2014郑州轻工业学院薄膜试卷B.doc

线订装郑州轻工业学院 / 学年第 学期 薄膜材料与薄膜技术B 试卷专业年级及班级姓名学号薄膜技术与薄膜材料课程期末试卷（B）题号一二三四总分得分 选择题号12345678910得分评卷人答案一选择题（每题 2 分，共 20 分）（请把答案填在上方题卡中）1. 下面哪种真空泵不属于气体输运泵：（ ） (A) 旋片式机械泵 (B) 复合分子泵 (C) 罗茨泵 (D) 吸附泵2. 普通三极型电离真空计的工作范围是：( ) (A) 102 10-1Pa (B) 105 10-2Pa (C) 103 10-1Pa (D) 10-6 10-1Pa3、 下面关于电镀的描述哪一项不正确：（ ） (A) 只适用于在导电的基片上沉积金属和合金 (B) 被镀基体金属为阳极 (C) 薄膜材料在电解液中是以正离子的形式存在 (D) 沉积物的质量遵从法拉第定律4. 目前制备单分子膜沉积技术的是：（ ） (A) 电镀 (B) 阳极氧化 (C) 化学镀 (D) LB技术5. 完成化学镀的过程有三种方式，其中下面哪种不是：（ ） (A) 置换沉积 (B) 接触沉积 (C) 还原沉积 (D) 氧化沉积 6.下面哪种选项不属于电阻加热蒸发法的缺点:( ) (A) 支撑坩埚及材料与蒸发物反应 (B) 蒸发率高 (C) 加热时合金或化合物会分解 (D) 难以获得足够高的温度，可蒸发材料受到限制7. 外延沉积技术对衬底的要求不合理的是：（ ） (A) 在沉积温度下容易发生热分解 (B) 不受外延材料及蒸气的侵蚀 (C) 和外延材料有相近的热膨胀系数 (D) 晶格类型和晶格常数与外延材料匹配8. 直流辉光放电伏安特性曲线中，溅射所选择的工作区域是：（ ） (A) 汤森放电区 (B) 正常辉光放电区 (C) 异常辉光放电区 (D) 弧光放电区9. 各种溅射的基础条件是气氛和（ ） (A) 高压 (B) 真空度 (C) 低压 (D) 溅射率10. 微量天平法实际上测量的是：（ ） (A) 质量膜厚 (B) 形状膜厚 (C) 物性膜厚 (D) 表面膜厚得分评卷人二、填空题（每空1分，共20分）1. 典型的真空系统应包括：_ ， _和_及一些必要的管道阀门等。2. X射线衍射法中随分析样品的不同可分为适合单晶的_，适合粉末材料和薄膜的_及适合粉体材料的粉末法。3. 薄膜应力是薄膜重要的力学性质，它对薄膜的实际应用影响很大，它可以分为_和_。4. 电子衍射图案对于单晶衍射为_ ，精细多晶为_，大晶粒多晶且包含织构为 _。5. 岛状薄膜的形成过程可分为四个主要阶段，分别为_，_，_，_。6. 溶胶是具有液体特征的胶体体系，分散的粒子是固体或者大分子，分散的粒子大小在 之间。7. 在离子镀膜成膜过程中，同时存在_ 和 _，只有当前者超过后者时，才能发生薄膜的沉积。8. 纳米薄膜按结构可以分为：_ ， _和_。得分评卷人三、简答题（每小题5分，共40分）1. 什么是化学气相沉积？有哪些常见类型？ 2. 要得到质量较好的沉积膜，基体应满足什么条件？ 线订装3. 什么是离子镀？离子镀膜可以分为哪些类别？4. 简述扫描电镜的工作原理。5. 简述薄膜形成与生长的物理过程。线订装郑州轻工业学院 / 学年第 学期 薄膜材料与薄膜技术B 试卷专业年级及班级姓名学号6.简述等离子体化学气相沉积中等离子体的作用是什么？ 7. 何为有机金属化学气相沉积？对原料的要求是什么？8. 红外吸收和拉曼散射的原因是什么？为什么某些分子振动队红外吸收敏感，而另一些分子振动对拉曼散射敏感？得分评卷人四、综合题（每小题10分，共20分）1、试推导二次离子质谱仪的工作原理。线订装2.