ESD管理权责手册

任命书

本公司依据ANSI/ESDS20.20的标准建立ESD管理体系，为确保公司ESD管理体系有效地建立、健全、

运行和保持，特任命为ESD小组组长，全面负责ESD体系的建立、实施、保持、改进，并负责与ESD

体系有关的内外部各方的联系协调工作。

总经理:

年月0

1.目的：

本文件旨在规定ESD防静电控制技术规范，为产品在元器件进料、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可

靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。

2.适用范围，

本厂生产区域，供应商和合作方的供应链体系内部静电防护工程的设计、使用、管理、维护和检测。

3.权责

3.1公司ESD组织结构和职责

公司ESD控制组织结构图如下：

3.1.1ESD小组：

公司成立ESD小组，品质管理部经理为ESD推行主席，设备总工程师为ESD小组组长，组员为：研

发部经理、制造部经理、行政人事部经理、资材部经理、安全员。ESD小组负责公司的防静电控制规

范、标准的制定，建立健全ESD管理规章制度。ESD小组定期组织车间各组长对ESD进行抽查和评审，

确保公司ESD控制体系有效运行。

3.2各部门负责人负责本部门工作区域的静电防护措施的执行。

3.2.1品质管理部：

3.2.1.1根据控制标准对新投产的产品所采用的防静电设备及材料进行确认并提交报告给相关部门以满

足产品的防静电要求。

3.2.1.2负责对生产工场的ESD控制系统运行状况进行监控及评估，保证ESD控制的持续改进。

3.2.1.3负责相关静电测量仪器的校准工作。

3.2.2研发部：

3.2.2.1负责产品的防静电设计和监控。

3.2.2.2负责将客户的要求转换成公司内部规定

3.2.3制造部：

3.2.3.1执行防静电措施及部门防静电项目的检查。

3.2.3.2部门防静电知识的宣导与培训。

3.2.3.3设备人员负责对工场所有设备、设施、仪器、夹具定期进行ESD检测并做好记录。

3.2.2.4负责提供已清楚标明工场区域的制程要求给设备组。

3.2.2.5负责对生产工场、存放区域及其它可能接触货物的地方设置接地系统。

3.2.2.6依实际要求用仪器检查接地系统的功能是否完好并作好记录（如工作台经刷油漆后或更换了部分

接地设施等，应再次检测接地系统功能），每年检测一次总系统对大地的电阻是否完好并作记录。

3.2.2.7负责全厂防静电基础设施的施工。

3.2.2.8负责在生产工位存放区域安装防静电材料和相关仪器的接地并对其安装进行长期维护。

3.2.2.9负责对监控部门反馈的ESD问题及时进行维修处理。

3.2.2.10根据静电控制要求为生产部提供相关的防静电设备、设施及配件等。

3.2.4行政人事部：

3.2.4.1负责对新进厂的员工进行防静电知识的培训；

3.2.4.2负责员工年度及特殊要求ESD培训。

3.2.5资材部：

3.2.5.1按要求购置防静电物品。

3.2.5.2需要时取得防静电物品的防静电证书。

3.2.6营销部：

3.2.6.1负责收集客户端对产品ESD方面的需求。

4.概要

本文主要从静电控制的五个方面（即人员、设备、物料、方法和环境）来论述ESD规范，贯穿了公司产品设计、

制造、贮存、包装等各个环节防静电控制，详细介绍了防静电设施的技术要求、检测方法和作业指导等内容。

5.定义

5.1ESD：Electro-StaticDischarge静电释放。

5.2抗静电材料•：同种材料或类似材料相互摩擦，几乎不产生静电荷的材料。

5.3导电材料：材料表面电阻率每平方米小于10,Q的材料。

5.4绝缘材料：表面电阻率每平方米大于等于10“Q的材料。

5.5静电消散性材料：表面电阻率介于每平方米IO'。与I。”Q之间的材料。

5.6表面电阻率：每平方米材料表面两个电极间的电阻。

5.7静电敏感器件：指IC类与晶体管（含二极管和三极管）类电子元件。

5.8静电敏感区：我公司的静电敏感区为：敏感器件待检区、IQC检验区、存储区、生产区。

5.9非静电敏感区：指除了静电敏感区以外的所有区域，其中包括部分在静电敏感区中划分的非静电敏感区，

统一使用黄色ESD胶纸划分并具有明确标识。

5.10防静电工作区：配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界和专门标记的适于从事静

电防护操作的场所.

