SOP-109一厂单晶炉放肩作业指导书_第1页
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浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单晶工序长晶作业工序名称放肩页码第1页共2页文件编号Q03-SOP-109版本A/0生效日期2010年12月1日一、目的 规范放肩，使放肩工序受控。二、范围 一厂JRDL-800单晶炉 的放肩工序三、准备的材料卡尺序号步骤操作方法操作标准图示化使用工具及物料注意事项1给定拉速值将拉速放在一定拉速拉速定位1.4mm/min晶转8r/min埚转6r/min氩气流量20L/min晶转，埚转调节器，拉速器，氩气流量计开关2放肩拉速值降低拉速值.放肩直径至30-35mm时调整拉速值至0.40mm/min拉速器测量仪3降欧陆降温度，欧陆值降放肩温度的40%（一般放肩的欧陆值为50-60）拉速降至0.38-0.4时过10min后开始降温度降温幅度照前几炉欧陆表5二次降温时刻观察放肩形状以确定是否二次降温放肩直径在40-50mm时欧陆表批准审核编制修改履历浙江昱辉阳光能源有限公司作业指导书产品名称太阳能硅单晶工序长晶作业工序名称放肩页码第2页共2页文件编号Q03-SOP-109版本A/0生效日期2010年12月1日序号步骤操作方法操作标准图示化使用工具及物料注意事项6测直径将肩的直径放至预期直径预备转肩6英寸在2-3h内将肩放至147-150内，肩与水平夹角为45度，6.5英寸要求2.5-3.5h至15

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