生产单晶硅制备及其应用工艺技术

01805741.1

单晶硅晶片及单晶硅的制造方法2

01806781.6

绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法3

02111781.0

分离单晶硅埚底料中石英的工艺4

03112137.3

单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法5

02802101.0

直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法6

96120692.6

抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置7

87103486

掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法8

88108387.9

单晶硅的制造方法和设备9

89103289.4

一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构10

90100791.9

单晶硅生产装置11

90102475.9

制造单晶硅的设备12

91102921.4

单晶硅直径测定法及其设备13

91102922.2

单晶硅直径控制法及其设备14

91102924.9

单晶硅生产设备15

91102923.0

单晶硅生产设备16

91102532.4

单晶硅生产设备17

91102343.7

制造单晶硅的装置18

95119376.7

单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法19

96102527.1

单晶硅锭及其制造方法20

97113523.1

提拉单晶硅的装置21

97120661.9

直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针22

97121626.6

双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法23

98100416.4

通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品24

98116827.2

单晶硅－纳米晶立方氮化硼薄膜类P－N结及其制作方法25

97113737.4

低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用26

98121350.2

单晶硅片抗机械力的提高27

98807859.7

生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法28

98807993.3

用于单晶硅生长的非Dash缩颈法29

99801049.9

形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法30

99812088.X

热退火后的低缺陷密度单晶硅31

99811709.9

从低缺陷密度的单晶硅上制备硅－绝缘体结构32

01131737.X

标定单晶硅晶圆晶向的方法33

00812335.7

制备具有均匀热过程的单晶硅的方法34

02111221.5

单晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法35

200710133581.6

单晶硅高效复合切割方法及其切割系统36

200710047776.9

新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池37

200710180002.3

过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻38

200710185125.6

单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池39

200710185126.0

单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池40

200710185123.7

单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池41

200710185124.1

单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池

42

200710157175.3

超声波清洗单晶硅片方法及其装置

43

200710151631.3

使用金属污染及热处理识别单晶硅中的晶体缺陷区的方法

44

200610162854.5

可反射出色域的电极结构以及单晶硅面板与显示装置

45

200580050178.6

单晶硅的生长方法

46

200710018889.6

单晶硅薄膜及其组件的制备方法

47

200710192803.1

单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构

48

200710063644.5

提高单晶硅太阳能电池减反射膜质量的方法

49

200810060274.4

改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的方法及其装置

50

85100591

非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置

51

85100856

制备单晶硅片表面完整层的新途径

52

02281654.2

一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器

53

89213391.0

区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构

54

93200611.6

单晶硅太阳电池微电机风扇凉帽

55

96236137.2

单晶硅片各向异性腐蚀夹具

56

95224595.7

用于制备薄膜的单晶硅辐射式加热器

57

97239008.1

单晶硅炉传动轴用磁性液体密封装置

58

00224737.2

单晶硅衬底双面抛光片

59

00225900.1

单晶硅炉传动轴用磁性流体密封装置

60

01265431.0

低氧碳单晶硅复投料自卸机构

61

200720039053.X

一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽62

200720192576.8

超声波清洗单晶硅片装置63

200410092027.4

一种锌掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻64

200310116749.4

一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻65

200410096670.4

具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备66

03808958.0

