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文档简介

GB****――2008制订说明制订本规范遵循的主要原则是:立足国情,接轨国际;软硬兼备,重物重人;技术先进,论理合理;过程控制,切实可行。从而实现科学性、先进性、协调性和可操作性。针对重点或难点开展了9项专题实验和研究,完成了9篇报告或论文:①关于最小采样量问题的探讨;②关于洁净室的占用状态定义的探讨;③漆膜和密封胶耐霉菌的实验研究;④洁净室地面施工含水率对铺设聚合地板的影响;⑤关于高效过滤器大气尘检漏浓度的研究;⑥风管系统漏风率检测实验方法研究;⑦洁净室高效空气过滤器现场检漏方法的实验研究;⑧洁净室气密性检测方法研究⑨高效过滤器现场大气尘检漏方法的理论探讨。编制组进行了广泛的收集、查阅资料工作,若干参编单位提供了本单位的标准、操作规程或具体技术资料。编制组对ISO系列标准、欧盟与WHO的GMP、美国FDA手册、美国微电子污染控制手册、美国制药工程指南、瑞士加拿大等国家的兽药生物安全设施手册以及国内关于微振、噪声、防静电、施工安装等文献、手册和国内29项标准规范,进行了认真的研究,获得了丰富的信息,提取了对规范有用的材料。行了为期10天的台湾地区的考察,举办了座谈会、报告会,参观了净化工厂,同时进行了海峡两岸关于洁净室施工安装的技术交流。在各参编单位积极按分工计划完成了有关章或节的草稿基础上,于今年3月底完成规范的第一轮草稿。经过4次讨论会和草稿定稿会,于今年7月底草稿定稿,又经过主编单位多次组织技术人员讨论,于今年奥运会期间完成征求意见稿。按照程序,征求意见稿已上网或者进行了面对面交流。征求意见稿已回收了20份意见表,征集了166条修改意见,采纳为了合理地和国际标准接轨,注意到国际上对洁净室的质量保证不仅注重硬件也注重软件即管理,要有关于人员、文件、施工组织的内容。本规范也相应增加了“施工组织与管为了强调过程控制,不仅有总的检验和验收,还在各技术章中加“中间验收”一节。还有一些问题未能得到明确结论,如金属壁板施工中如何避免今后的裂缝、管材管道的清洗如何彻底避免白粉现象、如何从施工角度保证负压洁净室的气密性等等,都需要进一步去实验、研究、总结,也希望国内企业和同行能提供宝贵意见。制订说明 3.建筑结构 4.建筑装饰 6气体系统 8化学物料供应系统 9配电系统 15施工组织与管理 1.0.1施工质量固然是本规范要达到的目的,而且节能、环保和安全也是不可忽略的目的。洁净室及相关受控环境是指以洁净室为主体,包括其附属的、辅助的周边用房或局部环境,这些用房或环境将对洁净室性能产生影响,因而也必须受控。1.0.2关于洁净室施工及验收规范的名称说明如下:1.关于本规范的名称问题,因为它是行标《洁净室施工及验收规范》的提升,所以仍用原2.最近权威的ISO的洁净室及相关受控环境技术委员会的一系列标准冠名为《洁净室及相关受控环境》,为了简化,本规范没有用此名称,而在条文中说明适用于洁净室及相关受控环境,并在术语中对“洁净室及相关受控环境”作了说明。3.以控制无生命微粒为主的是工业洁净室,以控制生命微粒为主的是生物洁净室。生物洁净室用于制药厂时工艺上有无菌药品和非无菌药品之分,而不叫无菌药品和有菌药品。所谓非无菌药品是指法定药品标准中未列有菌检查项目,列出要无菌检查的则为无菌药品。无菌药品和非无菌药品分为“非最终灭菌”和“最终灭菌”两类。这两类都要实行微生物控制,都不允许有菌沾染,所以从洁净室施工及验收上来说都是一样的。1.0.3建设主管部门是指中央或地方一级主管建设的部门,专业资质是指施工专业或其所在2.0.19静态at-rest洁净室占用状态在洁净室技术中是一个十分重要的概念,设计、施工及验收均会涉及到,对于检测、验收和评价尤其重要,不可回避。但是美国联邦系列标准、欧盟GMP以及占用状态有不同理解,尤其在实际执行过程中出现了许多问题。209E对静态的定义是:指已建成、所有施工正在运行,设备安装好并按照用户或承包商的要求处于可运行或正在运行状态,没有操作人员的洁净室(设施)。ISO14644-1-1999和ISO14698-1-2003对静态的定义是:在全部建成、设施齐备的洁净室中,已安装好的生产设备正在按照用户或供应商定好的方式运行,但现场没有人员。欧盟GMP的定义又是:设施已安装完成并运行,工艺设备已安装完成,但现场没有操作人员的状态。当工作结束后,保持无运行状态自净15~20min(推荐值)所达到的状现从以下几方面作一分析:“静”态显然不应再“动”,“atrest”就含有“休息”、“静止”等意思,如果无人而机器在生产“停工”、“运行”三种状态则是贴切的。2从三种占用状态定义的衔接上空调系统正常运行,工艺生产设备已安装但不运行的状态,在实际的洁净室工程检测中,是一种相当普遍的测试状态。但这种状态在ISO定义中没有得到体现,既不属于定义的静态,也不属于定义的动态,存在空白,而在209E在静态的定义中将这种占用状态涵盖3从实际可能上除209E和欧盟GMP外,其他基于静态的定义,只能在机械化、自动化、密闭生产的洁净室内找到相应状态:只有机械化、无自动化,则不能无人;有机械化、自动化而非密闭生产则生产的工艺尘怎样算?这种状态(机械化、自动化、密闭生产)在半导体车间是随处可见的,但在别的洁净室就很难碰到,GMP洁净车间就是一例。既然ISO是关于洁净室及相关受控环境的标准,则显然不能仅适用于半导体行业,对其他工业洁净室和生物洁净室也应适用。但就拿一般制药车间来说,很多不是密闭生产的或不是全自动化的,若无人,则很难保证设备运行。如果有这样的车间,怎样保证静态?这种状态又怎能叫“静态”?再如洁净手术室,只是在做手术时,一切机器才可运转,此时又再者,对于高度机械化、自动化、密闭生产的洁净室,按ISO定义,其静态和动态就很难区分了,因为就算进去了一两个人,也就检查一下就出来,所以实际只有两种状态了,即空态和静态,或者空态和动态。4综合考虑空态是明确的,可以不谈。先谈动态,动态是正常生产、操作状态,按工艺要求有人随机检测也可以,这样一来,ISO的静态实际上是动态,是开工运行状态。也无人;2)工艺生产设备运行又停止了,人走了,但不能马上就算静态,应该自净一段时标准有关起草人进行沟通,取得了具体情况具体解决的共识。