（材料学专业论文）solgel法掺杂导电zno薄膜及其低温氮气热处理.pdf

摘要 z n o 薄膜是一种直接宽带隙半导体材料，具有多种用途，可广泛的应用于太 阳能电池、压电薄膜、光电器件、气敏器件和紫外探测器等方面。其特性可通过 适当的掺杂来调剂。通过适量掺杂的z n o 透明导电薄膜具有优异的光电性能，能 在太阳能电池、液晶显示器等多种电器设备中被用作透明导电电极。 本课题研究的主要目的是探索s o l - g e l 法制备掺a l 的z n o 透明导电薄膜在氮 气中的稳定性和s 0 1 g e l 法制备掺l i 的z n o 透明导电薄膜的掺杂比和涂膜层数对 薄膜导电率和透光率的影响。本文通过溶胶凝胶法在载玻片上成功地制备出 a r 、l i + 掺杂型z n o 薄膜。所用的溶胶以乙二醇甲醚为溶剂，醋酸锌为前驱体， 单乙醇胺为稳定剂经加热搅拌制得；薄膜经烘干、预处理、氮气热处理后形成均 匀透明的z n o 薄膜。 利用x r d 、s e m 、x p s 、u v v i s 和四探针测试仪对薄膜的结构和光电特性 进行了研究。结果表明，掺杂物、掺杂量、热处理温度、涂膜层数和热处理气氛 对z n 0 薄膜光电性能均有不同程度的影响。适当增加掺杂量能提高薄膜的电导 率，过多的掺杂反而会降低电导率：不同的掺杂物对氮气中处理后的薄膜稳定性 有较大影响，掺a l 的薄膜稳定性很好，而l i 的薄膜则较差；增加涂膜层数均能增 加薄膜的厚度，并导致薄膜电导率的提高，同时也降低了薄膜的透射率；掺杂量 和热处理气氛对薄膜在可见光范围内透射率影响不大；热处理气氛的不同直接影 响了薄膜的导电性，在氮气中3 0 0 可得到电导率高的薄膜。本实验制备的薄膜 表面致密结构，晶粒大小均匀，方阻最低为2 7 0 q 口，可见光透射率最大为8 3 。 溶胶凝胶方法制备a z o 薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓度o 6 m o l l 、掺杂 a l 量l 揣、镀膜层数1 5 层、预处理温度4 5 0 、空气气氛热处理温度为5 5 0 、氮 气热处理温度为3 0 0 ；溶胶凝胶方法制备l z o 薄膜的最佳工艺条件为：溶胶浓 度o 6 m o l l 、掺杂l i 量2 3 a t 、镀膜层数10 层、预处理温度4 5 0 、空气气氛热处 理温度为5 5 0 、氮气热处理温度为3 0 0 。 关键词：a z o 薄膜l z o 薄膜溶胶凝胶气氛处理温度稳定性 a b s t r a c t z n on l m ，as e m i c o n d u c t o rw i t hw i d ed i r e c tb a n dg 印，h a sb e e na c t i v e l ys t u d i e d b e c a u s eo fi t sp o t e n t i a la p p l i c a t i o n s 。i tc a nb eu s e di ns 0 1 a rc e l l ，p i e z o e l e c t r i cd e v i c e ， p h o t o e i e c t r i cd e v i c e ，g a ss e n s o ra n du vd e t e c t o ra n dt h e c h a r a c t e r i s t i c sc a nb e m o d u l a t e db ya p p r o p r i a t ed o p i n g t _ h et r a n s p a r e n tz n oc o n d u c t i v et h i n6 i m sd o p e d w i t hs u i t a b l ed o p a n t sh a v ee x c e l l e n to p t i c a la n de l e c t r i c a lp r o p e r t i e s ，a n da r ea p p l i e d w i d e i ya st r a n s p a r e n ta n dc o n d u c t i v eo x i d ee i e c t r o d e si nv a r i o u se i e c t r i c a la n do p t i c a l d e v i c e si n c l u d i n gl i q u i dc i y s t a ld i s p l a y ，s o l a rc e i la n ds oo n i nt h i sp a p e r ，t h ep r i m a r yo b j e c t i v ei sr e s e a r c h i n gt h es t a b i l i 妙i nn 2o fz n o f l i m s d o p e dw i t ha 1b ys 0 1 g e la n dt h ei n f l u e n c eo fd o p a n tc o n c e n t r a t