5.11接地：电子连接到能供给或接受大量电荷的物体（如大地、舰船或运载工具外壳等）。

5.12硬接地：直接与大地电极作导电性连接的一种接地方式。

5.13软接地：通过一足以限制流过人体的电流达到安全值的电阻连接到大地电极的一种接地方式。

5.14大地电极：埋于地下与大地保持良好的电气连接的金属体或金属体组。它可以是杆状的、板状的或网状

的，为接地系统提供接大地的基准点。

5.15高静电材料：容易产生静电及累积静电的材料，例如：普通纸张、普通塑胶袋、塑胶笔等。

6.静电敏感器件列表

表1静电敏感器件列表

序号型号抗静电值（Volts）

1150-2000

2150-2000

7.价电防护区域（EPA）的界定和标识

7.1EPA的划分

7.1.1EPA必须具有如下的基本环境要求：

7..11.1明确的区域界限和防静电警示标识

7.1.1.2对区域内的所有导体包括人员可靠接地

7.1.1.3消除一切不必要的静电产生源。

7.1.1.4静电敏感器件必须远离静电源至少30厘米处。

7.2根据公司产品器件的静电敏感度等级，将公司静电敏感度等级防范要求为100V。防护要求为：

7.2.1静电敏感度等级防范要求为100%应尽量避免产生100V以上的静电电荷源，如不能避免，应通过有

效方式消除。

7.2.2采用防静电标识与其它区域分隔开，未采取有效防静电措施的人员、设备、物料、工具等皆不得入内。

7.23进入本区域应作好人员防静电要求，包括防静电工衣、工帽、工鞋、腕带或手套并作人体综合电阻测

试合格后才能进入。

7.3EPA的ESD控制措施控制措施要求按照表2实施：

表2EPA的ESD控制措施要求

ESD控制措施要求

静电电压控制标准小于100V

防静电标识要求

防静电地板或地垫要求

防静电桌垫要求

防静电腕带要求

防静电指套要求

防静电工作服要求

防静电工作鞋要求

防静电工作凳要求

防静电周转工具要求

防静电包装材料要求

静电产生材料禁止带入EPA要求

区域封闭性要求

出入口控制要求

静电电压表要求

重锤式电阻测试仪要求

人体电阻测试仪（带腕带测试仪）要求

非防静电包装的拆包区域外操作或独立工位操作

防静电液等可选

干燥柜要求

各机器接地要求

包装袋要求

接地线要求

周转车要求

办公区区域外或独立工区

7.4EPA标识防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、设备仪器的接地等都应该具有防静电标识。防静电