3.建筑结构3.1一般规定3.1.1结构形式是指现浇混凝土结构、装配式混凝土结构、砖体结构、钢结构、既有建筑3.2结构施工要求3.2.1预埋件应浇注在混凝土中,不应后开洞。3.2.4洁净室中有一类如三、四级生物安全实验室,建成后要求打500Pa负压,满足一定渗漏或降压要求,所以对混凝土的严实有很高要求。有的国家甚至将盖好的洁净室搁置较长时间再开始装饰安装,目的是充分暴露缺陷加以弥补。混凝土墙的严密主要靠对配制混凝土时严格掌握各组份的配比,精心养护,保证足够的湿度和时间。同时为了确认其严密性,应做成试块进行抗裂试验。3.2.6华夫板模板式是钢筋混凝土现浇井字梁楼板的一种用环氧材料制作的工具式模板,永久嵌入混凝土结构中(不可脱式),兼做下层吊顶,对标高和平整度要求很高,所有阴阳角均为圆弧。它具有强度高、刚度大、光洁度好、自重轻等优点。华夫楼板是适用于大面积建筑(如电子厂洁净车间)的一种结构形式。3.2.9如生物安全实验室这样的洁净室其受控环境-吊顶上空间,也可能受到污染,特别当排风过滤器放在吊顶上面时。为了防止一处吊顶受污染影响其它房间,国外文献就指出填充墙不应到吊顶下为止,而是一直延伸到屋顶,并密封所有接缝。3.2.13在既有建筑改造时,往往需要将空调等设备置于顶层,而顶层往往不是承重的,所4.建筑装饰4.1一般规定4.1.1本条指出洁净室建筑装饰施工所含内容及特殊的缝隙密封要求。4.1.2按程序施工是洁净室施工的一大特点,从JGJ71-90开始提出这一问题后,已得到实践证明其重要性和必要性,现在已是洁净室施工的基本常识。一般的施工程序的编写可参照清清过清作构EQ\*jc3\*hps26\o\al(\s\up6(装),安)具装灯安层平辅净4.1.3本条指明洁净室建筑装饰的质量在于气密性和不产尘、不积尘、容易清洁。4.1.4有关现行国家标准为《建筑工程施工质量验收统一标准》GB50300、《建筑装饰装修室内环境污染控制规范》GB50325等。4.1.5强调在洁净室建筑装饰施工中禁用的材料。4.1.6指明洁净室建筑装饰施工的管理办法。4.1.7指明洁净室建筑装饰施工的环境条件,这一点往往被忽视,所以施工单位必须有升温4.2地面4.2.1一般要求:提出各类地面应满足的共同要求,其重点是耐腐、耐磨。洁净室地面对磨耗量要求较严格,例如一般自流平地面为0.04g/cm2,相当于500g轮子磨转1000转的损耗量,0.004g/cm2相当于弹性塑料卷材的损耗量。卵石和碎砖,夯实后即可直接铺设,之后在上面浇注混凝土。原行标规定用0.6mm厚的膜,后实践证明,容易破,故现改为1mm厚。控环境》第4部分“设计与施工”中所列举的洁净室地面材料及特性,也给出水磨石特性,性能相当优越,几乎优于所有材料。但是如用材不当,施工不到位,会出现裂、碎、掉等现象,这在具体工程中时有发生,而且在许多级别不高的场合还在采用,所以本条具体强调洁净室水磨石施工应注意要点。4.2.3粘贴地面:施工要点主要是基层含水率应在24%之间,超过70%是不允许的,这是根据编制组进行的实验得出的,也符合一般要求,否则地面要起鼓、粘不牢。其次是铺时一定要赶平,不要残存空气。4.2.4涂布地面:本条指明涂布地面施工要点,特别是基层含水率和施工环境温度,比水磨石的高。环境温度宜不低于200C。4.2.5架空地板:架空地板要保证通风要求,其支架部分应牢固。4.3墙面4.3.1一般要求:指明地面一般要求,但其重点是表面质量。因为这种“砖”是很薄的,是板。由于瓷板墙面均有缝,而缝中打胶有长菌的可能,所以考虑加抑菌剂,规范组的实验已证明这是可行的。4.3.3涂料墙面:有耐酸碱要求的,应经96h浸泡不起泡脱落,耐洗刷达到300次以上无明显变化。防霉涂料的要求属于0级―施菌培养7天不长菌。4.3.4金属夹心板墙面施工应符合下列要求:1.金属夹心板墙面:由于这些年生产厂不断降低钢板面层厚度,甚至只有0.3mm,因此强调必须不小于(考虑到板的正负误差,实际厚度可能在0.47μm左右)为0.5mm。2.如果夹心板内充填的是可燃材料,并且是有机材料,非常容易引发火灾,国内外均有火灾实例,同时火灾发生后往往由于有机材料产生的毒烟置人于死地。在相关规范(如《洁净厂房设计规范》GB50073)中也有同样规定。4.壁板安装前,应严格在地面弹线并标准尺寸,安装时如误差粒大应对配件单体进行调整或更换,防止累积误差出现壁板不能闭合甚至倾斜扭曲的现象。6.为了确保密封,正压室应在正压面封胶,负压室在室外负压不好封,强调负压缝内嵌封,然后再在室内负压面封。4.3.5整体金属壁板:主要应防止焊接连接后的伸缩套管,骨架在墙后应防腐防锈,同时为了表面观感,喷涂应一次完成。4.3.6非金属面板:为防止非金属面板在墙上粘贴不如在地面粘贴容易避免粘不满、涂不光等问题,以及避免热胀冷缩问题,根据非金属面板施工的一般特点,提出不宜粘贴,可采用挂贴。其中有机饰面板有伸缩问题,应留足够的伸缩缝。4.4.2起拱是为了在负载长期作用下,仍能保持吊顶的平整,无塌陷,同时如果为大面积,不起拱反而看上去有下陷的感觉。原行标《洁净室施工及验收规范》JGJ71-90和现行国家标准《建筑装饰装修工程质量验收规范》GB50210都规4.4.3如果吊顶内隐蔽工程未验收交接就施工吊顶,容易发生隐患,也容易踩坏吊顶,故强调吊顶工程必须在此后进行。4.4.4吊顶内无通风,易潮湿生锈,故作应对其内金属进行防腐防锈处理的规定。4.4.5吊顶内吊挂件只为吊挂吊顶的,未考虑其他承重,故不应作为设备吊架,否则易发生4.4.6事先不铺好可满足使用的马道,将来维修会有很大困难和危险。4.5踢脚板与墙角4.5.1踢脚板缩进墙面是为了防止其上积灰。根据正在制定的《实验室-生物安全通用要求》,三级生物安全室的地面应伸缩至前面让15mm,考虑到其他需要经常冲刷的地面,也应这样做,故定出本条文。4.5.2小园角是为了防止积灰而不好清洁,原行标规定R不小于50mm,实践中成型的园角多为30mm,而对清洁并无不便,故本规范改为30mm。4.5.3洁净室的内墙面阳角可受撞受磨掉尘,宜做成园角起码是大的钝角。