单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片67

03810538.1

单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法68

200510023460.7

单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法69

200510023461.1

单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法70

03818379.X

提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法71

200510062693.8

涂覆有金属电镀层的单晶硅基片和垂直磁记录介质72

200510059736.7

直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法以及使用该掺杂剂的单晶硅的制造方法73

03159798.X

单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置74

03132132.1

平板单晶硅表面的改性方法75

01821381.2

用于制备低铁污染单晶硅的装置和方法76

01819895.3

用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法77

02131185.4

一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器78

02804207.7

用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法79

02155236.3

单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法80

200310123043.0

硅片和生产单晶硅的方法81

200410001382.6

单晶硅膜的制造方法

82

200310108926.4

单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜的制备方法

83

200310124860.8

通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品

84

200510112207.9

单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方法

85

200610004057.4

一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法

86

200510068987.1

单晶硅液晶显示面板的驱动系统与方法

87

200510011753.3

单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列制备方法

88

200410042603.4

单晶硅微机械加工的电容式麦克风及其制造方法

89

200510050335.5

用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法

90

200510027350.8

单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法

91

200510027349.5

单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法

92

200510098526.9

纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法

93

200380108637.2

利用坩埚旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法

94

200410088609.5

一种单晶硅抛光片热处理工艺

95

200610024981.9

单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法

96

200610024980.4

单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜的制备方法

97

200610026855.7

单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜的制备方法

98

200610010099.9

对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪

99

200610054245.8

p型单晶硅片的表面处理方法

100

200610054246.2

n型单晶硅片的表面处理方法

101

200610043184.5

单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的制备方法102

200610043185.X

单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器的制备方法103

200610106431.1

掺杂单晶硅硅化电熔丝及其形成方法104

200610043186.4

单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的制备方法105

200610043187.9

单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法106

200610099146.1

单晶硅锭和硅片、及其生长装置和方法107

200510092880.0

单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器108

200510092319.2

反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置109

200610048750.1

一种在单晶硅基底表面直接制备Cr-Si硅化物电阻薄膜的方法110

200510094904.6

单晶硅切方机构111

200510111453.2

制作单晶硅太阳电池绒面的方法112

200510111455.1

单晶硅太阳电池绒面的制备方法113

200510136041.4

单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺114

200610149906.5

生产单晶硅的方法115

200610105331.7

基于霍夫变换的直拉单晶硅棒直径的测量方法116

200610105332.1

直拉法单晶硅生长过程中的熔体液面位置检测方法117

200710037043.7

在单晶硅片表面制备碳纳米管复合薄膜的方法118

200710037045.6

单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜的制备方法119

200710017915.3

单晶硅拉制炉用炭/炭保温罩的制备方法120