标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作；警示任何接触静电

敏感器件的人员，对该器件的操作必须进行静电防护。

7.4.1任何防静电工作区都必须有区域标识，除非此工作区位于静电安全工作区内。标识上应注意说明如“注

意：静电安全工作区”或其同意语。“放电”，“注意”，“危险”等标示对静电控制是不合适的。EPA标

识所在的位置及其大小应该至少保证在距离工作区1米时清晰可见。

7.4.2应该使用黄黑间隔的地板胶带将每一个防静电工作区围起，EPA的边界线和标识如（图A）中所示，

它由黄黑双色的平行四边形图案相间构成，其宽度为4〜5cm。是专门用来标志静电敏感区的区域界

限的。

7.4.3需要在静电安全工作区的每一个入口和出口放置防静电标识牌和控制说明。如图B

7.4.4防静电器材、工具和静电敏感物料都必须具有明显的防静电标识，防静电接地系统应有明显的接地标

识说明。

7.4.5防静电容器（防静电周转箱，防静电组件盒等），组件架和运输车等器材上应有防静电标志，其标志

应置于明显且不易受到磨损的地方。

图A静电敏感区域警示标志

ESDProtectedArea▲

ESD防护区域

Amice

图B防静电标志

注意Attention

防静电保护区

ESDProtectedArea

搐触龄电放电总总元件时

请果取适当懵防指篇

Approprtoushould

XUkentorContactlnQ«lecrMUt>c

diBcMr9ehredevkxAmice

入口出口

7.5防静电性能标准及检验计划：见表3

表3ESD符合性技术要求

序号测试项次技术要求测试设备抽检频次责任人参考标准记录表

总接地电阻

1总接地<101次/年

万用表检测记录表

2防静电接地<10测量范围：1次/3月设备保养表

设备科ANSI/ESDS6.1

3设备接地<1Q1次/3月设备保养表

±10%

防静电接地

4<25Q1次/3月设备保养表

与设备接地

点对点电阻：

1.0X105Q"1.0XANSI/ESDS7.1

1O'JQ重锤式防静品质管-2005防静电检测

5地面1次/3月

点对地电阻：电测试仪理部记录表

1.0X10"]oxESDTR53.1

IO'。

点对点电阻：

1.OX1O5Q"1.OXANSI/ESDS4.1

IO9Q重锤式防静品质管-2006防静电检测

6工作表面1次/I月

点对地电阻：电测试仪理部记录表

1.0X105Q"1.0XESDTR53.1

IO9Q

点对点电阻：

1.0X105Q"1.0XANSI/ESDSTM1

IO9Q重锤式防静品质管2.1-2006防静电检测

7髡子1次/I月

点对地电阻；电测试仪理部记录表

1.0X105Q"1.0XESDTR53.1

IO'Q

接地线：

0.8X10°。〜1.2X

106Q静电手环腕

重锤式防静品质管ANSI/ESDS1.1

8腕带内表面：使用前带检测记录

电测试仪理部-2006

<1.0X105Q表

外表面：

>1.0X10,。

戴上手腕，并扣紧

连接扣，保证贴近

皮肤，手环的连接

人体综合测品质管静电环测试

9腕带使用后头插入仪表插孔，1次/天ESDTR53.1

试仪理部记录表

用手按住测试按

钮，直到仪表灯亮

pass/fail

点对点电阻：

1.0X10'1.0X

10"Q重锤表面电品质管ANSI/ESDSTM2防静电检测

10服装1次/月

袖口对袖口：阻测试仪理部.1-1997记录表

LOXIO’Q〜1.0X

10"Q

重锤式防静品质管ANSI/ESDSTM2防静电检测

11指套1.0xl05"1.0xl0d进货检验

电测试仪理部.1-1997记录表

点对点电阻：

周转箱1.0X105Q"1.0X重锤式防静品质管防静电检测

121次/月

周转盒10'JQ电测试仪理部记录表

点对点电阻：

1.0X10P〜1.0重锤式防静品质管根据1QC进料防静电检测

13包装材料进货检验

X10nQ电测试仪理部检验标准记录表

静电电压测品质管静电电压检

14静电电压<100V1次/月

试仪器理部测记录表

电阻1.0X105Q重锤式防静品质管防静电检测

15包装袋进货检验

〜1.0X10”。电测试仪理部记录表

电阻1.0X105c重锤式防静品质管防静电检测

16货架1次/月

-1.0X109Q电测试仪理部记录表

电阻1.0X105Q重锤式防静品质管防静电检测

17周转车1次/月

〜LOXIO^Q电测试仪理部记录表

点对点电阻：

1.0X105O~1.0

X109Q重锤式防静品质管防静电检测

18鞋1次/月

点对地电阻：电测试仪理部记录表

l.OXIO'Q〜1.0

XIO9Q

点对点电阻：

1.0X105Q-1.0

XIO9Q重锤式防岸防静电检测

19干燥柜1次/月设备科

点对地电阻：电测试仪记录表

1.0X105fi-1.0

XIO9Q

备注：1.每次随机抽检5%,小于5件全检。

2.对于抽样监控的设备/夹具，如果超过接受标准，则全检抽样区域同类设备/夹具。

3.对于人和料项目中的Controlspec.的参数和规格，是有新到或需Qualify时的必测项目。

8.静电敏感区域的工程环境防薛电规范

8.1防静电工程环境的要求：

8.1.1环境的温度、湿度和洁净度要求

普通工场（含仓库）的相对湿度控制在30-60/RH之间，相对温度控制在18-28C之间。环境内应配备

温度计和湿度计，并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来

满足湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足

要求。温度计和湿度计使用要求：

8.1.1.1所有需要防范的环境内应配备温度计和湿度计，温度计和湿度计必须放置在垂直固定于墙壁上。

8.1.1.2每日开工前必须由专人如实查看并记录，发现不符合要求时，应报告相关责任人立即处理，使其满

足温度和湿度要求。

8.1.1.3每月的温度和湿度仪记录应归类保存，保存期为两年以上。

8.2地面的技术要求

8.2.1地板的防静电要求：为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地，除操作人员穿用防静电服、防