4.6.5安全门就是为了有事时能快速开门疏散,所以门上的关闭侧必须在明显位置且方便打4.6.6实践中由于铝合金把手带有尖角,常挂破衣服甚至带倒人,因此要求把手各角为圆弧4.6.8现在洁净室都不习惯有窗台面了,这样可减少积尘的地方,如实在不能做成平面,也应和墙面圆弧过渡。4.6.9实践中许多洁净室双层窗之间积了不少灰,还有死蚊蝇,因此安前玻璃必须擦干净。4.6.11膜面的规定是为了正确起到节能作用4.6.12这一条的强制规定除了为保护人员安全外,更在于这些场所应是防泄漏的察窗破裂,将发生大量泄漏,其后果是不堪设想的,因此必须采用不易破碎炸裂的材料制做4.7缝隙密封4.7.1据规范编制组实验。4.7.2在构造上保证有一定的槽口或缝宽,是为了利于密封施工,保证嵌固强度和密封效果。4.7.4实践发现玻璃胶、硅胶易长霉,而硅密封胶又不耐碱,并且硅对半导体工艺可能有影5.1一般规定5.1.1本规范关于风管部件的要求,着重涉及洁净技术及可能对洁净技术有间接影响的或者需要强调的;属于施工安装的一般要求应符合现行国家标准《通风空调工程施工质量验收规范》GB50243的规定,属于通常的制作验评方法,均可参照风管的行业标准《通风5.1.2按程序施工是重要原则,超越程序抢先施工是不允许的。5.2风管和配件制作5.2.2风管特别是金属风管的加工制作已经从原来的手工制作发展到工业化、产品规模生1.板材剪切设备,如龙门剪板机、振动剪床、滚轮式剪板机、等离子切割机等;2.板材的折弯设备,如液压板材折弯机、液压(电动)折边机、手动折边机等;3.板材的咬口加工设备,如(抽条)咬口成型机、按扣式咬口成型机、联合角咬口成型机、圆形风管立咬口成型机、平咬口压实机等;5.矩形风管加工流水线。即使不在工厂生产、现场生产的机具设备也很多,有法兰加工设备,如联合冲剪机、砂轮切割机、二氧化炭气体保护焊机等;风管加工设备,如多功能风管咬口成型机、轻型薄钢板法兰风管成型机、按扣式和联合角咬口成型机、液压铆接机、电动合缝机等。5.2.3对非金属风管的成品,必须有防火和符合卫生要求的检测证明。5.2.4原行标规定可以用冷轧钢板,表面要刷漆。但多年实践表明,洁净室的风系统有的会吹出剥落下来的少量漆膜,还有环保等问题。因此本规范明确在高效之前用镀锌钢板,但一般镀锌板在用清洁剂洗净后有起粉的可能,因此建议有条件时应采用不复油的镀锌板,高效之后的要求相应更高了。5.2.5镀锌钢板在加工过程中,镀锌皮也容易脱落,所以应对洁净室使的镀锌钢板的镀锌皮质量提出要求。这一要求也见之于其他规范、手册。5.2.6~8专用加工场地是洁净室风系统加工和一般风系统加工的一个重大区别,也是前者一般风管加工不对板材清洗,而洁净室风管加工,则应增加这一程序。不锈钢材料和镀锌钢板与炭钢接触易发生晶间腐蚀,所以一定不能直接接触。5.2.9为了使不锈钢焊接质量有保证,焊缝绝不能有油,所以应用溶剂清洗。5.2.10风管接缝易漏风、积尘,也不便清扫,加工中应尽可能减少拼接缝。矩形风管底边的横向拼缝更易阻挡尘土,所以不允许有横向拼接缝。纵向接缝的限制参考了《通风管道技术规程》JGJ141的规定。5.2.11风管咬口形式在《通风管道技术规程》JGJ141中规定单咬口、联合角咬口、转角咬口都可适用于低、中、高压系统,唯独按扣式咬口说明只适用低、中压矩形风管。可见按扣式咬口是适用低中压系统的,而洁净室风管应按中高压考虑(见下面两条故本条规定不得用按扣式咬口。有些洁净受控环境很小,又处于运动状态或要经常清功能为主,因此可以用金属螺旋形风管或可拆下清洗的软管。相同的严密性,所以压力标准宜统一,见5.2.13条说明。如果设计按工作压力试验,或甲乙双方同意这样做,也可以按工作压力,符合有关标准的规定。5.2.13出于严格节能要求,这一条比原行标提高了,也比现行国家标准《通风空调工程施1.净化空调系统风管一律只用漏风检查,漏光检查太粗了,微小曲折的缝隙难于发现。2004年实施的《通风管道技术规程》规定中,高压系统也只用漏风法。2.漏风检查必须两项指标都达标,即单位风管展开面积漏风量和系统漏风率两项。原行标只有漏风率。如果系统很短但风量很大则漏风率可能也很小,但单位面积漏风量可能较大,反之,如果单位面积漏风量不大,但系统风量也不大,漏风率可能很大就反映不出来。3.其他规范以工程压力为准计算漏风量,或在试验压力下测出漏风量还要换算成工作压力下的漏风量,看似工作压力接近实际,但是工作压力很难确定,因此宜用一个统一的较高的试验压力来计算漏风量,根据所在管段确定一个试验压力,而不管工作时的压力可能本规范按最大终阻力的约2倍估算,新风段约100Pa,空调机组约500Pa,管道约相当于高压风管。结果总管取1500Pa,干管取1000Pa,支管取700Pa。有的规范指出1-5级洁净度时风管按高压风管计算,指出高压是指1500Pa以上到3000Pa之间,工作压力即在此之间。既然都是高压风管,加工工艺质量应是一样的,就都应该取一个值而不应再区分具体工作压力。其实1-5级都用单向流,末端过滤器要满布,则每一台过滤器滤速要远低于乱流洁净室,所以阻力反而小,把它的工作压力定得高于乱流洁净室是不对的。实际上不同管段压力会不同,已如上述。但是其他规范认为支管不要测漏风量。因为它接近送风口,压力趋向于“0”,这是不对的。洁净室的支管末端不是敞开的风口,都有高效过滤器,终阻力是很大的,支管上有时还有阀门、加热器等部件,工作压力不低。因此本规范规定支管也有漏风标准。既然都要测漏风率,而且支管也要,工作量为何?这就要求有一个较简便的方法,这就是附录A要讲的内容。但是当系统不复杂时,按国标《通风与空调工程施工质量验收规范》GB50243的方法检漏也符合要求,这就在操作上增加了灵活性。4.漏风率标准提高了,鉴于现在风管制作大都机械化,而且有了更高的节能要求,通过实验证明也是可以达到的。由于一个系统中可以有不同级别(非单向流)洁净室,所以本条只按单向流与非单向流两大类区分系统,前者系统风量大,取漏风率为≤1%,后者系统风量小了,取≤2%。行标《洁净施工及验收规范》JGJ71规定了两种漏风检查方法:漏光法—6级以下漏风法—6级及6级以上但漏光法太粗,实践中也很少去做,漏风法因要堵住所有风口,太麻烦,实践中基本不做,也就是说标准未能得到严格执行。虽然行标和现行国家标准《通风空调工程施工质量验收规范》GB50243都规定支管不做漏风检查,但支管由于高效过滤器也使管内具有相当压力,而且数量多,所以其漏风量不应忽略。