i o na n dt h en u m b e ro f c o a t 主n go nt h ec o n d u c t i vi t ya n dt r a n s m i t t a n c eo fz n o f i l m sd o p e dw i t hl ib ys o l - g e l z n ot h i n6 l m sd o p e dw i t ha 1 3 + ，l i + w e r ep r e p a r e do nm i c r o s l i d e sb ys o l g e lm e t h o d s u c c e s s f u l l y t h es o lw a sp r e p a r e dw i t h2 一m e t h o x y e t h a n o la ss 0 1 v e n t ，z i n c a c e t a t ea s p r e c u r s o ra n dm e aa s 渤b i l i z e r t h em i x t u r ew a s h e a t e d ，s t i r r e dt 0o b t a i nt h es o l ， a n dt h e nh o m o g e n o u st m n s p a r e n tz n 0t h i n 丘l m sw e r ep r e p a r e d 疗o mt h es o lb y d i p p i n g ，d r l y i n g ，p r e h e a tt r e a t m e n ti na i ra n da n n e a l i n gi nn 2a t m o s p h e r e s x r d ，s e m ，x p sa n df o u 卜p o i n tp r o b em e t h o dw e r eu s e dt oc h a r a c t e r i z et h e s t r u c t u r ea n do p t i c a la n de i e c t r i c a lp r o p e r t i e so ft h ez n ot h i nn l m s t h cr e s u l t s s h o w e dt h a tt h ek i n do fd o p a n t ，d o p a n tc o n c e n t r a t i o n ，t e m p e r a t u r eo fp r e - h e a t t r e a t m e n t ，t h en u m b e ro fc o a t i n ga n da n n e a l i n ga t m o s p h e r eh a di n 订u e n c ei nv a r i o u s e x t e n t so nt h ep h o t o e l e c t r i cp e 哟咖a n c eo ft h ed o p e dz n ot h i n6 l m s i n c r e a s i n gt h e d o p a n tc o n c e n t r a t i o nc o u l dr e d u c er e s i s t i v i 谚o ft h i nf i l m s ，b u t o v e rh i g hd o p a n t c o n c e n t r a t i o nw o u l di n c r e a s et 1 1 er e s i s t i v i t y t h ed i f 俺r e n c eo fd o p a n t sh a sg r e a t i n f l u e n c eo nt h es t a b i l i 田o f 行l m sa n n e a l e di nn 2 ；t h es t a b i j i t yo fz n of l i m sd o p e d w i t ha li sg o o db u tt h a td o p e dw i t hl ii sb a d i n c r e a s i n gt h en u m b e ro fc o a t i n gc o u l d i n c r e a s et h et h i c l m e s so ft h i nn l m s ，w h i c hw o u l dr e d u c et h er e s i s t i v i t ya n dt h e t r a n s m i t t a n c ew i t h i nt h er a n g eo fv i s i b i el i g h t t h et r a n s m i t t a n c eo ft h i n 矗h n si nt h e r a n g eo fv i s i b l e1 g h tw a s n o ti m p a c t e dg r e a t l yb yd i f