静电鞋外，其先决条件是地板必须具有一定的导电性能，即是防静电的。这种防静电地板能泄漏设备、

工装上的静电，也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人体静电。

8.2.2防静电地板的静电特性定期检查与维护保养：

8.2.2.1检查对象：防静电地板。

8.2.2.2检查频率、检查指标、检查标准见表3。

8.2.2.3检查仪器：重锤表面电阻测试仪。

8.2,2.4当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时，应根据情况定期清除（具体定义依十万级

无尘室控制要求及公司内部具体情况定义）。

8.2.2.5清扫防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。

8.3静电敏感区域的防静电保护接地技术要求：防静电系统必须有可靠的接地装置，主要技术要求如下：

8.3.1接地线（总地线）：也称为地线母线。接地主干线的截面积应不小于100mm2,支干线的截面积应不小

于6mm2,设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm2的敷塑导线。

8.3.2防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易装拆，必须使用插头座等。

8.3.3接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于1Q。

8.3.4地线的埋设：埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好.接地体与土壤的接触面积要大,

接触密度要高，接触要紧。

8.3.4.1埋设地线的注意事项：

A.接地线与接地线接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长。

B.要采用耐腐蚀的接地体金属。

C.要保持接地体附近土质的质量，并不断采取措施防止接地电阻变大。

D.防静电地线必须是永久性的。

8.3.5接地线的定期检查：

8.3.5.1检查对象：所有的接地线及接地端口。

8.3.5.2检查仪器：万用表和兆欧表。

8.3,5.3检查参数：泄漏电阻（接地电阻）。

8.3.5.4检查频率：见表3

8.3.6接地线的定期维护：

8.3.6.1对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决。

8.3.6.2确保接地线有效接地。

8.3,6.3对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。

8.3.6.4对于松动的接地线要重新连接。

8.3.6.5按接地线相关规定进行维护。

9.静电敏感区域的人员培训及防静电规范

9.1各类人员的防静电知识培训要求及职责：有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的

人员都应接受防静电知识培训I,这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和途径之一。

9.1.1所有与ESD有关新员工在接受入厂培训时，必须接受ESD知识的培训。课程包括至少2小时的理论

知识培训和简要讲解本规范内容。培训结束后，由人力资源部组织ESD的考试，合格者才能上岗。

9.1.2在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触（包括静电感应）的作业人员，

必须接受ESD基本知识和防静电工艺规程操作要求的培训。

9.1.3工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，掌握电子工业产品的防静电工艺技术，在生产过

程中指导生产作业人员落实防静电措施，并对他们进行静电防护日常教育。

9.1.4品质部人员、采购人员、仓储人员都必须接受ESD专业知识培训，熟悉各类SSD的静电防护知识，在

工作中按照相关标准流程来执行。

9.1.5负责防静电接地和布生产线的人员，应接受较为专业的ESD知识培训，熟悉防静电接地系统要求掌

握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。

9.1.6生产管理人员应了解ESD基本知识，严格按静电敏感器件的设计文件要求和工艺规程组织生产并开

展。

9.1.7计量检定人员也应了解ESD基本知识，尤其是关于防静电仪器的校验知识，要定期调校防静电检测

器材，保证其安全、有效，每年1次。

9.1.8由于工种变化或者转到新的部门，如从非EPA转移到EPA,从行政部门转到产品开发部门等，需要进

行适应新环境ESD控制要求的再培训。

9.1.9培训记录由各部门汇总人事部门统一管理和存放，存放期限2年。

9.2人体静电防护系统：

9.2.1防静电工作服：

9.2.1.1防静电工作服是指为防止静电荷积累，用防静电织物作为面料而制成的工作服，样式有连体式、

分体式等。防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服装所产生的静电或减少人体静电产生。

9.2.1.2防静电工作服的主要技术指标见表3所示.

9.2.1.3防静电服使用要求：

A.应根据所制造或操作的SSD的静电敏感度的不同，选用不同等级的防静电布料和防静电工作服。

B.进入防静电区域的人员必须按规定穿防静电衣，严禁穿一般合成纤维工作服。

C.防静电衣必须在更衣室更换，不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。

D.禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。

E.不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领，同时将拉链拉好，扣子扣好，如是大褂衣须将扣

子扣满扣好，非防静电衣的长度不能长过静电衣，不准将防静电衣的袖子挽起，不准将手表、手饰等

与工作无关的装饰物品露出防静电衣外。

F.防静电衣，应保持清洁，工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行，采用中性洗涤剂，要避免受到较强

的机械和化学操作的洗涤。

G.防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能检测，只有测试合格方可投入使用，对于检测不过关的防