通过实验证明本规范的方法是可行的,即在地面上随时组装一段,用专用设备检查一段,合格就吊装一段,这样使检测工作方便了,也可以随时知道该管段有无漏,而可以及时采取堵漏措施。如果系统全安好了,再检查发现漏风率不合格,也不知道漏在哪儿。5.2.14例如生物安全实验室的排风管,半导体车间排放有害气体(只要有微量漏泄,对产品质量可能有极大影响)的管道等。5.2.16这是能减少灰尘的积聚。5.2.17这是能减少漏风和阻力。5.2.21原行标规定螺钉距不大于100mm,现在由于洁净室级别向上发展,出现4-1级,所以本条也相应作了更密的规定。由于用铆钉不能完全避免,本条规定不得用空心铆钉,可以用端头封闭型的。5.2.22清扫孔适用于普通空调系统,而在回风口和新风口都安有相当效率过滤器的净化系统不应允许在风管上开孔。5.3风管安装5.3.1本条对风管安装人员提出了注意洁净的更高要求。5.3.2可以作法兰密封垫的材料较多,净化空调系统要求密封性好,作密封垫的材料应不透气、不产尘,弹性好。密封垫的厚度根据材料的弹性大小和法兰的平整度确定。法兰平整,密封垫材料弹性好,厚度可小一些,反之则应厚一些,橡胶制品刷涂料后将加速其老化,失去弹性,因此在密封垫上禁止使用。5.3.3有的安装单位对法兰密封垫的接头未做成阶梯或企口形,采用简单的对接,压缩会出现缝隙。有的密封垫未用胶粘接,压紧后产生位移,造成漏风。除去条文的条例外,还图5.3.3法兰密封垫接头企口接:正确楔形接:正确弧形接:正确1.—密封垫2.—密封胶5.3.5负压时不绷紧,会使阻力大增。5.3.6柔性短管在潮湿条件下容易长霉,实践证明,双层短管会好得多。5.3.8管钢板厚度是参照《通风管道技术规程》JGJ141制订的。5.3.9硬聚氯乙烯的热膨胀系数较大,所以应有伸缩节。5.3.11擦拭风管内表面一般用丝光毛巾、尼龙布等,抹布、绒布易掉纤维,不应采用。5.4部件和配件安装5.4.1风阀、消声器等配件,有的是安装单位自己加工,有的是购买成品,这些成品出厂时大多未清除油污,包装也不密封,运输过程中包装损坏较严重,有的生锈,有的被污染。所以安装前必须清除油污、尘土,油漆损坏的重新除锈刷漆。5.4.2净化空调系统的风阀转动轴和阀体壁板连接处缝隙应用橡胶环或端盖密封。外框和叶片材料应选用镀锌钢板或普通钢板作防腐处理(镀锌、喷塑等),连接螺钉、螺母及垫圈都应镀锌。有的工程螺钉螺母镀锌而垫圈未镀锌,系统未使用,垫圈已生锈。5.4.3安装定风量阀以前应了解该处管内压力是否大于阀的启动压力,如不大于则应调整5.4.4实践证明防火阀易熔件很容易在运输过程或安装过程中被弄断而未被察觉,这是异常危险的,因此必须最后安装,特别是对于设备要经过长途或路况不好的运输之后,更应最后安装易熔件或已安装的要实行最后检查。5.4.5因为消声器等有振动,必须单独支撑。5.4.8为防止掉纤维,对纤维材料应使用毡式的,离心玻璃棉有明显的刺激皮肤感觉,且对洁净环境不利,故不应采用。5.5.风口的安装5.5.1洁净室排风中都含有气溶胶,如新风口距排风口不够远,存在交叉污染可能性极大,ISO有关标准提出新、排风口应相距10m以上,这是有必要的,故本条也采用此规定。5.5.2~3新风过滤装置不是自动更换、清洁型的且更换不方便时,其上积尘时间常会相差很大,则往往延缓更换,此时应有压差报警装置予以提示。5.5.4竖条为了减少挂尘挂纤维,回风速度小为了不过分扰动地面气流。5.5.6回风口上安高效过滤器,都是因为回排风中有有害气溶胶,所以防漏是第一要素,因此此种过滤器必须先检漏后安装。如果过滤器边框只是普通结构而非零泄漏结构,则还要对边框进行扫描检漏。对于不能进行检漏的,必须进行生物学评价。为了安全,还是提5.5.7动态气流密封负压高效排风装置是防止安装边框漏泄的有效手段,但必须保证正压接管安牢,显示出必要的压差,因此应把压力表安在目测高度。但是过滤器漏则不是此种装置能消除的,因此首先要对过滤器检漏,不漏才能安装。由于有动态气流密封,边框则5.5.8这一条适用于改造既有建筑拆过滤器的工作,在拆装过程中可能抖落、沾染上带菌微粒,所以安装时必须注意安全。5.5.90.6m净宽是为了安装和下去人手动检漏时方便。5.6送风末端的安装5.6.1为了保护高效送风末端而制定本条。5.6.2为了保护系统中部件不致被污染而难于清理制定本条。5.6.5高效过滤器是洁净室的最关键的设备,是保证洁净室的最后一道措施,一些小厂根本无检漏手段,甚至连效率也不能测,加上加工上偷工减料,使过滤器实际性能离开该类型产品规格性能甚远。有的厂就在铭牌上写上类型的规格数据而根本没有检测过,这对我国洁净室质量将造成最严重最本质的影响,因此必须强制执行本条规定。5.6.6实践中有这样的例子:风口尺寸比过滤器外框尺寸大,无法安装,临时补风口,这显然是不允许的。也有的风口尺寸仅比过滤器外框尺寸大一点,很难压严压紧,因此做了5.6.7用于过滤器有害生物气溶胶或用于比5级洁净度更高的特殊场合的带高效的送风末端装置,例如用循环风的隔离病房和对0.1μm微粒有控制要求的特别高级的洁净室,送风不能有漏,否则对人或产品有严重危害,必须确保零泄漏。为此,无非零泄漏边框的必须对过滤边框与过滤器芯面全部扫描检漏为不漏,是零泄漏边框的,必须扫描检漏过滤器5.6.9以为将密封条压到底是最紧的认识是不对的,合理的压紧程度以压缩1/3为好。6气体系统6.1一般规定6.1.1通过多年的使用,实践证明使用压力范围为1MPa以下的压力管道系统,能够满足6.2管材及附件6.2.1除了纯度与干燥度的控制外,洁净室的洁净度级别,是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据。气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求,就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求。关于管材选配原则,是这样考虑的:1)对于不同材质的管道,其透气性能不同,如果管材本身透气性较大,而安装中不恰当地防止大气中氧的渗透和腐蚀,不锈钢管和铜管最佳。