紫外相机的应用

大家常见的工业相机有面阵相机、线扫相机，彩色相机、黑白相机，CCD相机、CMOS相机等种类。而工业相机的分类，根据芯片形式、芯片材质、输出图像颜色等不同参考系，有多种标准不一的分类方式，如：按照光谱波段范围的不同，可以分为可见光（普通）相机、红外相机、紫外相机等，今天要介绍以及简析应用的，是UV紫外相机：JAI-GO-8105M-5GE-UV。JAI-GO-8105M-5GE-UV

相机展示机器视觉应用将紫外线划分为三个波段，分别是：UVA、UVB、UVC。UVA位于紫外波谱中波长最长的区域，在320-400nm，能被一些灵敏度有限的可见光相机观测到。UVB的波长范围为280-320nm，需要使用灵敏度更高且观测更精细的专业紫外相机观测。最后是UVC，该波段的波长是三者中最短的，为100-280nm。JAI-GO-8105M-5GE-UV采用的是最先进的索尼PregiusS背照（BSI）技术传感器，保证了良好的通光量，帮助其在缩减相机体积的同时，确保相机的量子效率表现。相机在200nm波段的量子效率高于25%，整个UVA和UVB波段的量子效率在40%-50%之间。在保证高量子效率的同时，JAI-GO-8105M-5GE-UV还兼顾小巧可靠、高帧率（5GBASE-TGigEVision–66FPS）、高稳定性等特点。相较于那些价格高昂的科研紫外相机来说，JAI-GO-8105M-5GE-UV无疑是一个很有吸引力的选择。JAI-GO-8105M-5GE-UV量子效率GO-8105M-5GE-UV提供从1000nm到200nm及以下的广泛光谱灵敏度，又兼顾高稳定性高可靠性，确保它可以胜任食品药品、安全印刷、电子缺陷等多维度、多行业的差异化、多样化的检测需求。那么具体到各行各业，在实际的应用场景中，UV相机有着怎样的应用和优势？应用在晶圆制造以及检测方面的应用有：裸晶圆检测、图案晶圆检查、光掩模对准以及晶圆键合等。图案晶圆检查：图案晶圆的检测对象主要是晶圆表面在进行图案光刻时可能产生的缺陷或错误，例如，晶圆表面上图案的缺陷、错位以及特征缺失等。利用晶圆表面的图案和周围材料对紫外线的反射或吸收程度不同的特性，配合算法分析图像，可以更加准确地确定晶圆上缺陷的大小、形状和位置。裸片晶圆图案晶圆检查光掩模对准：光刻机在刻蚀图形时采用类似照片冲印的技术，把掩模版（印制了需要蚀刻图案的光敏记录材料）上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。在此过程中，借由光掩模和晶圆表面未对准而导致对紫外线反射或吸收程度差异的特性，可以使用紫外相机拍摄被照亮的光掩模，然后对高分辨率图像进行分析计算模版对准情况。光刻因此，充分利用上述分析各应用场景的紫外特性，增加或使用紫外光源、紫外相机模组，捕捉晶圆表面的高分辨率图像，使用图像处理算法进行图像分析，可以对各种缺陷进行识别和分类，有效提高污染或者缺陷检出率，综合提升设备可靠性和专业性，精准解决终端制造检测的难点和痛点。除此之外，紫外在其他行业应用的优势也是显而易见的。电子产品和电弧/电晕检查。电弧/电晕本质都是大气压下的空气放电,空气中的电子在不均匀的高强度电场中运动，击穿空气，在放电的过程中会伴随着产生光、声、臭氧、热量以及化学物质等。目前，除了利用超声波检测技术、红外热像检测技术，紫外特性也越来越被重视，利用紫外光学成像系统，不仅可以直接观察电弧/电晕的放电位置，还可以获知电弧/电晕的强度情况，获得电力设备的放电分布与强度等多方位的信息。

a.紫外通道

b.可见光通道医疗领域，真菌或者细菌对紫外线较为敏感，在紫外环境下会发出各种颜色的荧光。紫外线还可凸显皮肤色素（黑色素），使色素更加清晰可见。如白癜风，白癜风色素缺失在紫外环境下发象牙白色荧光，而色素减退皮损则不发光。癣在紫外环境下发出特征性亮橙红色荧光，由犬微孢子菌和头癣小孢霉菌引起的头癣会发出亮绿色荧光。而皮肤假单胞菌Pseudomonas感染（如烧伤患者）早期，则有绿色荧光的特性。利用这些特性搭建紫外检测环境以及系统设备，配合优秀的算法进行查找识别，患者的检查体验或许会变得更加奇妙。凸显色素安全印刷方面，银行票据、护照、彩票和其他类似物品的特殊安全标记，仅在紫外光谱下可见。紫外标识充分利用被检测物在紫外环境中的差异化反应，增加或使用紫外检测系统，能够使目标物体更加明显、更加易查找，使检出缺陷更加突出、更加具有辨识度，从而助力实现最终的检测目标。毫无疑问，UV相机是UV检测系统