静电衣应停止使用，更换新的。

H.仓库在收到新的防静电衣时，通知品质管理部ESD检测人员对防静电服的静电电阻进行检测。检测数

量为抽样来料的5%,若抽样数低于5件，则抽全抽。检测方法如后面所示，如果该批防静电衣有一件

测试不合格，则拒收。除上述方法外，被抽测的静电衣还应被洗完全干燥后再做以上测试。如果静电

衣的表面电阻仍在10,〜10%hm之间且经磨擦后的静电电压仍小于等于0.IKv,则为合格，否则为不

合格。

9.2.1.4防静电服的检测：

A.目前使用的防静电大褂衣，主要是测试它的表面电阻这个指标。

B.检测指标：表面电阻

C.检测标准：表面电阻（点与点、袖与袖之间）

D.检测仪器：重锤表面电阻测试仪。

E.防静电性能检测条件：温度18〜28℃,相对湿度30-60%。

9.2.2防静电帽：防静电帽的相关规定请参照防静电服。防静电帽应正确佩,戴，头发不能露出防静电帽外,

防静电帽不能超出防静电衣领外。

9.2.3防静电工作鞋：

9.2.3.1作业人员必须穿防静电鞋，经过人体综合电阻测试合格后，方可进入静电敏感区域工作。

9.2.3.2防静电工作鞋每月应做一次防静电特性抽检，对于检测不过关的防静电工作鞋应停止使用并更换

新的。

9.2.3.3检测指标：体积电阻。

9.2.3.4检测标准:1.0x10s-1.0X109QO

9.2.3.5检测仪器：重锤表面电阻测试仪。

9.2.3.6防静电鞋的使用要求：

A.为使人体有效接地、防止人体和鞋本身带电，并保证操作者因意外接触高电压时不致受到伤害，除应

将车间地面做成防静电地面以外，操作者还应穿用防静电鞋，而且防静电鞋必须与防静电衣配套使用，

同时防静电鞋底应具有使人体与大地构成回路的材料和结构。

B.EPA区域内的工作人员必须穿防静电工鞋，人体通过工鞋到EPA地面的电阻（人体综合电阻）应该满

足7.5x105〜3.5x109Qo人体综合电阻要求员工每日测试并记录。

C.穿防静电鞋时可以穿棉质的袜子或不穿袜子，不得另加鞋垫，特别是绝缘性鞋垫。不得在鞋底粘贴绝

缘胶片或其它涂料，保持鞋底的清洁。

D.需要进入EPA工作的临时或外来人员也应穿着防静电工鞋并经过测试。

9.2.4防静电手套或指套：

9.2.4.1在EPA内，若操作指示要求，操作员工就应戴上防静电手套或指套，防静电手套或指套兼具防腐

蚀的功能。

9.2.4.2坐式操作，必须佩戴腕带。

9.2.4.3防静电手套（分橡胶手套和导电布手套）和指套较脏时应及时更突，导电布手套使用期限为一月，

到有效期后，统一以旧换新有破损统一更换，橡胶手套和指套一次性使用后更换。

9.2.4.4防静电手套或指套的防静电特性检查请参照作业指导书。

9.2.5防静电腕带：

9.2.5.1防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方式，将人体皮肤表面静电泄放掉装置,

由松紧圈和接地组件构成。松紧圈的要求是表面电阻大于等于IC'C,内圈小于等于IO,。.接地

组件必须串接一定数值（0.8*10^1.2*10^）的电阻，以确保操作者意外触及高电压时不致发生

人身伤害。该电阻的选择原则是，一方面应保证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于

5mA,另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放，使皮肤上的静电压小于100V,

一般该电阻阻值取为1（）6。。

9.2.5.2因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强，禁止使用无绳腕带。

9.25.3进入静电敏感区域应将防静电环连接好，与皮肤完全接触，保证防静电环正常有效的工作。腕带

佩带方法：将腕带扎于手腕处，不能松动，手腕感觉四周握紧。保证手腕带内表面与皮肤良好接

触，接地线与EBP连接。

9.2.5.4腕带接地应采用BMC插头、插孔的连接方式，应避免使用鳄鱼夹的接地方式。

9.25.5每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录，只有测试合格，才可以进入静

电敏感区域工作。

9.2.5.6防静电线的有效长度是2.0米，在使用防静电环的过程中，不可过度拉扯而超过它的有效长度不

可折断防静电线，不可冲洗防静电环，拔插时不可通过拉防静电线来完成，不可在防静电环金属

片上加水等，要注意正确使代和妥善保护好防静电环。

9.2.5.7先戴好防静电环，再拿静电敏感器件SSD,先放下静电敏感器件SSD,再拔防静电环。在实际工

