JJF(浙) 1194-2022 闪影像测量仪校准规范VIP

JJF（浙）1194-2022闪测影像测量仪校准规范闪测影像测量仪校准规范JJF（浙）1194-2022I 2 2 2 2 2 4 6 11JJF（浙）1194-2022JJF1094-2002《测量仪器特性评定求和试验方法。JJF（浙）1194-20221闪测影像测量仪校准规范注：闪测影像测量仪的工作台可移动时的二维探测误差为PM；闪测影像测量仪的工作台不可移动的二维探测误差为PS。图1闪测影像测量仪结构示意图闪测影像测量仪又称一键式影像测量仪，简称闪测仪，是由上下光源、高像素CCD/CMOS相机、大视角大景深远心镜头、不可移动工作台或可移动工作台组成，包括广JJF（浙）1194-20222），表1计量特性序号计量特性测量设备1二维探测误差（PM，PS）圆形靶标2尺寸测量误差（EXY）线纹尺，一维点阵掩膜版，二维点阵掩膜版3测量重复性注：以上测量设备可在满足闪测影像测量仪校准要求的前提下选择使用。6.1.3仪器测量室内应无影响测量的灰尘、噪音、振动表2测量标准及其他设备序号设备名称技术要求1圆形靶标圆度不超过1/4MPEPS2线纹尺不确定度不大于1/4MPEEXY3一维点阵掩膜版不确定度不大于1/4MPEEXY4二维点阵掩膜版不确定度不大于1/4MPEEXYJJF（浙）1194-202237.1.1二维探测误差PM图2PM测量示意图半径Ri，Rmax-Rmin即为探测误差PM。图3PS测量示意图半径Ri，Rmax-Rmin即为探测误差PS。JJF（浙）1194-202241选择广视野测量模式下进行校准。2当闪测影像测量仪的工作台可移动时，校准二维探测误差PM与PS；当闪测影像测量仪的工作台不可移动时，只校准二维探测误差PS。当使用线纹尺作为测量标准时，在工作台面上应选择4个位置注：可根据用户需要选择任意位置作为测量位置。图4测量位置示意图每个位置测量不少于3个间隔，最小测量间隔轴与Y轴方向最大测量间隔不小于该测量位置测量行程的90%，对角线X+Y与X-Y方向定的线纹间隔进行测量。三次测得值的平均值与JJF（浙）1194-202251如闪测影像测量仪具有广视野与高精度两种测量模式，则需校准两种测量模式的尺寸测量误差。2当闪测影像测量仪工作台可移动时，按7.2.3的方法测量拼接模式下尺寸测量误差。s——重复性,mm；Li——第i次的读数值，mm； n——测量次数，n=10。1如闪测影像测量仪具有广视野与高精度两种测量模式，则需校准两种测量模式的测量重复性。2当闪测影像测量仪工作台可移动时，按7.3的方法测量拼接模式下测量重复性。准证书至少应包括JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》5.12条款中的信息。校准JJF（浙）1194-2022A.1二维探测误差RRmin（mm）1PM2PSA.2测量平面内的尺寸测量误差A.2.1广视野模式：EXY测量值（mm）测量值平均值标称值示值误差123XYX+YX-YA.2.2广视野模式拼接：EXY测量值（mm）测量值平均值标称值示值误差123X7YX+YX-YA.2.3高精度模式：EXY测量值（mm）测量值平均值标称值示值误差123XYX+YX-YA.2.4高精度模式拼接：EXY测量值（mm）测量值平均值标称值示值误差123XYX+YX-YA.3测量重复性A.3.1广视野模式：序号12345测量值（mm）序号6789测量值（mm）A.3.2广视野模式拼接：序号12345测量值（mm）序号6789测量值（mm）9A.3.3高精度模式：序号12345测量值（mm）序号6789测量值（mm）A.3.4高精度模式拼接：序号12345测量值（mm）序号6789测量值（mm）JJF1194-2022B.1二维探测误差1PM2PSB.2尺寸测量误差EXY广视野模式广视野模式拼接高精度模式高精度模式拼接测量值平均值示值误差测量值平均值示值误差测量值平均值示值误差测量值平均值示值误差XYX+YX-YB.3测量重复性测量重复性（mm）1广视野模式2广视野模式拼接3高精度模式4高精度模式拼接Δ=L-l（C.1）式中：Δ--------闪测影像测量仪测量平面内的尺寸示值误差；（C.2）a)测量重复性引入的标准不确定度分量u1；b)闪测影像测量仪分辨力引入的标准不确定度分量u2；c)标准玻璃线纹尺引入的标准不确定度分量u3；d)闪测影像测量仪光栅尺与标准玻璃线纹尺线膨胀系数差引入的标准不确定度分量u4；JJF1194-2022实验标准偏差=0.33μm依据标准玻璃线纹尺的证书，其测量不确定度为U=(0.20+1.5L)μm，(L-m)k=3，取JJF1194-2022表C.1标准不确定度一览表输入标准不确定度分量u(xi)不确定度分量来源不确定度分量值