f e r e n td o p a n tc o n c e n t r a t i o n sa n d a n n e a n n ga t m o s p h e r e t h ed i f f - e r e n ta n n o s p h e r e sc a nd i r e c t l yi n n u e n c et h ee l e c t r i c c o n d u c t i v i 讨t h en l mw i t hl o wr e s i s t i v i 妙c a nb eo b t a i n e db yh e a tt r e a t m e n t nn 2a t 3 0 0 i nt h i se x p e r i m e n t ，t h es u r f a c ec o n 6 9 u r a t i o no ft h en l m si sc o m p a c t ，t h es i z e s o fc r y s t a lg r a i ni su n i f o r m ，t h e1 0 w e s ts h e e tr e s i s t a n c ei s2 7 0 9 口a n d t h em a x i m u m t r a n s m i t t a n c ew i t h i nt h er a n g eo fv i s b l ei i g h ti sa b o u t8 3 t h eo p t i m u mt e c h n 0 1 0 9 i c a lp a r a m e t e r sf o ra z oa n dl z ot h i nf i l mb ys o l g e l a r ea sf o l 】o w s ：t h es o lc o n c e n t r a t i o ni s0 6m o l l ；t h ed o p a n tc o n c e n t r a t i o n so f a la n d l ia r e1a t a n d2 3 a t ，r e s p e c t i v e l y ；t h en u m b e ro f c o a t i n gi sl5a n d1o ，r e s p e c t i v e l y ； t h ep r e - h e a tt r e a t m e n tt e m p e r a t u r ei s4 5 0 a n dt h ea n n e a l i n gt e m p e r a t u r ei s5 5 0 i n a i r ，3 0 0 i n n 2 1 8 0 ) ， 近中红外光范围内具有很高的反射率( r 6 0 ) 及优良的导电性( p n d8 伽e + 0 1 5 g o 专：，6 肿e + 0 1 5 n 一 三4 o o e + 0 1 5 - _ a 、2 0 0 e + 0 1 5 e 咖v 图3 12z n o 薄膜的( 砌训2 向，曲线 f i g 。3 1 2p l o to f ( 口研v e r s u s 加f o rz n of i l m s 3 4 薄膜的x p s 分析 x 娜，光电子能谱( x p s ) 现已成为电子能谱学乃至整个表面分析中最广为采用 的一种分析方法。一方面它可用于分析样品表面化学组分及化学态结构；另一方 面此分析对大多数样品无破坏性或破坏性很小，属于无损检测分析。 x p s 的工作原理是利用x 射线或紫外光源照射固体材料后，发射出光电子， 然后研究光电子的动能分布，从而知道原子中电子的结合能。入射光子的能量向， 被分成了三部分：( 1 ) 电子结合能e b ；( 2 ) 克服功函数所需能量，数值上等于逸出 功w 。；( 3 ) 自由光电子所具有的动能e k 。所以其经验公式为历= 枷一爵形，式中 e k 为电子动能；h v 为光子能量；w s 为能量分析器的功函数。从上式可以看出， e b 只与原子本身的能级有关。即x p s 能谱仅与两个能级有关，只有一次跃迁。 图3 1 3 为z n o 薄膜中z n 2 p 3 2 和0 1 s 的x p s 图谱。对于z n o 来说，z o 的低键合能( z n2 p 3 ，2 ) 和高键合能( z n2 p l ，2 ) 定位于1 0 2 2 7 士0 1 和1 0 4 4 8 士0 1 e v 。 如图3 1 3 ( a ) 所示，所有样品的z n 键合能极值对应于几乎相同的位置，虽然与 标准z n o 有点偏移，不过差距不大。n 2 中处理掺杂的z n o 薄膜的低键合能( z n 2 p 3 ，2 ) 和高键合能( z n2 p 1 ，2 ) 定位于1 0 2 1 3 和1 0 4 4 3 ；而未经过氮气处理掺 a 1 的z n o 薄膜的低键合能( z n2 p 3 ，2 ) 和高键合能( z n2 p l ，2 ) 定位于1 0 2 1 9 和 4 2 第三章结果与讨论 10 4 4 9 v 。