RENA设备工艺介绍

RENA设备与工艺培训2011-1-9RENA清洗制绒原理方程：RENA刻蚀原理方程：3SI+4HNO3+18HF——3H2[SIF6]+4NO2+8H2O

SIO2+HF——H2[SIF6]+H2ORENA设备：内部和表面绒面3RENA运行时的内部状况图多晶硅片经过制绒后的绒面形貌注：需要指明的是RENA清洗制绒过程中片子是全部淹没在溶液内的。而在RENA刻蚀过程中片子是漂浮在溶液上的。RENA设备：外观4注：公司一般会根据需要在RENA前后加装上料台、下料台用来代替人工手工放片。在下料台也会安装吸片装置，用以挑出损坏，破碎的片子。一.RENA设备：各部分构件介绍5DryerAcidicbathRinse2AlkalinebathRinse3KeepprocesstemperaturestablechillierEtchbath

Rinse1清洗一槽碱洗槽冲洗二槽酸洗槽冲洗三槽干燥蚀刻槽（主槽）工作流程RENA操作界面介绍1：RENA主界面详细说明2：程序内的日期和时间模式、与PLC的连接情况及登陆的用户名灯塔状态机器名称厂家名称报警的详细信息登陆按扭RENA设备：外围药液桶8注：通过对外围药液桶液位的观察可以很好的了解到药液的用量情况RENA主界面详细说明3:一号传动的状态及设定速度二号传动的状态及设定速度传动速度补偿及刻蚀槽温度补偿三号传动的状态及设定速度机器的三种报警:严重的问题、机器本身的问题和一般的警报RENA主界面详细说明4:进口处统计归零准备上料（自动模式下才会出现）出口处统计归零进口处硅片统计出口处硅片统计刻蚀槽温度三个电机分别控制三段滚轴碱槽温度门状态(绿色为关闭灰色为开启)RENA主界面详细说明5:登陆筐,可输入登陆名密码后登陆(不同的登陆名有不同的权限)记事本锁定窗户正在使用的工艺文件机器自动运行时的开始和停止灯塔测试(点击后灯塔全部亮)RENA主界面详细说明6:关闭模式手动模式服务模式(权限最高)自动模式切换到初始界面按扭进入服务模式按扭进入手动模式按扭工艺文件进入手动添加界面曲线图进入报警信息界面取消蜂鸣取消报警RENA主界面详细说明7:各添加桶状态冷水机状态储液箱状态储液箱进口温度储液箱设定温度储液箱实际温度冷水机内自来水的电导率集中供液是否READY机器内化学品排放是否READYRENA手动模式状态详解：RENA刻蚀槽界面介绍：MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换PTFILLINGDI----储液槽加纯水PTFILLINGCHEMIE----储液槽加化学药品SYSTERMRINSING----整个系统(包括外槽内槽储液槽)用纯水清洗SYSTERMDRAINING----整个系统排液BATHCHANGE----刻蚀槽储液槽排空,再重新配液STARTMAINFUNCTION----在手动模式下单个槽运行工艺RINSEBATHSTART----开始用纯水不断清洗(只有在槽内加满纯水后次按键才有作用)RINSEBATHSTOP----纯水清洗结束FILLBATH----给刻蚀槽加化学药品(如果储液槽内是纯水则加的是纯水)DRAINBATH----刻蚀槽排液RENA刻蚀槽功能：第一次配槽的设定体积实际加入的体积未加入的体积(点击上图的RESTREMAINVOL.可以清零）流量RENISE1界面RENISE1功能MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换FILLINGDI----给槽内加纯水（RENISE１的水是RENISE２槽的水溢流过来的）DRAINING----整个槽排液STARTPROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺STOP----结束操作RENISE1槽的状态RENA碱槽界面碱槽功能MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换FILLINGDI----给槽内加纯水FILLINGCHEMIE----加化学药品（初始配槽）RINSING----用纯水清洗DRAINING----整个槽排液STARTCIRCULATION----开始循环（只有加满纯水或化学药品后此功能才起作用，此步骤程序内有时间计算，会自动停止，是整个槽达到READY的基本条件之一）STARTETCHING----在手动模式下单个槽运行工艺STOP----结束操作初始配槽时KOH和水的体积RENISE2界面介绍RENISE2主功能MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换FILLINGDI----给槽内加纯水（RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流过来的）DRAINING----整个槽排液STARTPROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺STOP----结束操作RENISE2槽的状态HF槽界面介绍HF槽主功能MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换FILLINGDI----给槽内加纯水FILLINGCHEMIE----加化学药品（初始配槽）RINSING----用纯水清洗DRAINING----整个槽排液STARTCIRCULATION----开始循环（只有加满纯水或化学药品后此功能才起作用，此步骤程序内有时间计算，会自动停止，是整个槽达到READY的基本条件之一）STARTETCHING----在手动模式下单个槽运行工艺STOP----结束操作初始配槽时HF和水的体积RENISE3界面介绍RENISE3功能MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换FILLINGDI----给槽内加纯水（RENISE2的水是RENISE3槽的水溢流过来的）DRAINING----整个槽排液STARTPROCESS----在手动模式下单个槽运行工艺STOP----结束操作RENISE３槽的状态DRYER2功能DRYER2功能MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换AIRKNIFEON----手动模式开启风刀AIRKNIFERESET----风刀复位风刀状态COOLINGUNIT功能COOLINGUNIT功能MODEMAN&MODEAUTO----自动运行时单个槽的自动手动切换FILLING----给冷水机加自来水（冷水机上有液位显示）DRAINING----冷水机排水（自来水）‘冷水机状态RENA传动功能RENA传动功能传动状态(3个)同时控制3个传动RENA添加桶描述三个液位传感器,低于低液位传感器或高于高液位传感器机器都会报警,低于中液位传感器并且高于低液位传感器系统开始加液,加液时添加桶上方的气动阀打开(颜色变为绿色)。下图为刻蚀槽添加桶画面RENA添加桶描述碱槽添加桶HF槽添加桶RENA添加桶描述HON3的添加桶下方与其他三个添加桶不同,只有一个RV880/45,这个限流阀是生产过程中微量补液用的,而在第一次配槽时HNO3是不经过添加桶,由流量计控制直接进储液箱的,KOH,HF都是从添加桶往槽内添加.所以配槽时由于HNO3的管路不同,添加桶也和其他三个添加桶不同.

RENA设备：常见问题及解决方案序号所遇问题检查项目解释说明解决方案1设备运行过程中发现液位下降风刀是否工作正常wafer表面无水滴用水枪冲洗风刀槽确保没有杂质与碎片堵塞设备是否有外漏机器的脱裂安全干燥保护配合设备人员检查设备是否有内漏（气动阀不能关严）静止状态液面不会降低2碎片率居高不下风刀的试量是否太大保证片子吹干的情况下即可调整手动阀功率一般控制在65%~75%风刀的角度是否正常Wafer与风向的夹角在30°调整角度水刀的试量是否太大保证能冲洗到整片即可调整手动阀RENA设备：常见问题及解决方案序号所遇问题检查项目解释说明解决方案2碎片率居高不下水刀的角度是否合适可以冲洗到整片wafer上下水刀试冲到wafer的同一点。