洁净区环境监测要求监测项目监测仪器技术要求测 量 位 置监测频次100级10000级温度()温湿度计18-2818-28洁净区各室1次/班湿度( %)温湿度计45-6545-65洁净区各室1次/班风速(m/s)风速仪水平层流04送风口1次/月垂直层流0.3换气次数(次/h)20静压差(Pa)微压差计55不同洁净区之间1 1次/月1010洁净区与室外尘埃粒子数(个/M3 )尘埃粒子计数器0.5um3500 0.5um35000洁净区内关键操作点及100级超净工作台1次/季5um05um2000沉降菌落数(个/皿)培养皿13洁净区内关键操作点1次/周浮游菌落数（个/）浮游菌

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