作中要注意此顺序，要养成这种习惯。

9.3临时或外来人员的防静电管理：

9.3.1临时（外来）人员，包括参观人员、非本车间联系工作人员、临时施二人员（包括电工、修理工、装饰

工等），进入防静电区域时，必须遵守防静电区域和生产过程的各项防静电要求。

9.3.2临时（外来）人员在参观或作业过程中，不得徒手接触含有静电敏感器件的在制品或成品。

9.3.3临时施工作业在正常生产时间内要避免瞬时高压、瞬时放电的操作（如电焊、启动电机、开关高压电

源等）或事前采取防范措施，或安排在非生产时间内施工作业。

9.3.4防静电区域内需要进行某种维护、修理作业时，维护人员应携带并使用防静电维修包，并遵守防静电

区域的有关规定。

10.静电敏感区域的防静电操作规范

10.1所有的SSD（静电敏感器件）及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行。

10.2进入静电敏感区域的所有电子元器件都应视为SSD来对待。

10.3贮存和运输SSD及其部件时，应妥善进行防静电包装。

10.4拒绝接受未包装在防静电容器里的SSD。

10.5所有用非ESD材料包装的电子元器件都应在指定的静电泄放区域，经过拆包和静电泄放处理后，方可

用防静电中转工具将其转到静电敏感区域。

10.6不允许在静电敏感区域内存放和处理非ESD的材料，不允许在非静电敏感区域内存放和处理未包装的

SSD,不允许非ESD的材料与SSD混放。

10.7进入静电敏感区域的人员，都要必须穿好防静电工作服，必须戴上防静电环，腕带必须与皮肤有良好

接触并将腕带接入可靠的防静电接地系统中，防静电鞋和脚必须与防静电地板或ESD地垫保持良好接

触，防静电帽也必须按规定戴好。

10.8不得随意拆除和改变SSD的封装，运送全过程应在防静电容器中进行，清点也尽可能在原包装内完成

10.9测试SSD时必须遵守加电和去电顺序，严禁带电插拔SSD。

10.10持拿SSD应持其外壳两端，严禁人手触及其引脚或接线片，特别是空悬的输入端。

10.11SSD器件的引脚或接线片，特别是空悬的输入端不可放在金属桌面上，容易引起导通，短路等ESD事

件，从而损坏SSD器件。

10.12装配SSD时，尤其是M0S管等静电敏感器件，应戴上防静电手套或指套。

10.13清洗SSD及其部件时，不得使用塑料刷。

10.14不具备防静电功能的必备工具和用具，应放在防静电桌垫上，并应置于离子风机的作用范围内。

10.15操作时应尽量减少对SSD及其部件的接触次数。

10.16组装电子产品和设备时，如果需要使用电动批，应使用有接地线的低压直流电动批。

10.17禁止重复使用SSD器件包装管来包装SSD器件。

10.18原包装标识为静电敏感的组件其散料必须使用防静电材料盛放和包装。

10.19SSD器件初始包装应在静电敏感区域内完成，并要用防静电材料包装。完成了初始包装的SSD器件，

进行二次包装时可以在非ESD区域内完成，也需要防静电材料。

10.20禁止使用超过有效期的防静电材料来接触或包装SSD器件。

10.21在任何场合均不允许未采取防静电措施的人员接触SSD及其部件。

10.22生产过程中使用的设备必须采取接地等防静电措施。

10.23运输SSD及其部件时，应将其放入防静电包装内进行，必要时应用离子风机来消除在运输过程中产生

的静电。

10.24新布置的生产线或工位等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。

10.25新投入防静电敏感区域的防静电材料，包括主料，辅料和包装材料都应进行ESD认可，只有认可合格

后方可给生产线使用。

10.26新投入防静电敏感区域的防静电工具等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。

11.静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电渊材的防静电规范

11.1基本防静电要求：防静电工作区内的各种设备、工具、工装仪器都应实施静电防护措施，如接触元器件

的部分应使用防静电材料（体积电阻1.0X10^1.0X109Q）,对非防静电材料（表面电阻＞10“Q）应采用

静电中和或涂抹防静电涂液、涂层等其它防护措施进行有效的接地（硬接地软接地）o注意：直接接触ESD

产品的包装材料不建议使用涂层措施。

11.2防静电工作桌的技术要求：防静电工作桌是防静电工作区的主要组成部分，下面所示为标准的防静电

工作台构成图，其中各组成部分的主要技术要求见表3:

