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文档简介
1YS/T840—XXXX再生硅原料本文件规定了再生硅原料(以下简称再生硅料)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。本文件适用于光伏或半导体行业在生产、加工、使用过程中产生的硅料,包括:碳极硅多晶(碳头料)、头尾料、边皮料、原生型回收硅片、墩埚料、末子料、回用料、埚底料、检测回收硅料、多晶粉料、提纯硅料等,用于光伏行业硅单晶产品的生产。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1551硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流两探针法GB/T1558硅中代位碳含量的红外吸收测试方法GB/T14264半导体材料术语GB/T31854光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法3术语和定义GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1碳极硅多晶(碳头料)carbonendpolysilicon在硅多晶生产过程中,包围在U型硅多晶棒的碳极周围,经清洗等方法分离粘连石墨后的硅料。3.2头尾料monocrystallinetopandtail在拉制硅单晶棒过程中形成的头尾圆锥体、拉制单晶失败(断棱,即失去单晶特性)产生的硅多晶棒和位错单晶经清洗破碎后产生的硅料。3.3边皮料monocrystallinesidecuts拉制硅单晶无位错圆棒切方过程中产生的边缘部分经清洗破碎后产生的硅料。3.4原生型回收硅片slicingscrap在硅锭切割、研磨或抛光过程中产生的碎片或不合格硅片经清洗后产生的片状硅料。3.5墩埚料abnormalpotpoly长晶过程中出现异常导致墩埚的剩料,将与剩料粘连的石英去除后清洗破碎产生的硅料。3.6末子料crushingscrap硅料破碎过程中产生线性尺寸不大于3mm的硅料。3.7回用料recycledsilicon长晶过程中尺寸、电性能等指标不合格的硅锭经清洗破碎后产生的硅料。3.82YS/T840—XXXX埚底料potscrap拉制硅单晶完结后石英坩埚中的剩余硅料,经去除粘连石英后产生的硅料。3.9检测回收硅料recycledtestingsilicon在硅单晶或硅多晶生产环节的质量评价过程中产生的硅料。3.10多晶粉料powderysilicon硅多晶棒/颗粒沉积过程中形成的粉状硅料。3.11提纯硅料purifiedsilicon通过定向凝固生产的硅单晶或多晶锭经破碎后产生的硅料。4技术要求4.1分类及要求4.1.1再生硅料应经过清洗、破碎、干燥等方式去除非硅异物及水分。4.1.2再生硅料可根据导电类型、电阻率、碳含量、基体金属杂质含量、线性尺寸的不同进行分级。每一级的产品应同时满足本级的要求。各级再生硅料的导电类型、电阻率、碳含量、基体金属杂质含量、线性尺寸应符合表1的规定。表1分类及要求>0.1>0.01>8>3>3:硅多晶粉料和末子料无线性尺寸要求。4.2外观质量再生硅料应无色斑,变色及可见的污染物等。5试验方法5.1导电类型的测试按GB/T1550的规定进行。5.2电阻率的测试按GB/T1551的规定进行。5.3碳含量的测试按照GB/T1558的规定进行。5.4基体金属杂质含量的测试按GB/T31854的规定进行。5.5现行尺寸用筛网检验,或按供需双方商定的方法检验,如需仲裁需由供需双方协商确定。5.6对于无法直接测试导电类型、电阻率、碳含量、基体金属杂质含量的再生硅料,应采用直拉法制备成单晶,且单晶的质量应大于500g,再测试单晶中部的导电类型、电阻率、碳含量及基体金属杂质含量。5.7外观质量用目视检查。6检验规则3YS/T840—XXXX6.1检查和验收6.1.1产品应由供方或第三方质检部门进行检验,保证产品质量符合本文件或订货单的规定。6.1.2需方可对收到的产品进行检验。若检验结果与本文件或订货单的规定不符时,应在收到产品之日起3个月内以书面形式向供方提出,由供需双方协商解决。6.2组批产品应成批提交验收,每批应由同一原料、同一等级的产品组成。6.3检验项目每批产品应对导电类型、电阻率、碳含量、基体金属杂质含量、线性尺寸、外观质量进行检验。6.4取样与制样6.4.1导电类型、外观质量、线性尺寸检验时,随机抽取重量不少于批重0.1%的产品,于洁净区内分装成两份,一份制样,一份留存,具体也可由供需双方协商确定。6.4.2电阻率、碳含量、基体金属杂质含量的检验时,由供需双方协商确定。6.5检验结果的判定6.5.1导电类型、电阻率、碳含量、基体金属杂质含量的检验结果中有任意一项不合格时,则重新双倍取样,对不合格的项目进行重复检验,重复检验结果中有任意一项不合格,判该批产品不合格。6.5.2外观质量、线性尺寸检验结果不合格时,由供需双方协商解决。7标志、包装、运输、贮存及随行文件7.1标志包装箱外应标有“小心轻放”及“防潮”字样或标志、并注明:a)产品名称及分级;b)产品发货件数、净重;c)供方名称。7.2包装用洁净的聚乙烯桶(盒)包装或用洁净的聚乙烯包装袋封装,并用纸箱或木箱进行外包装,或由供需双方协商确定。包装时应防止容器破损,以避免产品引入污染。7.3运输产品在运输过程中应轻装轻卸,勿压勿挤,并采取防震防潮措施。7.4贮存产品应贮存在清洁、干燥环境中。7.5随行文件每批产品应附有随行文件,其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期外,还宜包括:a)产品质量证明书,内容如下:•供需双方协商确定的内容;•产品获得的质量认证或带供方技术监督部门检印的各项分析检验结果。b)产品质量控制过程中的检验报告及
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