对700mm长管路中精氩气体水分的测定,见表6.2.1-2。表6.2.1-1几种管材的透气性能不锈钢管不锈钢管聚丙烯管聚乙烯化合物天然橡胶00表6.2.1-2管路中水分测定周边大气湿度%管路中水分变化周边大气湿度%橡胶管铜管不锈钢管44049044049032.22492892)气体中的水分主要来自管路系统,而管路系统中的水分,在很大成度上受周边环境湿度的影响,渗透对管路内的气质有很大破坏力。普通铜管内表面对杂质,尤其对水分的活性很高,因此,当使用这类管材时,切忌用溶剂或化学药品清洗,而应当用纯净气体吹扫。3)由于管道安装的环境可能在室外,即使在室内,环境空气也有一定的湿度,对铜管也有否则难以达到应有的效果。4)不锈钢管材的活性比铜管差,所以要求较高的高纯、洁净气体来说,不锈钢管是一种较为理想的管材,对于在1-5级洁净室内,采用316L不锈钢管(对应国产品牌5)对于6-9级级管路系统,视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管(对应中国品牌6)对氧气管路系统还是应当根据使用条件和周边状况,可以采用铜管。压缩空气管道,干燥度在-20oC与-40oC时,采用不锈钢管304(0Cr18Ni9)。2.管材内表面吸附、解吸气体的作用要小。在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体。所以,不锈钢材加工完毕,不仅其表面粘有各种污染物,而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。这样,当管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体。尤其当管内气流为不连续流动时,这类材料的作用好比吸附剂,通过气流时,管材对所通过的气体形成压力下吸附,气流停止通过时,管材所吸附的气体又形成降压解析,而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时,吸附、解析周而复始,使得管材内表面金属也会产生一定的粉末,这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。3.保持管材内表面光滑、耐磨损。管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度,不仅要求管材内表面有一个极高的光滑度,而且,应当具有很高的耐磨特性。这样,防止污染粒子及湿气在管壁滞留,管材本身在气流的高速冲刷(击)下,由于磨阻损耗低,也避免了管材的金属粉末进入气流中,造成气体的污染。不锈钢管和铜管的不同(表6.2.1-3)表6.2.1-3管材含尘量比较不锈钢管(316L)氮粒径(μm)0.12—0.80.12—0.8氧粒径(μm)0.12—0.80.12—≥0.8气粒/英尺325650气粒/英尺3297001)不锈钢管的耐磨性能优于铜管,在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少,对洁净度要求高的场合可用316L、304,不得采用铜管材。对于纯度99.999%以上或在ISOClass1-5级洁净室内时,应当采用洁净EP管。6-9级和压缩空气管,可以采用把BA洁净管(见表6.2.1-4)表6.2.1-4内面超光滑洁净管内表面粗糙度(Rmax)3.0-4.5μm0.24-0.7μm光亮退火2)为提高内表面的相对粗糙度,要在管材生产工艺中加以解决,如特殊拉拔(光亮退火)、内面电抛光等,比起在施工过程中加以处理要有效和可靠,因此要使用成品专用管,一般不能在现场加工、处理使用。4.具有良好的抗腐蚀性能。管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑,严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔,从而污染输配的纯净气体。这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管。5.在焊接处理时管材组织不发生变化。大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接,原则上全部采用焊接,因此要求采用的含炭过高的材料在焊接时,受焊接热影响的部位可析出炭来,从而产生局部腐蚀应力,造成焊接部位的透气,使得管内外气体的相互渗透,破坏输送气体的纯度、干燥度和洁净度,导致我们的各项努力全部失去意义。6.2.2洁净室内的管材有其使用的特殊性,从进货、验证、保存、下料、焊接、装配、试压、吹除、运行等工序都有着严格的要求。所有这些内容与程序,都是管道系统质量的技术保障措施,因此,条文规定比较详细,以下几点应特别注意:1、洁净管材十分珍贵,进货不能像普通管材那样随意码放,不仅要保持外观的清洁、包装纸完好,更要防止磕碰,更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏。2、管端头的密封罩盖,甚至管外壁的包装纸都应完好无损,否则便成为施工单位的保管失3、由于特殊拉拔工艺生产的内表面“光亮退火BA”管材及内面“电研磨抛光的EP”管材,加工工艺复杂,价格昂贵。市场“内壁光滑洁净管”效果良莠不齐,不仅与国外的水平差距较大,国内各厂家的产品效果也相差甚远,我们必须进行相应的粗糙度的检测,验证其可靠性与真实性,确保施工起点高,从源头消除隐患,确保洁净室内相应级别的管道施工质量。因此,随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符是否与出厂参数相符,是洁净管道施工的一项是管材内表面处理的最佳方式,如果在机械加工后经电抛光,则管路系统内表面的粗糙度会得到较大地改善(见表6.2.2为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠表6.2.2抛光处理前后粗糙度比较机械加工方式钻钻和绞钻、绞、轧制、研磨钻、绞、精密加工钻、绞、轧制、研磨、精密加工车削、精密加工机械加工方式钻钻和绞钻、绞、轧制、研磨钻、绞、精密加工钻、绞、轧制、研磨、精密加工车削、精密加工0.30-5.990.22-1.820.10-0.420.30-0.960.24-0.340.14-0.720.10-0.430.29-2.290.20-1.160.56-1.500.12-0.860.24-1.600.20-2.006.2.6管路附件材质最低应与主管材质一致,在采用铜材的管路系统中,可以采用不锈钢材质的管路附件,而在采用不锈钢材质的管路系统中,不得采用低于主管材的铜材质的管路附件。