接地连接

可选

11.2.1工作京垫、地垫和货架静电皮均应采用防静电材料。静电桌垫、货架静电皮和地垫上任意一点的系

统电阻和表面电阻均为：IXldQ-1X1O9Q,静电泄放至100V以下的时间小于lOSo

11.2.2防静电腕带的泄漏电阻为0.&1。61.2x106。,静电泄放至100V以下的时间小于0.1S。

11.2.3防静电工作椅:防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方（椅垫，靠背或扶手）到工作椅的任意

一个导体脚轮的电阻应该满足1.0Xl（T1.0X109Q（不依赖于相对湿度），工作椅系统接地电阻应

满足1.OXKrLOXlO'Q；工作椅表面的摩擦电压必须小于10CV或高静电电压泻放到100V以

下的时间小于10秒。

11.2.4电离器：在不能有效泄放静电的场合，可采用电离器通过电离空气产生的正负离子，来防止和中和

在元器件上及其它物体上的电荷积累。要求电离器对静电电压的消除能力大于100V/S。电离器的

平衡度要求小于±15V,静电消散时间要求从1000伏下降到100伏的时间要求小于10秒（中档

风量、作用距离IFit）。

11.2.5接地系统：包括限流电阻和连接端子，应连接可靠，并具有一定的载流能力。限流电阻阻值的选择

应保证漏泄电流不超过5mA,下限阻值应为IMQo防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装

置，接地电阻小于1Q。防静电地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共享，另外，非金属工

作台面、地垫其它E5D保护设施均应通过限流电阻接至公共地线，腕带应通过工作台顶面接地点与

地线连接。工作台不能相互串联接地，而应分别接地。

11.3工作桌的电气要求：

静电源静电电位泄放至100V以下的时间小于10S,静电防护操作系统的电阻上限为lOhhm,防静电操

作系统的泄放电流不得超过5mA,为此防静电操作系统的的电阻下限为10%hm，绝缘体上的静电采用

电离器中和加以消除。

11.4工作桌的安装（配置）要求：

11.4.1按照工作桌面的大小选择所需的防静电台垫的尺寸。

11.4.2使用异丙醇彻底清洗桌垫下表面（即黑色的一面）。

11.4.3从防静电桌垫正面压下旋钮接头（可用不锈钢螺钉、螺母、垫片组成的连接点代替），使其穿过桌垫

和箔带（多层箔带时应保证全部穿过），以保证电接触良好。

11.4.4使用异丙醇清洗防静电桌垫上表面和各组成构件。

11.4.5将经过以上准备好的防静电桌垫平整的铺于工作桌面上。

11.4.6按操作人员的作业范围、确定铺放桌垫的面积。

11.4.7将工作桌置于防静电地板上。

11.4.8防静电工作桌的接地，使用横截面不小于2mm2的绞合铜芯软线或电缆把防静电桌垫串联IMQ电阻

后连接到地线配置系统上。

11.4.9全部安装完毕后，对各参数指标进行检验合格后，方可开始使用。

11.5防静电工作台接地要求：

11.5.1防静电工作台的台垫，串联lMQ+\-10%的电阻接地（即软接地）。

11.5.2防静电工作台垫和地垫上任意一点与地线配置系统间的电阻为1.3x106〜1.0xIO,Q

11.5.3接地电缆应采用中间无接头、且具有足够的机械强度。

11.5.4多台防静电工作台的接地线不能相互串接。

11.5.5防静电工作台上的测试仪器、稳压电源、电动工具、和电离器等所有外部零件表面、屏蔽面均应接

地，所有接地点应集中接于一点，就近牢固搭接至地线系统上稳压电源尽可能远离工作台。

1L5.6对载流接地线，应使用同轴电缆来接地和屏蔽。

11.5.7为带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，应选用安全型，以使其配接时工具和

设备的金属外壳能够自动接地且接地脚要首先接地，断电时接地脚最后断开。

11.5.8防静电工作区内的各种设备、仪器、工装（装备）、工具都应实施静电防护措施，例如接触或靠近

静电敏感器件（SSD）的部分应尽可能使用防静电材料（静电耗散可料），对特殊情况下不可避免须

使用非防静电材料（表面电阻RS>1.0X10"Q）时应采用静电中和或定期涂抹抗静电剂、涂层等

其它防护措施，使其电阻值为l.OXlO'〜l.OXlOM。有效地消除、抑制或泄放静电。

11.6防静电工作桌、货架静电皮使用与维护要求：

1L6.1防静电工作桌、货架静电皮在日常使用中，必须确保正常接地状态。

11.6.2防静电工作桌、货架静电皮上不允许存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易产生静电的物品；