这表明样品在氮气气氛下热处理时n 没有和z n o 键发生反应，因为 当形成z n n 时，z n 2 p 3 2 和z n 2 p l 2 所对应的峰就会向更高的键合能移动。 j 矗 蚤 晶 口 里 = 穹 巴 蚤 晶 皇 当 s 图3 - 1 3z n o 薄膜中z n 2 p 3 2 和o l s 的x p s 图谱 f i g 3 - 1 3x p ss p e c 咖o f ( a ) 0 1 sa n d ( b ) z i l 2 p 3 2f o rt l l eh y d r o g e n 一籼e a l e dz n of i l i l l 如图3 13 ( b ) 所示，0 l s 峰为不对称峰。0 1s 的图谱很明显分为三部份，分 别对应5 2 9 0 士o 1 、5 3 1 1 士0 1 和5 3 2 4 士o 1 e v 。对应于5 2 9 0 士o 1e v 低的键合能 归因于z n ( 或替代a 1 ) 包围的0 厶，表明了z n o 的存在，中间5 3 1 1 士o 1e v 的峰对应z n o 基体中0 2 _ 空位区的o 二，最高的对应5 3 2 4 0 士0 1e v 与膜表面弱 束缚氧有关，如一o h 或吸附0 2 。如图所示，低能侧5 2 9 e v 附近的峰来自晶格 z n o 中o ，其值随着掺铝浓度增加而增大。高能侧5 3 2 4 e v 附近存在较弱的能 谱峰，对于未掺杂的z n o 薄膜来说，此峰来源于薄膜吸附氧及氧缺陷。氮气气 氛下处理的a z 0 薄膜和z n o ：l i 薄膜在5 2 9 0 和5 31 1 e v 附近，结合能峰值变强， 5 3 2 4 附近峰值变弱，也就是说在这个峰值对应的吸附氧被限制。对于z n o ： a l 薄膜来说，还应包括a 1 2 0 3 或z n a l 2 0 4 中的o ，这是因为样品在高温退火制 备过程中有如下化学反应产生：z n o + a 1 2 0 3 一z n a l 2 0 4 ，该反应的吉布斯自由能 g m ( 1 0 1 ) ( 1 l o ) ，( 0 0 2 ) 衍射峰最强，表 明有择优于( 0 0 2 ) 取向的趋势。 对比掺杂a l 和l i 的z n o 薄膜x r d 图谱可知，掺杂a i 的z n o 薄膜( 0 0 2 ) 衍射峰强度明显小于掺杂l l 的z n 0 薄膜，但是掺杂a l 的z n 0 薄膜( 1 0 0 ) 和 ( 】0 1 ) 衍射峰强度却明显大于掺杂l i 的z n 0 薄膜。 3 6 薄膜的s e m 形貌 扫描电镜是在阴极射线管( c r q 荧光屏上扫描成像，由电子枪发出的电子束 在加速电压的作用下，经过三个磁透镜聚焦成直径为5 r 咖或更细的电子柬。在 扫描线圈的控制下，使电子柬在试样作用产生二次电子、背散射电子等各种信 息。观察试样形貌时，检测嚣主要是收集二次电子和部分背散射电子，信号随 着试样表面的形貌不同而发生变化，从而产生信号衬度，经放大器放大后，调 制显像管的亮度。由于显像管的偏转线圈和镜简中的扫描线圈的电流是同步的， 所以检测器运点检取的二次电子信号将一一对应地调制c r t 上相应各点的亮 度，从而获得试样的放大像。s e m 的放大倍率是电子柬在试样上扫描幅度与显 像管扫描幅度之比。 3 6 1 掺杂a 1 离子的z n o 薄膜 图3 1 9 为o6 m 锌溶胶掺杂a l 离子，4 5 0 预处理、拉膜1 5 次、5 5 0 空 气下热处理、3 0 0 n 2 下处理的薄膜s e m 形貌。由图可知，薄膜存在着一层均 匀致密的底层，晶粒细小，均匀相间分布，孔瞧较小。从对比可以看出，未掺 杂的 j 茎二二三_ 二j 立玉豆三至亘至亘叵 第e $ 结果与讨论 圈3 1 9 不同掺杂铱度z 1 1 0 ：a l 薄膜形貌 ( a ) o ：( b ) 05 d 阱，( c ) l g ：( d 拉n ；( e ) 5 m ：( n1 0 m h g3 - 1 9 s e m 虹a g bo f z n oa i6 i m sw i md i 疏崩td o p a 耵tc 衄嘣y 吲啪 ( a ) o ：( b ) o5 a 蹦，( c ) l a 舶：( d ) 2 n ；( e ) 5 m ：( f ) 】o m z n o 薄膜晶粒粒径较大；加入a l 后，晶粒粒径明显变小，可知，a 1 掺杂有利 于晶粒致密化，并抑制晶粒长大。结合x r d 分析还可以推断，粒状结构有沿 ( 0 0 2 ) 择优取向的趋势。由图中可知，掺杂1 种6 的a l 的薄膜表面最致密均匀， 可以看出由许多微晶组成，尺寸在3 0 n m 左右( 如图3 1 9 ( c ) ) 。无掺杂或掺杂 05 d 吼时，薄膜表面疏松( 如图3 一1 9 ( a ) 和3 一1 9 ( b ”；掺杂过多时，则会出现富a 1 2 0 3 的团聚区( 如图3 1 9 ( d ) 、3 1 9 ( e ) 及3 - 1 9 ( o ) ：如果掺杂适量，则有促进表面致密 化的作用。 