而且,凡是与应用气体接触的管路系统,均不得含有塑料制件。不锈钢管的耐磨性能优于铜管,在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少,对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L、316、304,不得采用铜管材。铜管内表面对杂质,尤其对水分的活性很高,因此,当使用这类管材时,切忌用溶剂或化学药品清洗,而应当用纯净气体吹扫,清洗也比不锈钢材难度大。而且在微电子生产中,个别生产工艺,如砷化镓的操作,为了防止产生器件电阻,不允不允许使用铜质管路及其附件。对铜管的吹扫时间应当延长,一般为不锈钢管的8-20倍。6.3.管路系统安装6.3.1管路系统的安装应做以下准备工作:1.不锈钢管的切割应采用“等离子”或专用切割工具即所谓“磨切”切割。“等离子”切割利用离子弧高温,使得被切的金属熔化,同时,利用压缩气体高速气流将熔渣吹掉而切割管材,此方法可以切割任何金属与非金属的管材,并具有切割速度块、质量好、热影响小、变形小的优点。合金管材,但对不锈钢管材应使用专门的切割片,批量的管材通常采用锯床切割。氧乙炔焰切割通常也称之为气割,气割对切口的有色管材是禁止使用的。表6.3.1不锈钢管酸洗配方分子式氢氟酸水5.氧气管道、包括阀门、管件、仪表、垫片及其他附件都必须脱脂。当阀门及仪表在制造厂已经脱脂,并有可靠地密封包装及证明时,可不再脱脂。黑色金属、有色金属及石棉垫片等非金属脱脂件,脱脂溶剂宜采用“四氯化炭”。氧气管道和设备常用的脱脂剂为四氯化炭、二氯乙烷、三氯乙烯、煤油等。前二者均具有毒性,但因二氯乙烷、三氯乙烯还有燃烧与爆炸的危险,因此,常用溶剂多为四氯化炭。四氯化炭是脂肪的溶剂,有强有力的麻醉作用,而且易被皮肤吸收,对人体有毒害。四氯化炭中毒引起人的头痛、昏迷、呕吐等症状。四氯化炭在5000C以下是稳定的,在接触到烟火、温度在5000C以上时,四氯化炭蒸汽与水蒸气化合可以生成光气。常温下四氯化炭与硫酸作用也能生成光气,光气是A1类剧毒气体,极其微量也能引起四氯化炭与碱发生化学反应,因生成甲烷而失效。所以脱脂作业必须做好人员与环境的保护工作。6.3.2经过干燥处理的各种气体或者深度冷冻空气分离(深冷空分)提供的气体都可以无坡度敷设,因为气体露点温度低于环境温度10oC,气体中的水分就不会析出来,因此,干燥气体管道实不需要敷设坡度,因为无意义。6.3.6对于高纯度、高洁净度介质的气体管道,螺纹连接结构本身并不适用,不仅螺纹密封填料残渣有带入纯净气流中的可能性,而且,在内、外螺纹旋紧时,金属之间的摩擦,也会产生金属粉尘粒子,同样会污染纯净气体,所以,不推荐在系统中使用螺纹连接。在无法避免时,应注意密封带质量及其缠绕的方式,缠绕过多超出管螺纹端头坡口,在内外螺纹旋紧时,密封带被套丝凸牙咬破,超出坡口部分,被螺纹凸牙切下,落入管内形成较大的污染物,因此,密封带缠绕不宜过厚,以一周半为宜,不仅管头倒角处不能缠绕,而且还应空出两到三个凸牙,这种情况可以得到改善。6.3.7加色标为了安全,便于快速鉴别、维修和查找原因。已有因接口可通用而接错了气体发生死人的事情,所以这一点必须强调。6.4管道系统的强度试验6.4.1本节主要参考有关压力管道以及《通风与空调工程施工质量验收规范》GB50243等现压试验后的水分、污染物很难吹扫干净甚至破坏了管道内表面的洁净度与光滑程度。所以高纯、高洁净度的管道系统安装完毕不应采用水压试验,而应采用洁净的气体,一般多用高纯氮气进行气压试验。由于气压试验过程中,对气源压力的控制,管材质量与人员的操作水平等因素,存在一定的超压、管材破裂等可能性,而1.0MPa的压力气体大面积冲击人身,轻者致残,重者丧生,因此强调做好人员与环境的安全保护工作。也是限定0.6MPa以上气压试验要有设计文件与甲方的认可方可实施的原因。6.4.2对管路系统泄漏量试验,配管敷设工作完成之后,试压完毕,要用发泡剂检漏,如果建设方要求严格,并在事前约定,发泡剂检漏后再用氦气(氦质谱仪)进行检测泄漏状况,进行这项工作时,每一个检查点都要用塑料薄膜覆盖,并通以小流量氦气进入覆盖空间,然后用氦质谱仪进行检测。结论应当是“零”泄漏,换句话说无泄漏才为合格。6.4.5真空度试验,真空管道在强度试验与严密性试验合格后,系统联动运转前,还应以设计压力进行真空度试验。试验宜在气温变化较小的环境下进行,试验时间为24h,增压率不应大于3%。对于普通的真空管道系统,真空试验增压合格率在5%,因为对洁净室要求比普通真空管道高,因此定位3%。7.1一般规定7.1.1明确洁净室水系统的对象。7.2.1本条是为了防止在用水设备处使供水被污染影响到供水系统。7.2.3这是为检测时不致弄错面造成瞬间污染。通知,禁止使用冷镀锌钢管用于室内给水管。美国和加拿大80%以上供水管为铜管,香港这一比例也有50%。铜管还有抗微生物的特性,尤其对大肠杆菌有抑制作用,有99%以上的小中细菌在进入铜管5h后会自动消失。金属与非金属复合管,则兼有强度大、耐腐蚀、7.3.1国外有关生物安全洁净室的排水管都要求明设,是为了好发现漏泄,好检修,减少危险。加透明套管也是习惯做法,为了防止不泄漏,在有特严重致病微生物条件下,这是必须7.3.3以保证在自动阀失灵时仍有手动补救,能迅速切断污水并使污水不致从自动阀中溢出,以应付特别污水的危险。7.3.4给出管线布置总的原则。7.3.5排水通气管中含有大量生物气溶胶,一旦传播开来影响极大,所以有本条的要求。7.3.6本条既对设计人又对施工者,设计要建采样口,设了采样口则施工者应严格处理其密7.3.8地漏安好未密封容易在施工中堵塞,影响将来的使用效果。