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微波等离子体设备技术方案1设备简述： 微波等离子体设备由椭球谐振腔、真空室、沉积台、真空系统、气体流量控制系统、真空测量系统、水冷循环水压报警系统以及机架等组成。示意图2设备结构2.1椭球谐振腔2.1.1 材料：椭球谐振腔采用优质不锈钢1Cr18Ni9Ti；2.1.2 尺寸：径向450mm轴向600mm，壁厚5mm，椭球边界满足方程式：(X2 /4502)+ (Y2 /6002)=1；2.1.3 连接法兰：椭球谐振腔上下连接法兰可以独立拆卸，对微波密封；2.1.4 观察窗：在椭球谐振腔的适当位置设置多个观察孔，使视线能看到石英钟罩内的等离子体和衬底，衬底和等离子体的位置，观察孔的尺寸以不泄漏微波为准（直径为2 mm的孔）；2.2 真空室、沉积台2.2.1 真空室：真空室采用石英钟罩230mm；2.2.2 沉积台：真空室内沉积台采用优质不锈钢，能够下降开启，方便移出真空室内样品；对沉积台设置水冷，水冷的主要部位为中心位置为50mm的圆及胶圈的密封部位，冷却能力今后要达到5kW；沉积台中心设置光纤测温孔2.2.3 其它2.2.3.1 沉积台设有轴向位置标尺；2.2.3.2 6mm手动放气阀；2.2.3.3 进气口；2.3 真空系统2.3.1 真空机组: 机械泵,抽速2L/S；2.3.2 真空阀门：手动挡板阀、针阀各1只；2.3.3 真空测量：采用电阻真空计测量；2.4 进气系统 采用三路质量流量计控制，每路均设有手动截止阀l Ar: 200 ml /minl H2: 200 ml /minl CH4: 30 ml/min2.5 微波电源系统采用800W微波电源，矩形波导传输微波，同轴天线进行模式转换和将微波导入椭球谐振腔；2.6 电气控制系统2.6.1整套控制系统采用手动按钮控制，独立的电气控制柜；2.6.2控制内容：2.6.2.1机械泵的起、停；2.6.2.2在缺水情况下的报警系统； 2.6.2.3气体流量显示；2.6.2.4. 真空显示；3系统配置序号名称参数数量生产厂家备注1椭球谐振腔径向450mm轴向600mm，壁厚5mm，优质不锈钢1台泰科诺2天线部分见实物，紫铜1套泰科诺需方提供波导3连接法兰2套泰科诺4石英钟罩230mm1台定制需方提供5放气阀6mm1只北京6机械泵2L/S1台需方提供7主阀手动（挡板）阀1台泰科诺8真空测量电阻计及显示1套成都需方提供9质量流量计200sccm/50sccm3只七星华创需方提供10微波电源800W1台需方提供11电气控制系统
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