角度尽量小调整水刀角度风刀是否有接触到滚轮保证滚轮始终接触不到风刀配合设备人员检查调整风刀角度水刀是否有接触到滚轮保证滚轮始终接触不到水刀配合设备人员检查调整水刀角度滚轮型号安装位置是否正常确保滚轮安装正确查看安装图纸滚轮是否发生弯曲确保所有滚轮很平整的在一条线上面配合设备人员解决片子减薄量是否太大片子减薄量控制在规定范围之内提高带速，或减小蚀刻量RENA设备：常见问题及解决方案序号所遇问题检查项目解释说明解决方案3设备工作过程中碱洗槽高温报警查看冷却系统是否正常碱洗槽在超过设定温度的情况下会停止运行将温度参数的设置值提高消除报警待温度降下来再行运行4设备运行过程中碱洗槽的干燥运行保护碱液罐碱液是否不够在碱液罐液位低于最低水平的情况下设备会自动报警停止运行手动补充碱液，查看外围是否有碱液。5设备工作过程中酸洗槽高温报警查看冷却系统是否正常酸洗槽在超过设定温度的情况下会停止运行将温度参数的设置值提高消除报警待温度降下来再行运行6第一道滚轮不转其他滚轮运行正常查看滚轮感应器是否正常感应器出错将设备打到手动，关闭风刀，关闭其他滚轮，再将设备打到自动，运行RENA开机工艺准备工作：开机前工艺人员必须确保所有的化学用液在规定范围之内，各槽参数正常，即RENA机主界面全部是绿色的情况下方能正常运行。RENA工艺运行参数文件正常配液自动补液减薄量温度HNO3HF总量HNO3HF385g/L125g/L480L1Kg0.9L/0.05kg0.35g~0.5g8℃±5℃清洗制绒槽:RENA工艺运行参数文件清洗碱洗槽:正常配液自动补液温度换液周期KOH浓度总量KOHDI20℃±10℃24H5%75L2.5L/H6L/HRENA工艺运行参数文件清洗酸洗槽:正常配液自动补液换液周期HF浓度HCL浓度总量HFHCLDI5~7天15%10%350L0.85L/H2.2L/H6L/H控制要求：配液按工艺文件来配，自动补液根据实际情况使用微调RENA工艺运行参数文件刻蚀制绒槽:正常配液自动补液减薄量温度换液周期HNO3HF总量H2SO4HNO3HF0.05g~0.1g6℃15天365g/L35g/L350L70L0.22L/0.02Kg0.14L/0.02KgRENA工艺运行参数文件刻蚀碱洗槽:正常配液自动补液温度换液周期KOH浓度总量KOHDI22℃±5℃24小时5%93L2L/H6L/HRENA工艺运行参数文件刻蚀酸洗槽:正常配液自动补液换液周期HF浓度总量HFDI5~7天5%435L1L/H10L/H刻蚀的腐蚀量控制在0.05g~0.1g,边缘腐蚀线小于1.5mm，表面无色斑，背面无明显黄褐色斑工艺技术人员对RENA机的工作内容及要求对于RENA机，工艺技术人员最主要的工作就是要保证片子出来后符合工艺参数要求在这边主要的一个工作内容包括以下几点：1：保证RENA机各槽溶液的一个及时准确的更换，每个班必须记录下当天所换药品，以确保下个班工艺能及时准确的了解。（一般换碱液工艺人员控制在40分钟之内，更换蚀刻槽液体控制在3~4小时，更换HF酸控制在2~3小时）2：对片子减薄量的一个准确的控制。配合生产一线员工根据产量的具体情况每400~800片做一次减薄量的测试。控制减薄量一般有以下几种方法1:改变带速（正常情况下可以直接在界面上微调，如需彻底改变需要在参数里面改写。2改变蚀刻量（在改变带速没有明显效果下改变蚀刻量）。3：改变溶液浓度（通过按照参数配比直接添加，或改变自动补液的次数）。3：配合设备人员及时对RENA机警报的一个解除工作。4：帮助一线员工解决片子的异常，做好片子的一个返工处理以及保持片子的报废率保持在最低水平。RENA设备对于工艺的要求：1：片子表面5S控制：片子表面要保持清洁，不容许手摸片子，要勤换手套。2：减薄量数据要真实可靠，一般控制在0.36g~0.45g不允许弄虚作假。3：测减薄量每次至少要测试4片片子,可以每次放在不同排的滚轮上测试。4：停机在半小时以上要求将时刻槽的液回罐，保持溶液的新鲜。5：从下料台出来的片子要及时拉到下个工序，最长不能超过四小时，以免片子被污染和氧化，影响后面的效率6：RENA机出现报警，及片子出现异常要及时处理，不允许出现一线员工找不到工艺的情况。7：RENA机带速最快不能超过1.5m/min,最慢不能低于0.4m/min。RENA设备对于工艺的要求：8：在每天的生产结束时当班工艺要及时的排液并RENA机的碱洗槽和冲洗槽进行纯水的冲洗，在确保冲洗干净的情况下方能加