《半导体无尘车间装修工程技术规范》征求意见稿

1半导体无尘车间装修工程技术规范本文件规定了半导体无尘车间装修的基本规定、材料、施工本文件适用于半导体无尘车间（以下简称“无尘车间”）的装修工程的施工和验GB50058爆炸危险环境电力装置设计GB50303建筑电气工程施工质量验收4基本规定4.1无尘车间装修工程内各专业设计图纸应符合G4.2施工企业应具有合法有效的装修资质，施工人员应具有相应工种的职业技能。依法需第三方监理4.3施工企业应建立完善的质量保证体系，编制切实可行的施工组织设计和施工方案，确保工程质量4.4隐蔽工程的施工、安装及调试，宜在覆盖其外的装修面层进行施工前完成，必须同步进行的，不应影响隐蔽工程的施工、安装、调试及更换4.5施工应严格遵守国家现行安全、劳动保护、防火、防毒的有关规定。5.1地面材料2应采用耐磨、耐腐蚀、耐老化、不产尘、防火并具有稳定持久的防静电性能的材料。5.2墙面材料应采用不产尘、不积尘、重量轻、强度高、防火、防潮的5.4.2窗应采用双层中空玻璃，窗框应采5.5其他材料5.5.1净化空调系统的风管应采用不产尘、不积尘5.5.2各类管道、线缆等材料应具有良好的防火、防潮、耐腐蚀性能。6.1.2当旧地面为涂料、树脂和PVC（聚氯乙烯）板时，应将原地面材料铲除，清理、6.1.4地面面层应坚硬不起砂，水泥砂浆强度应不低于6.1.5铺设地面面积大于140m2时，在正式施工前6.1.7应按铜箔网布置的设计图铺设导电铜箔网，铜箔厚度应不小于0.05mm，宽度宜6.1.8待涂有导电胶的地面和铜箔晾干至不粘手时，应立即铺贴防静电PVC地板，板之间应留有1mm～2mm的间隙。铺贴到端子处时，应先将连接端子的铜箔条引出，和6.2.1墙面施工应在完成基底打磨与清理的粉尘作业、现场清洁、表面涂界面剂和涂刷涂料后进行。6.2.2旧墙面应在基底清理干净后再涂界面剂，然后用腻子刮6.2.3对于送风和回风静压箱空间，暴露表面的钢筋混凝土宜采用清水混凝6.2.4彩钢板厚度应不小于0.5mm6.2.5彩钢板施工安装时，应首先进行吊挂件、锚固件等与主体结构和楼面、地面的预设件固定。所36.2.6彩钢板安装前应严格画线、编号，墙角6.2.7支撑和加强龙骨架应位置正确，与墙面、地面、加强部位的连接应牢固。龙骨架及各种金属件6.2.8彩钢板与骨架的连接应留够面板间热胀冷缩的量。彩钢板背面应贴绝热层，与骨架之间应有导6.2.10每间无尘车间如需现场喷涂，每层喷涂应一次6.3.1吊顶施工应在完成基底打磨与清理的粉尘作业、现场清洁、表面涂界面剂和涂刷涂料后进行。6.3.3送风和回风静压箱空间，暴露表面的钢筋混凝土宜采用清水混6.3.4吊顶宜按房间宽度方向按设计要求起拱。吊顶周边应与墙体交接严紧并密6.3.6吊顶内各种金属件均应进行防腐、防锈处理，预埋件6.3.7吊顶的吊挂件不应作为管线或设备的吊架，管线和设备的吊架不应吊挂吊6.3.8轻质吊顶内部的检修马道应与主体结构连接，不应直接铺在吊顶龙骨上，不应在吊顶龙骨上行6.3.9吊顶饰面板板面缝隙允许偏差应不大于0.5mm，并应用密封6.3.10吊顶内悬挂的有振源的设备，其吊挂方式应满足建6.4.1门窗构造应平整简洁、不易积灰、容易清洁。门窗表面应无划痕、碰伤，型材应无开焊断裂。不大于600mm，框与墙体连接应牢固，缝隙内应用弹性材料嵌填饱满，表面应用密封6.4.3门框密封面上有密封条时，在门扇关闭后，密封条应处于压缩6.4.4悬吊推拉门上部机动件箱体和滑槽内应6.4.5安全疏散门如设有关闭件，应安在方便打开的明显位置。安全门如为需要临时破开的结构，破6.4.6门上的把手如突出门面，不应有锐边、尖角，应圆滑6.4.8窗玻璃应用密封胶固定、封严。如采用密封条密封，玻璃与密封条的接触应平整，密封条不应6.4.9固定双层玻璃窗的玻璃应平整、牢固、不应松动，缝隙应密封。安装玻璃前应彻底擦净内表面46.5.1净化空调系统风管的安装，应在其安装部位的地面已施工完成，且室内具有防尘措施的条件下6.5.2风管系统安装后，应进行系统的严密性试验，并应经验收合格后再进行风管保温等工序。