3 6 2 掺杂l i 离子的z n o 薄膜 第= 章结果与讨论 圈3 - 2 0 不同掺杂量的矗o ：“薄膜的形貌 ( a ) 0 9 “；( b ) 23 m ； ( c ) 45 m i ( d 8 m ；( e ) 1 3 缸蹦 f j g3 2 0s e m l m a g o f z n 0l 1 日m s w i t h d l f k 埘d o p 蚰t 呲咖h m n ( a ) 0 蜘；( b ) 23 m ： ( c ) 45 m ：( d m8 m ；( e ) 1 3 缸 图3 2 0 为06 m 锌溶胶、掺杂l i 为o9 叶1 36 a t 、4 5 0 预处理、拉膜 l o 次、5 5 0 空气下热处理、3 0 0 n 2 下处理的薄膜s e m 形貌。由围中可知， 掺杂4 5 的掺“的薄膜表面最致密均匀，可以看出由许多微晶组成，尺寸在 第三章结果与讨论 3 0 n m 左右( 如图3 - 2 0 ( c ) ) 。当掺杂量o9 砒和23 m 时，薄膜表面晶粒与4 5 时相比较大一些，有较多的孔洞，如图3 - 2 0 ( a ) 和3 - 2 0 ( b ) 所示。掺杂过多时，薄 膜表面致密均匀，但晶粒也很小，同样出现了大量的团聚现象( 如图3 - 2 0 ( d ) 和 3 2 0 ( e ) ) 。只有掺杂适量，既有较大晶粒和孔洞，而且薄膜表面致密均匀，团聚 较小。 3 63 不同气氛下热处理薄膜 圈3 0 1 不同热处理气氛下制备的薄膜形貌 f 蟾3 2 1s e m 血a g 雌o f 岫6 l l l l s 蛳龃i e d md i 施删咖o s p h s 如图3 - 2 1 所示，a 为在空气中热处理的a i 掺杂薄膜形貌，b 为在氨气中热 处理的a l 掺杂薄膜处理。从两图的对比中可以看出，未经过氮气热处理的薄膜 与在氨气中热处理过的薄膜相比较，晶粒比较大，而且致密化不高，这就是其 电阻率过高的原因了。 3 6 4 不同拉膜次数的薄膜 第三章结果与讨论 图3 0 2 n 2 中不同拉膜次数的z n o ：“薄膜形貌 “) 1 0 次：( b ) l5 欢：( c ) 2 0 次 f j g3 - 2 2s e m i i n 8 8 o f 她z n 0 ：l in l l i l s w 曲d j 鼢吼t n 唧b 啦o f c o m i n g j n n 2 ( a ) 1 叽( b ) 1 5 ；f c l 2 0 ； 图3 2 2 为06 m 锌溶胶、掺杂“为45 a t 、4 5 0 预处理、分别拉膜1 0 次、1 5 次和2 0 次、5 5 0 空气下热处理、3 0 0 氮气中热处理的薄膜s e m 形虢。 由图3 - 2 2 可知，随着拉膜次数的增加，薄膜变厚，晶粒明显变大，而且团聚现 象明显严重。 第四章结论 第四章结论 根据文献查阅，在氮气气氛中低温处理a z o 薄膜并考察其电阻温度稳定性的 研究，以及溶胶一凝胶法制备l i 掺杂的z n o 薄膜的研究尚未见报道。本文主要对 上述两方面进行了制备与表征研究，得出主要结论如下： 1 采用溶胶一凝胶工艺在载玻片上成功地制备出可见光透射率高、低电阻率 的a 1 3 + 、l i + 掺杂型z n o 透明导电薄膜。薄膜最高透射率在8 3 左右，最低方阻约 为2 7 0 q 口。 2 研究了a 1 3 + 、l i + 掺杂量、热处理温度、涂膜层数和热处理气氛等工艺参数 对z n 0 薄膜光电性能及晶体特性、表面形貌等方面的影响。通过实验确定了溶胶 凝胶工艺制备掺杂的z n o 薄膜的较好工艺条件为：a z 0 薄膜是溶胶浓度 0 6 m o l l 、掺杂aj 量为l a t 、镀膜层数1 5 层、预处理温度4 5 0 、5 5 0 空气气氛 中处理1 个小时、3 0 0 氮气中处理2 个小时；l i 掺杂薄膜溶胶浓度0 6 m o l l 、掺杂 l i 量为2 3 a t 、镀膜层数1 0 层、预处理温度4 5 0 、5 5 0 空气气氛中处理1 个小时、 3 0 0 氮气中处理2 个小时。 3 对于a l 和l i 掺杂的z n o 透明导电薄膜的电学性能，均有一个合适的掺杂量， 超过一定量的掺杂反而会增加电阻率，掺a l 的z n o 薄膜的电导率要远大于掺l i 的 z n o 薄膜的电导率。在还原或惰性气氛中适当提高热处理温度能降低薄膜的电阻 率。增加薄膜厚度会导致薄膜电阻率的降低。 4 对于z n o 透明导电薄膜的光学性能，气氛热处理工艺对薄膜透光率的影响 不大。对于掺a l 的z n o 薄膜来说，透光率都在8 0 左右，吸收边略有“蓝移”。对 于掺l i 的z n o 薄膜来说，透光率为8 3 左右，薄膜的吸收边略有“红移”。 5 当掺a l 浓度在o 1 0 之间，掺l i 浓度在0 1 3 6 之间时， ( 0 0 2 ) 衍射峰变为最强峰，表明z n o ：a l 薄膜和z n o ：l i 薄膜有( 0 0 2 ) 择优取向的趋势。 且随着掺杂浓度增加，( 0 0 2 ) 峰轻微向低角度移动，表明c 轴晶格常数变小。 6 s e m 观察看出，两种掺杂都抑制晶粒长大，通过x r d 计算，晶粒粒径在 2 9 n m 左右。 7 氮气中低温热处理的掺杂z n 0 薄膜电阻温度稳定性的测试结果得出，掺a i 的z n o 薄膜稳定性很好，在2 5 0 前电阻率几乎不发生改变，而且空气中3 5 0 高 温处理后再经3 0 0 氮气热处理，仍能将电阻率还原为低阻值。