7.4.1~3据文献介绍,世界卫生组织推荐“水应高于600C储存,至少500C下循环”,又据美国ASHRAE杂志2000年9月号介绍,“在医院卫生储存,在需要循环的场合,回水至少510C”,在各国药品GMP中要求更高,上述温度分别达到800C和650C。因此,热水管应做好相应温度下的绝热,同时要降温使用时只能采用7.5纯化水与高纯水7.5.1纯化水处理设备的安装应符合下列要求:3.由于在制备中要用化学品,所以地面等要防腐,同时怕人员中毒,要在安装时留有药箱6.对活性炭的冲洗速度要小,以免冲碎。7.5.2纯化水和高纯水管道等安前脱脂工艺举例有:吹扫→四氯化炭脱脂→40~500C温水冲洗→浓度为2030%的洗涤剂洗净→40~500C温水冲洗→干燥→封口→保管。7.5.5纯化水和高纯水(含注射用水)管道以及纯蒸气管道采用不锈钢(SUS)管时,其管道加工、安装应符合下列要求:1.不锈钢管不能直接与炭钢接触以免产生晶间腐蚀。3~4.不锈钢焊接不能用氧-乙炔气焊,因为焊缝的热影响过大,材料受热过久,使不锈钢发生渗炭作用,并剧烈地烧失合金元素,降低了不锈钢耐腐性能。而氩弧焊的热影响还小得多,风管表面易保持平整能焊只有0.5mm的炭钢板。实践证明,点固焊时同样要充氩气,测焊点(管内)焊肉形成“开花”,而到焊接时又难于将“开花”的点固焊点熔化成光滑的焊缝7.5.6纯水、高纯水当采用偏聚二氟乙烯(PVDF)时,应符合6.3.6条的相关要求;当采用硬聚氯乙烯(PVC)管、聚丙烯(PP)管和工程塑料(ABS)管时,其管道加工、安装应2.PVC管道粘接剂一般采用过氯乙烯清漆或过氯乙烯树脂与二氯乙烷溶液相配(20:804.因粘接剂有可然性容易着火,故应远离火源。7.焊缝和坡口形式参见表7.5.6-1表7.5.6-1焊缝和坡口形式7.5.7在运转前还应进行冲洗,管内有污物时可用0.1%双氧水和氨水混合液或0.2%盐酸溶液泡1h,再用自来水冲洗8化学物料供应系统8.1.1本条指明化学物料的范围8.2.1~6条文对化学物料储存空间太小、设施,做了规定,特别为了防止意外发生,参考8.3.1~2条文指明化学物料宜用的管材、管件。8.3.3为防非金属管破损,必须用套管。8.3.4管道清洗时为避免损坏附件,必须卸下附件再清洗。9配电系统9.1一般规定工程施工质量验收规范》GB50303等。9.2.1这是为了保证维护检修的方便,也减少对生产的影响。9.2.2穿线管口密封对洁净室来说尤为重要,这些地方都是压力漏泄的很难发现之处。9.2.5不能图方便而省去专用接地线直接用线槽跨接,这因线槽质地而大大影响接地电阻。9.3.2洁净室墙体上嵌装的一切装置包括配电盘等均应遵守尽量不突出墙面、不易积灰的原9.3.3主要是为了减少一旦检修时对室内的污染。9.3.5单向流静压箱底面(室内一面)上穿过螺栓之类而造成严重漏泄并很难补修的孔洞很多,即使焊住也不行,螺纹处仍漏,加上螺帽,打上胶都难以封住。必须时只能把螺杆根部10.1.1本章的自控系统是指对温度、湿度、压力、流量等的过程控制进行检测和监控。10.2.1安装前的保管期加上生产后的到货期,安装后至使用时的待用期,都是可能出现问题的,所以保管期限如达到一年,则上述总时间将可能达2年或更多,设备性能可能有变化,所以将保管期定位半年,则整个上述时间有可能降到一年左右,这是可以接受的。10.2.2实践证明,维修空间很重要,太小可能影响使用。10.2.4底面常有涡流负压存在,若不密封,平时系统不开时易向内积尘,系统开时会带出10.3.3线槽断开和补偿余量皆是为了防止结构变形引起破损。10.4.1在自控设备综合调试之前,需完成各控制设备的单体检测和调试。单体检测和调试一般通过模拟信号出入,单体完成给定的控制动作。11.1.3本条强调必须注意拆包装时污染,内容吸收了ISO14644有关部分的理念。11.1.5本条强调要作为开箱验收记录。11.2局部净化设备安装11.2.3强调所有与墙壁连接的设备,不应呈直角,这样很难清洁,一定要做成圆弧过渡。11.2.7及时试运行,以便顺利查出问题,事半功倍,反之事倍功半。11.3设备层中的空调及冷热源设备安装11.3.2清洗时应重点清擦风机涡壳内部。11.3.4空调设备的漏风试验允许之前先做好密闭再试验。11.3.5这是为了适应热升冷降的原理。11.3.7冬天无冷凝水,如不关断则气体有反冒,但往往未能关断,所以边上各有提示标识。11.4生物安全柜安装11.4.4安全柜内是有害气溶胶的集中、大量发生地,所以安全柜排风过滤器不漏是对环境安全的一个主要保证条件,但一旦把排风管接好即无法检漏。所以强调在未接风管前,在敞11.5工艺设备安装11.5.1工艺设备的安装必须服从产品质量的大局。11.5.2这是为了在安装过程中避免有污染发生,而在系统已稳定运行条件下,可保证能及11.5.6此条是参照ISO14644有关部分的精神制订的,说明在安装期间,安装空间不能有正压风,把污染压向外界。11.5.7这是为了避免移动时少破坏少产尘。11.5.10这是为了防止狭缝中积尘不好清洁。规定基本一致,不同的是本章未强调不适用范围,主要考虑以下几方面的因素。本章主要对洁净室工程消防系统的施工安装、竣工验收二个主要环节中的技术要求和工作程序作了规定,不涉及使用场所的问题。本章编制中根据目前洁净室工程有防火要求房间所应用的消防系统的结构特点、工作原理归纳分类,即掌握了其共同点又突出了个性,就工程施工、竣工验收中对消防设施功能影响较大的主要技术问题都作了明确规定,实施时,对同一类型系统来讲,不同应用场所对其效果没有多大影响,只要按照本章执行,就能确保消防设施功能达到预期目的。就目前掌握的资料,尚无必要和依据对其不适用范围作明确规定。12.1.2本条对施工队伍的资质要求作出了规定。施工队伍的素质是确保工程施工质量的关键,根据消防工程设施的特殊性,对施工队伍的资质要求及其管理问题作统一的规定是必要12.1.4本条的目的是为了保证消防系统的施工质量和设施的使用功能。12.2.2目的是保证排烟管道的隔热效果,以防高温烟气物或对周围环境造成不利影响。12.2.3本条对砖、混凝土风道的制作给出了具体的要求和规定,目的是保证排烟管道的气密性,防止烟气泄漏情况的发生。