图纸、资料等应放入防静电文件袋中。

11.6.3测量工具使用静电电阻测试仪测量桌垫，货架，静电皮腕带和接地电缆等的电阻值。

11.6.4使用异丙醇清洁防静电台垫、货架静电皮。

11.6.5以上条款必须定期进行监测。

1L6.6使用接地电阻测试仪每年检测一次地线配置系统电阻值，必要时，在每批次产品投产前检测一次。

11.7工装的防静电技术要求：

1L7.1橡胶、塑料、化纤、有机玻璃等高分子材料都具有很高的电阻率，极易在使用过程中因接触、分

离、摩擦、碰撞等作用而产生、积累起很强的静电，诸如此类在工程中常用的丁基橡胶、ABS塑

料、PVC塑料、涤纶等材料都属工装慎用材料，对这些材料必须进行防静电处理或用防静电材料

取代。

1L7.2如果接触静电敏感元器件的部分使用了金属材料，则注意一定要将工装进行软接地（例如放在防静

电垫上接地）。

11.7.3如果由于特殊原因，工装上接触静电敏感元器件的部分使用了非防静电材料（表面电阻"OK。）则

应该采用静电中和或涂抹防静电涂液涂层等其它防护措施。

11.8静电敏感区域的防静电器材规范：

11.8.1静电敏感区域的防静电器材规范：《参考ESD符合性验证计划》

11.8.2防静电器材及其使用维护要求：（注:可根据客户的要求来制定测试标准与测试频率）

11.8.2.1防静电台（桌）垫、静电皮：

在操作SSD时，工作台上应铺设以防静电材料制成的防静电台垫，使所有与之接触的SSD的

端子、器具、仪表、人体等都处于同一电位，并通过适当接地使静电得以迅速泄放。一般的

安装方法是，在台垫上装设接地端子，用以连接腕带，同时垫子通过适当电阻接入接地母线。

工作桌垫，货架静电皮可杈据现场工作的环境来定义监测的涉率，在工作桌上操作SSD或PCB

板时，其工作桌垫监测的频度为每月一次，在工作桌垫上操作成品件时（有塑壳或包装袋时）,

其监测的频率为每季度一次，货架静电皮上放置的原包装材料或未拆封材料（有静电防护包装

的材料），其监测的频率为每季度一次。标准参照测试技术指标，测试仪器是万用表、静电电

阻测试仪、静电电压表。

11.8.2.2防静电地垫：

地垫用于工作岗位不是位于防静电地面上的情况。防静电地垫可用防静电橡胶制作，多采用

双层结构上表层为使用面，操作者站在上面进行作业，下表层为地电阻面，与地面直接、紧

密接触。安装地垫时要在其一角装上供连接地线用的爪扣，并用专用连线与接地母线连接起

来。使用地垫时必须附有保护电阻，以防止人体意外触电。防静电垫每6个月检测一次，标

准参照测试技术指标测试仪器是兆欧表或表面电阻测试仪。

11.8.2.3工作椅、工作凳:

为全面控制人体静电，操作者所坐的工作椅必须具有防静电性能。不得使用普通人造革面或塑

料面的椅子，不能用木制椅、凳代替防静电椅。如果椅腿是非金属材料或有绝缘套脚时，应

将防静电椅、髡面接地。如果使用的不是静电椅、髡，应考虑更换或对其进行改造（在其表

面罩上防静电套，并应将防静电椅面接地），每3个月检测一次，标准参照测试技术指标，测

试仪器是兆欧表或静电电阻测试仪。

11.8.2.4防静电包装袋:

在静电敏感器件和印制板的包装和储存中，为避免物料与高绝缘包装袋的摩擦而产生静电、

受到ESD损害，必须使用防静电包装袋。同时，为避免外界强电磁场的干扰与感应，必要时,

应使用具有屏蔽作用的防静电袋。防静电包装袋每6个月检测一次，标准参照测试技术指标,