6.5.3风管系统的支、吊架与建筑围护结构牢固连接，当采用膨胀螺栓固定时，应符合相应技术文件6.5.4净化空调系统风管及其附件的安装应符合下a)安装就位前应擦拭干净，并应做到无油污、无浮尘；b)在施工过程中发生停顿或施工完成时，应将风管端口封堵；d)法兰垫片不应采用直缝对接方式；不应在垫片上涂刷涂料，在接缝处可采用密封胶；e)风管穿过无尘车间吊顶、隔墙等围护结构时，应采取密封措施；6.5.5净化空调设备应有齐全的随机文件，应包括装箱清单、说明书、产品质量合格证书、性能检测报告和必要的图纸等，进口设备还应有商检文6.5.6净化空调设备安装前，应在建设单位和有关方的参加下进行开箱检查，并应做好开箱或验收记b)设备就位前，应对其安装场所和设备基础进行核对、验收；6.6.1排风系统风管干管、支干管的安装宜与净化空调系统同步进行；接至排风罩、排风点的支管安6.6.2排风系统的支（吊）架应进行6.6.3排风系统全部安装完成后，应分系统进行严密性试验，并应在验收合格后再进行管内清洁和外mm。防护套管应事先预埋并固定；风管与防护套管之间的间隙应采用不燃隔热材料封堵。b)排风风管穿越无尘车间的墙体、吊顶6.7.1无尘车间内照明光源宜采用高效荧光灯。若工艺有特殊要求或照度值达不到设计要求时，可采6.7.2无尘车间内灯具宜为吸顶安装。吸顶安装时，所有穿过吊顶的孔眼应用密封胶密封，孔眼结构56.7.4无尘车间内应设置供人员疏散用的应急照明，在安全出口疏散口和疏散通道转角处应按GB6.7.5有爆炸危险的无尘车间的照明灯6.8.1无尘车间配电系统施工应按GB50303的要求，对所需各种材料、管线盘柜、开关、灯具等检污染区线路与清洁区线路应分开敷设；不同工艺要求的线路应分6.8.3穿过围护结构的电线管应加设套管，并用不收缩、不燃烧材料将套管密封。进入无尘车间的穿6.8.4不应在建筑钢结构构件上焊接固定配电线路、设备的支架6.8.5施工配电线路的接地或接零支线应6.8.7无尘车间的配电盘（柜）、控制显示盘（柜）、开关盒宜采用嵌入式安装，与墙体之间的缝隙6.8.9盘（柜）内外表面应平滑，不积尘、易清洁，如有门，门的关闭应6.9.1工艺设备的安装不应影响无尘车间参数6.9.2工艺设备安装时，现场的净化空调系统应6.9.3任何用于大设备的提升、牵引或定位的专用设备在进入无尘车间安装现场前，应彻底清洁，并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入无尘车间的6.9.4设备安装时应妥善保护墙壁与地面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时，穿越处缝隙应用6.9.5设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙，设备周围应留出足够的安装空间。进入隔离区的人员6.9.6除设计有明确要求外，设备的安装宜不作永久性固定，不采用地脚螺栓方式，宜安装成可移动6.9.7设备离墙距离应能满足维修和清扫要求67.1.1无尘车间装修工程施工完成后应进行验收，验收宜7.1.3性能验收应在竣工验收完成后进行，并应7.1.4使用验收应在性能验收完成后进行，并应7.1.5无尘车间验收的检测状态应分为空态、静态和动态。竣工验收阶段的检测宜在空态下进行，性7.2.1无尘车间的验收中，在进行各项性能7.2.3无尘车间测试应按验收阶段分段进行。竣工验收阶段的检测应确认各项设施符合工程设计和合1234567897.3.1无尘车间的竣工验收，应在各分部单机试车，无生产负荷系统试车自检合格后进行。竣工验收77.3.2无尘车间竣工验收时，应检查竣工验收的下列文件a)图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图；b)各分部工程的主要设备、材料和仪器c)各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录；g)各分部工程的安全设施的检验和调试记录；7.3.3无尘车间竣工验收的主要测试内容应包h)温度、相对湿度；k)其他需要进行的检测项目。b)分项测试记录及分析意见；7.4.1无尘车间的性能验收应经过规定的检测和调试，确认无尘车间性能参数均应满足产品生产运行7.4.2无尘车间竣工验收合格，并经核实批准后，应按设计要求进行性能验收，性能验收的主要测试a)检测空气洁净度等级；b)无尘车间的温度、相对湿度的稳定性测试；8g)需要时，确认和记录气流形式和换气次数；a)无尘车间中各种