12.2.4本条对送风口、排烟口的安装作出了具体的要求和规定,目的是保证施工质量,避免排出高温烟气引燃排烟口附近可燃物或可燃构件。12.2.5本条对排烟风机的安装作出了具体的要求和规定:1.此条规定的目的是防止橡胶等可燃减振装置发生软化或被引燃等现象发生。2.本条对排烟风机的安装位置提出了要求。在实际工程中存在排烟风机未设置在机房内或机房与相邻部位未采取有效防火分隔措施等不安全因素,这些因素存在安全隐患,对围可燃物或可燃构件都有影响。12.3防火卷帘、防火门和防火窗12.3.1本条主要对防火卷帘的安装作出了具体的要求和规定:1.目的是保证施工质量,注意孔洞的防火封堵,使封堵材料与防火卷帘具有同等的耐火效3.为确保卷帘的防烟效果,对防烟装置的安装及所用材料作出了明确规定。4.卷帘两侧火灾探测器组是控制卷帘升降的关键组件之一,它在系统中起着启动系统、确保卷帘下降、发出报警信号的关键作用,同时采用感烟、感温火灾探测器为了实现疏散通道上的防火卷帘二次降的控制方式。12.3.2本条主要对防火门的安装作出了具体的要求和规定:1.为确保防火门耐火效果,对防火门上五金配件作出了明确规定。2.防火门是建筑疏散设施的关键组件之一,它的开启角度、方向和自闭功能对于人员安全疏散起着至关重要的作用。防火门向外开,不阻挡疏散人员,这也是经典做法。3.目的是保证防火门的防烟、防火密封功能。12.3.3本条主要对钢质防火窗的安装作出了具体的要求和规定:1.为确保钢质防火窗耐火效果,对防火窗上五金配件作出了明确规定。2.目的是保证钢质防火窗的防烟、防火密封功能。12.4应急照明及疏散指示标志12.4.1本条主要对消防应急疏散指示标志灯安装条件和安装位置提出明确规定和要求。2.对安装方式的要求,以防标志灯上堆积尘土对洁净区的受控环境产生影响。3.对出口附近标志灯安装位置的要求,应安装在醒目,不被遮挡便于人员观察的位置。4.对疏散走道及转角处标志灯安装位置的要求,考虑到一旦烟气蔓延至疏散走道会先充满上部空间,故此处标志灯的安装应尽可能离地面近些,且在视觉上具有一定的连续性,以利12.4.2本条主要对消防应急照明灯的安装作出了具体的要求和规定。1.目的是避免光线正面直射对人员视野产生不利影响。2.对安装方式的要求,以防照明灯上堆积尘土对洁净区的受控环境产生影响。3.主要参照现行国家标准《建筑照明设计标准》GB50034,对疏散走道的照明值作出的规定,且走道内照明强度应一致且连续,以利于人员的疏散。12.4.3本条主要对蓄光型疏散指示标志牌的安装作出了具体的要求和规定。2.对安装方式的要求,考虑到建筑内烟气蔓延会先充满上部空间,故标志牌的安装应尽可能离地面近些,且不应对人员正常通行产生影响。13.1.1屏蔽设施既屏蔽内部电场、磁场、辐射源对外部的作用,也屏蔽外部电磁场和辐射13.2.1屏蔽体是进行屏蔽的核心手段,必须严格按设计精心施工,尤其是尺寸不得有所缩13.2.3为了确保混凝土在硬化过程中的质量,所以强调注意气象信息,保证能连续一次灌13.3.1在安装过程中必须保持周围环境的干燥,严禁水或水气进入连接处缝隙。13.3.2铁氧体的粘贴牢固可靠、连接紧密;参考相关专业标准连接处缝隙应小于0.13mm,相邻高度不大于0.1mm。13.3.3根据焊接材料确定焊接方法:氩弧焊、银焊或锡焊。助焊剂应用中性焊油。13.4管线、门洞和其他要求满足施工条件下越窄越好。14.1.2防静电地面是指能较少产生静电和易于泄漏静电,以防止静电危害的地面。14.2.1各种防静电地面的防静电年限是:PVC板3年以上,聚氨酯和环氧自流平、防静电橡胶和防静电水磨石均5年以上,防静电瓷质地板10年以上。导电材料――表面电阻率低于每单位面积105Ω;静电耗散材料――每单位面积表面电阻率达到105~1010Ω;抗静电材料――每单位面积表面电阻率达到1010~1014Ω;,,特别是使用220V及其以上电压的场所。14.3防静电水磨石地面防静电水磨石地面应是最简易的防静电地面,施工简单,造价低,抗静电年限适中,防静电地板蜡的体积电阻在5×104~1×109Ω之间。绝缘漆可用B级,绝缘电阻不小于1×1012Ω。14.4防静电聚氯乙烯(PVC)地板14.4.1导电胶的粘接强度应大于3×106N/m2。14.4.3为了保证质量,特别是敷导电网等质量、强调要先做示范铺设。特别是地面应干燥,若为底层地面应先做防水处理。14.4.5采用25mm宽铜箔,为了有效地防止静电积聚。14.5防静电瓷质地板防静电瓷质地板是将耐高温导电的无机材料加到瓷层内从而改变其物理特性,然后经15施工组织与管理要“软件”内容。所以本规范不仅主要强调施工及验收对象的“硬”内容,也对施工的人员、文件和组织管理提出原则要求,强调人员应具备的条件,强调要做到一切要有文字(图纸)规定,一切要按规定办事,一切活动要记录在案,一切要由数据说话靠施工出来的5.现代化管理理念中生产(施工)负责人和质量负责人应是分别设置的,生产负责人虽然要抓质量,但不能同时负责质量监管。4.人员虽然要经过各种培训,但作为各级施工负责人和质检人员必须经过本规范的培训,这是对洁净室施工人员的最基本要求。15.3.3能否提供和提供怎样的技术说明书给建设方,反映一个施工单位的技术素质和责任心,不能施工一完,一走了之。如果一个施工单位是经常施工洁净工程的有经验的单位,这些说明书基本上是现成的,对这些单位并不构成负担。2.要及时填写,不得追记或补记。17.4.6应在工程开始之时,即规划未来的中间验收与调试,以便指导施工中的行为。本节提出了质保措施、成品保护措施、特殊气象条件施工措施等作为示例,施工单位应举一反三,从实际出发,订出真正属于自己的施工措施。15.6安全保证措施15.6.8因动用明火而发生火灾,人死物毁的事件太多了,所以检查和控制明火的使用是施工现场安全保证的第一要素。15.7环境保护与节能15.7.1~8环保与节能是一项国策,任何场合都应执行,不能强调施工现场条件差,而可以放松这方面的努力,本节特别强调要把施工节能编入节能施工组织设计。16.1.1工程检验的程序和项目是共通的,所以适用于一切要求检验的工作和场合。16.2检验项目及方法16.2.1规定的34项检验项目,是目

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