朱荻——微纳加工技术-3.ppt_第1页
朱荻——微纳加工技术-3.ppt_第2页
朱荻——微纳加工技术-3.ppt_第3页
朱荻——微纳加工技术-3.ppt_第4页
朱荻——微纳加工技术-3.ppt_第5页
已阅读5页，还剩8页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、1,AFM工作原理 通过隧道电流检测力敏元件的位移来实现力敏元件探针尖端与表面原子之间的排斥力（10-8-10-6牛顿）的监测，进而得到表面型貌像。,2,3,调节针尖位置和偏压，将氙原子吸附后移动，每个字母长5纳米。（超高真空，超低温）,4,5,在石墨表面通过搬迁碳原子绘制出的世界上最小的中国地图,6,STM deposit This lithographic capability was related to a phenomena that occurred when a gold tip had a short ( sec voltage pulse applied to it. Thi

2、s would deposit a small mound of gold atoms on the substrate. The mounds each contain 100-200 atoms and can be deposited in a pattern (a globe showing the western hemisphere),西半球：4V600纳秒脉冲，原子从金针尖发射，在金样品留下直径10纳米高1-2纳米小丘。地图直径1微米。,7,AFM lithography: grooves in Si with a width of about 30nm and a depth

3、of 45nm 掩膜、光栅,8,9,10,四 结论与展望,11,制造技术的精密化与微细化 微细放电 (Micro EDM) 微细电解 (Micro ECM) 精密电铸 (Micro Electroforming) LIGA和UV-LIKE ELID精密磨削 微细快速成型 (Micro Rapid Prototyping) 微细铣削 (Micro Milling) 挤压珩磨 (Extrude Hone) 基于SPM的纳米加工,12,罗雷尔，1993年，7th STM SYMP 许多人认为纳米科技仅仅是遥远的未来基础科学的事情，而没有什么实际意义。但我确信纳米科技现在已具有与150年前，微米科技所具有的希望和重要意义。150年前，微米作为新的精度标准、并成为工业革命的技术基础，最早和最好学会并使用微米技术的国家都在工业发展中占据了巨大的优势。同样，未来的技术将属于那些明智地接受纳米作为新标准、并首先学习和使用它的国家。不幸的是，目前对这一技术新领域保持和怀疑态度的还大有人在。我们应当记住，微米技术曾同样地被认为对使用牛

人人文库> 全部分类> 生活休闲 > 科普知识

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论