掺l i 的z n o 薄膜 电阻率稳定性相对较差，而且经过高温后，再经3 0 0 氮气热处理，与原电阻率 相比较依然有增大。 参考文献 参考文献 1 席珍强，陈君，杨德仁，太阳能电池发展现状及展望，新能源，2 0 0 0 ，2 2 ( 1 2 ) ： 1 0 0 1 0 2 【2 】雷永泉，新能源材料，天津：天津大学出版社，2 0 0 0 8 8 9 l 3 v o s s e njl i n ：h a s sg ，f r a n c o m b emh ，h o f f i m a nrh ( e d s ) p h y s i c so f t h i n f i l m s e m 】n e wy o r k ：a c a d e m i cp r e s s 。1 9 7 7 4 】c h o p r ak l 以t r a n s p a r e n tc o n d u c t o r s as t a t u sr e v i e w j 】t h i ns o l i d 矗l m s ，1 9 8 3 ，1 0 2 ( 1 ) ：1 4 6 【5 】s u n d a r 锄kb ，k h a na e j 3 t h i ns o l i df i l m s ，1 9 9 7 ，2 9 5 ：8 7 6 m o h a m e dga ，m o m h a m e dea ，e l f a d laa ，o p t i c a lp r o p e n i e sa n ds u r f a c e m o r p h o l o g yo fl i - d o p e dz n ot h i n6 l m sd e p o s i t e do nd i 伺f e r e n ts u b s t r a t e sb y d cm a g n e t r o ns p u t t e r i n gm e t h o d p h y s i c a lb ，2 0 0 1 ，3 0 8 3l0 ：9 4 9 9 5 3 【7 陆峰，徐成海，透明导电z n o ：a 1 ( a z o ) 薄膜的性能分析，真空科学与技 术，2 0 0 3 ，2 3 ( 1 ) ：9 1 2 【8 】f a nxm ，l i a njs ，e ta 1 e j 3 a p p l i e ds u r f a c es c i e n c e ，2 0 0 5 2 3 9 1 1 7 6 9 】j a ehc ，h i t o s h i t ，t o m o j k i n i t i a lp r e f e n e dg r o wt h i nz i n co x i d et h i nn l m s o ns ia n da m o r p h o u ss u b s t r a t e sb yap u l s e dl a s e rd e p o s i t i o n jc i y s t 觚、v t h ， 2 0 0 1 2 2 6 ：4 9 3 5 0 0 10 】0 u m o u sh ，h a d i r ih j 】t h i ns o l i df i l m s 2 0 0 1 。3 8 6 ：8 7 【1 1 wt s e e b e r ，h h a f i 舭e d e m i a n 1 1 r a n s p a r e n ts e m i c o n d u c t i n gz n o ：a lt h i n f i l m sp r e p a r e d b ys p r a yp y r o l y s i s m a t e r i a l ss c i e n c ei ns e m i c o n d u c t o r p r o c e s s i n g ，19 9 9 ，2 ：4 5 5 5 1 2 】盂扬，沈杰，蒋益明等，透明导电氧化物薄膜的新进展 j 】光电子技术，2 0 0 2 ， 2 2 ( 3 ) ：1 2 5 1 3 0 【1 3 】k a s h i w a b a y ， k 她a h i r a f 明j o u m a lo f c 巧s t a l g r o 、v t h ，2 0 0 0 ，2 2 i ：4 3 i 【14 p o l l e yta ，c a r t e rwb ，p o k e rdb d e p o s i t e do f z i n co x i d et h i nf i l m sb y c o m b u s t i o nc v d t h i ns o l i df i l m s ，19 9 9 ，3 5 7 ：13 2 13 6 1 5 】j o h n s o nm al 。