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白光干涉仪的光谱干涉模式原理白光干涉仪的光谱干涉模式原理主要基于光的干涉和光谱分析。以下是对该原理的详细解释：一、基本原理白光干涉仪利用干涉原理测量光程之差，从而测定有关物理量。在光谱干涉模式中，白光作为光源，其发出的光经过扩束准直后，通过分光棱镜等光学元件被分成两束相干光。一束光经被测表面反射回来，另一束光经参考镜反射。两束反射光最终汇聚并发生干涉，形成干涉条纹。二、光谱干涉的特点白光光源：白光属于多色光，具有连续的光谱。这使得白光干涉仪能够在宽光谱范围内进行干涉测量，从而获取更多的被测表面信息。干涉条纹的移动：两束相干光间光程差的任何变化都会灵敏地导致干涉条纹的移动。在光谱干涉模式中，干涉条纹的移动与光的波长有关，不同波长的光会形成不同的干涉条纹。光谱分析：通过光谱仪等光学元件，可以将干涉信号转化为不同波长光谱的测量。这些光谱信息包含了被测表面的高度、形貌等物理量信息。三、光谱干涉的测量过程光路设置：在白光干涉仪中，通过设置适当的光路，使得参考光和测量光能够发生干涉。这通常包括光源、分束器、参考光路和待测光路等部分。干涉信号获取：当两束相干光发生干涉时，会形成干涉条纹。通过干涉仪的接收屏或探测器，可以获取干涉信号的强度分布。光谱分析：将干涉信号输入到光谱仪中，进行光谱分析。光谱仪会将干涉信号转化为不同波长光谱的测量，从而获取被测表面的高度、形貌等物理量信息。数据处理：对光谱仪获取的数据进行处理和分析，得到被测表面的三维形貌图或其他相关物理量信息。四、应用与优势光谱干涉模式在白光干涉仪中具有广泛的应用。它可以用于测量各种材料的表面形貌、薄膜厚度、折射率等物理量。与其他测量方法相比，光谱干涉模式具有更高的测量精度和更广泛的测量范围。此外，它还具有非接触式测量、无损检测等优点，适用于各种复杂表面的测量。综上所述，白光干涉仪的光谱干涉模式原理是基于光的干涉和光谱分析原理，通过测量干涉条纹的移动和光谱信息来获取被测表面的物理量信息。该模式具有高精度、广测量范围和非接触式测量等优点，在材料科学、微机电系统（MEMS）、航空航天等领域具有广泛的应用前景。TopMapMicroView白光干涉3D轮廓仪一款可以“实时”动态/静态微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。实际案例1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7

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