e ta 1 e j 3 j o u m a lo f e l e c t r o n i cm a t e r i - a l s ，1 9 9 6 ，2 5 ：8 5 5 1 6 】s h i n o b uf ，e ta 1 叨j o u m a lo f t h ee u r o p e a nc e r a m i cs oc i e t ) ，2 0 0 1 ，2 1 ： 2 】0 9 17 r o d r i g of ，m a r i ae d z a n i q u e l l i a l u m i n i u m - d o p e dz i n co x i d ef i l m sp r e p a r e db y a ni n o 唱a n i cs o l - g e lr o u t e n i ns o l i df i l m s ，2 0 0 4 ，4 4 9 ：8 6 9 3 5 6 参考文献 18 】j i n h o n gl e e ，b y u n g - o kp a r k i h n s p a r e n tc o n d u c t i n gz n o ：a l ，i na n ds nt h i n f i l m sd e p o s i t e db yt h es o l g e im e t h o d t h i ns o l i df i l m s ，2 0 0 3 ，4 2 6 ：9 4 9 9 19 】胡晨明，太阳电池，北京：北京大学出版社，19 9 0 ，5 5 5 8 2 0 】蒋荣华，削i 厦珍，硅基太阳能电池与材料，新材料产业，2 0 0 3 ，7 ：8 13 2 1 】赵玉文，李仲明，莫春东等，高效单晶硅太阳电池的研制，太阳能学 报，1 9 9 6 ，17 ( 2 ) 1 2 3 1 2 6 2 2 】n a k a j i m ak ，f u j i w a r ak p a nw ，e ta 1 g r o w c ha n dp r o p e r t i e so fs i g e m u l t i c 叫s t a l sw i t hm i c r o s c o p i cc o m p o s i t i o n a ld i s t r i b u t i o na n dt h e i ra p p l i c a t i o n s f o rh i 曲一e 塌c i e n c ys o l a rc e l l s ，j o u m a io fc 叫s t a l g r o w t h ，2 0 0 5 ，2 7 5 ( 1 2 ) ： e 4 55 e 4 6 0 【2 3 】d e n gx ，a m o r p h o u ss i l i c o na n ds i l i c o ng e r n l a n i u mm a t e r i a l sf o r h i g h e 侬c i e n c y t r i p i e - j u n c t i o ns o l a rc e l l s ，s 0 1 e n e r g ym a r a n ds 0 1 c e l l s ，2 0 0 0 ，6 2 ( 1 2 ) ：8 9 9 5 2 4 】张力，薛钰芝，非晶硅太阳电池的研发进展，太阳能，2 0 0 4 ，( 2 ) ：2 4 2 6 【2 5 】c u ih - n ，x is q ，t h ef l b r i c a t i o no fd i p p e dc d sa n ds p u t t e r e di t ot h i nf i l m s f o rp h o t o v 0 1 t a i cs o l a rc e i l s ，t h i ns o l i df i i m s ，l9 9 6 ，2 8 8 ( 1 2 ) ：3 2 5 3 2 9 【2 6 】c a r o l i e nl ，s c h o o n m a nj ，g o o s s e n sa ，t h ea p p l i c a t i o no fi n v e r s et i t a n i ao p a l s i nn a n o s t m c t u r e ds o l a rc e l l s ，s o l a re n e 唱ym a t e r i a l sa n ds o l a rc e l l s ，2 0 0 5 ， 8 5 ( 1 ) ：1 1 5 1 2 4 2 7 】b a l e n z a t e g u ij l ， m a r t a aa ，d e t a i l e dm o d e l l i n go fp h o t o n r e c y c l i n g ： a p p l i c a t i o nt og a a ss o l a rc e l l s ，s o l a re n e r g ym a t e r i a l sa n ds o l a rc e l l s ，2 0 0 6 ， 9 0 ( 7 - 8 ) ：l0 6 8 10 8 8 2 8 】张忠卫，陆剑峰，池卫英，砷化镓太阳电池技术的进展与前景，上海航天， 2 0 0 3 ，( 3 ) ：3 3 3 8 2 9 】庄大明，张弓，c i g s 薄膜太阳能电池研究现状及发展前景，a d v a n c e d m a t e r i a l si n d u s t 巧，2 0 0 5 ，( 4 ) ：4 3 4 8 【3 0 周学东，赵修建，夏冬林等，电沉积制备c u i n s e 2 薄膜及性能研究，武汉理 工大学学报，2 0 0 5 ，2 7 ( 7 ) ：4 “ 【3 1 】g e b e y e h ud ，m a e n n i gb ，d r e c h s e lj ，b u l k h e t e r o j u n c t i o np h o t o v o i t a i cd e v i c e s b a s e do nd o n o r a c c e p t o ro 唱a n i cs m a l lm o l e c u l eb l e n d s ，s o l a re n e r g ym a t e r i a l s a n ds o l a rc e l l s ，2 0 0 3 ，( 9 ) ：2 6 2 2 7 4 3 2 g e e n sw ，p o o r t m a n sj ，s u r e s h c ，a n a l ”i c a ls t u d yo fp p v - 0 1 g o m e r a n d c 6 0 - b a s e dd e v i c e sf o ro p t i m i z i n go 略a n i cs o i a rc e l l s ，s o l a re n e r g ym a t e r i a l sa n d s o i a rc e l l s ，2 0 0 0 ，6 1 ：4 3 5 l 【3 3 】p a c i o s b r a d l e yd dc ，c h a 唱es e p a r a t i o ni np l o y f l o u r e n ec o m p o s i t e sw i t h i n t e m a ld o n o r a c c e p t o r h e t e r o j u n c t i o n ，s y n t h e t i c m e t a l s ，2 0 0 2 ，12 7 ：2 6l 2 6 5 3 4 】d i t t m e rjj ，l a z z a r o n ir ，l e c l e r ep ，c r y s t a ln e t w o r kf o n n a t i o ni no r g a n i cs o l a r c e l l s ，s o l a re n e r g ym a t e r i a l sa n ds o l a rc e l l s ，2 0 0 0 ，6 1 ：5 3 6 1 5 7 参考文献 【3 5 】p e t r i t s c hk ，d i t t m e rjj ，m a r s e g l i aea ，d y e b a s e dd o n o r a c c e p t o rs o l a rc e l l s ， s o l a re n e r g ym a t e r i a l sa n ds o l a rc e l l s ，2 0 0 0 ，6l ：6 3 7 2 3 6 】a e m o u t st ，g e e n sw ，p o o r t m a n sj ，e x t r a c t i o no fb u l ka n dc o n t a c tc o m p o n e n t s o ft h es e r i e sr e s i s t a n c ei no r g a n i cb u l kd o n o r a c c e p t o r h e t e r i 口j u n c t i o n ，t h i ns o l i d f 订m s ，2 0 0 2 ，4 0 3 4 0 4 ：2 9 7 3 0l 【3 7 】j e a nm ，n u n z ic 凡o 唱a n i cp h o t o v o l t a i cm a t e r i a l sa n dd e v i c e s m ，p h y s i q u e ， 2 0 0 2 ，( 3 ) ：5 2 3 5 4 2 【3 8 k o h s h i nt ，n o r i k ok ，t h r e e i a y e ro 唱a n i cs o l a rc e l lw i t hh i g h p o w e rc o n v e r s i o n e m c i e n c yo f 3 5 ，s o l a re n e r g ym a t e r i a l sa n ds o l a rc e l l s ，2 0 0 0 ，6 1 ：4 0 3 4 1 6 【3 9 施永明，赵高凌，染料敏化纳米薄膜太阳能电池的研究进展，材料科学与 工程，2 0 0 2 ，2 0 ( 1 ) ：1 2 5 1 2 7 【4 0 】范乐庆，吴季怀，黄昀等，染料敏化