200610080114.7

反射式单晶硅液晶面板121

200580006256.2

用于单晶硅连续生长的系统122

200710040549.3

单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥的方法和它的一体化处理机123

200710023967.1

一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽124

200610028783.X

形成纳米单晶硅的方法和非挥发性半导体存储器制造方法125

200610029378.X

单晶硅切割废液的处理回收方法126

200710106433.5

单晶硅的培育工艺中溶液的液面位置监视装置127

200810101680.0

单晶硅横向微型MEMS皮拉尼计及其制备方法128

200810060641.0

一种低弯曲薄片单晶硅太阳电池烧结工艺129

200810083479.4

单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池130

200810023591.9

单晶硅或炭基单晶硅电极电解氧化处理有机化工污水方法131

200810011318.4

单晶硅片水基清洗剂132

200710064876.2

一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关133

200710064879.6

一种静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关134

200810090977.1

单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池135

200810111608.6

单晶硅炉传动装置136

200810020206.5

单晶硅太阳能电池表面处理用的制绒剂及其制造方法137

200810040645.2

混合图形化单晶硅的绝缘层上锗结构、方法及应用138

200810079251.8

单晶硅制备炉石英埚增容加料装置139

200810042332.0

磁场下制备单晶硅太阳能电池绒面的方法140

200680051077.5

单晶硅晶片的制造方法141

200680051311.4

单晶硅晶片的制造方法142

200810145905.2

单晶硅的提拉方法143

200810213369.5

超净工作台及单晶硅用原料的制造方法144

200810072970.7

单晶硅正温度系数片式热敏电阻器及其制备方法145

200810072972.6

金和镍掺杂单晶硅片式负温度系数热敏电阻及其制备方法146

200810171923.8

一种掺镓单晶硅太阳电池及其制造方法147

200810122228.2

一种基于单晶硅片检测红外光谱仪稳定性的方法148

200810170672.1

一种单晶硅片制绒的方法149

200810234626.3

一种单晶硅加料装置150

200810200811.0

一种在单晶硅片表面制备ZrO2复合薄膜的方法151

200810122243.7

一种制备单晶硅绒面的碱腐蚀溶液及方法152

200810163097.2

单晶硅太阳电池的制绒方法153

200810163098.7

单晶硅太阳电池绒面的制备方法154

200810162544.2

一种单晶硅棒的生产工艺及设备155

200810240275.7

基于单晶硅PN结的非制冷红外探测器阵列及其制备方法156

200810220602.2

透光单晶硅太阳电池的制造方法157

200780017871.2

具有单晶硅电极的电容性微机电传感器158

200780020983.3

单晶硅片的COP产生原因的判定方法159

200780021544.4

单晶硅片的COP评价方法160

200810183113.4

太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法161

200910001026.7

单晶硅薄膜太阳电池162

200780024275.7

单晶硅的制造系统及使用该系统的单晶硅的制造方法163

200910009001.1

单晶硅衬底多结太阳电池164

200910095528.0

一种太阳能级单晶硅棒的抛光处理方法165

200910024890.9

一种制造掺镓单晶硅太阳能电池的磷扩散方法166

200910048384.3

一种机床刀具用单晶硅片表面涂层Si3N4复合薄膜的方法167

200910097597.5

一种在单晶硅太阳能电池表面上蚀刻绒面的方法168

200910026142.4

利用含杂质硅材料制备高纯度单晶硅棒的方法及其装置169

200910048383.9

一种在单晶硅片表面制备Si3N4复合薄膜的方法170

200780044557.3

具有逆碳分布的低缺陷碳替代单晶硅层171

200780037848.X

非易失性电荷俘获存储器件的单晶硅制造工艺172

200910059272.8

一种基于摩擦诱导构造单晶硅表面纳米凸起结构的加工方法173

200910049740.3

单晶硅基片表面自组装磺酸基硅烷-二氧化钛复合膜的制备方法174

200910097219.7

单晶硅掺杂剂的生产工艺175

200910008161.4

单晶硅半导体晶片及其制造方法176

200910085898.6

一种用于单晶硅绒面制备的腐蚀液及单晶硅绒面的制备方法177

200910145260.7

单晶硅薄膜组件的制备方法178

200810220041.6

一种激光精密加工单晶硅的方法179

200910099495.7

一种单晶硅片的清洗方法180

200810123639.3

太阳能级φ6英吋无位错单晶硅的制备方法181

200910099989.5

掺氮的定向凝固铸造单晶硅及其制备方法182

200910099991.2

掺锗的定向凝固铸造单晶硅及其制备方法183

200910099990.8

在氮气下铸造氮浓度可控的掺氮单晶硅的方法184

200910099992.7

在氮气下融化多晶硅制备掺氮铸造单晶硅的方法185

200910088732.X

一种绒面单晶硅太阳能电池及其制备方法和制备系统186

200910181549.4

一种降低绒面单晶硅片表面反射率的方法187

200810124161.6

太阳能单晶硅切片工艺188

200810126810.6

单晶硅液晶元件及其与线路板的组装结构189

200910181550.7

一种用于单晶硅绒面制备的碳酸盐和苛性碱的混合溶液190

200910139507.4

二氧化硅玻璃坩埚和用二氧化硅玻璃坩埚提拉单晶硅的方法191

200880006135.1

单晶硅芯片的制造方法192

200910091826.2

一种制备单晶硅绒面的腐蚀液及方法193

200910091827.7

一种制备单晶硅绒面的方法194

200910183007.0

制备单晶硅绒面的方法195

200910152753.3

一种低表面反射率的单晶硅太阳电池绒面制作工艺196

200910182714.8

一种改进型单晶硅棒切断机197

200910182715.2

一种改进的用于单晶硅棒的夹持机构198

200910182701.0

一种单晶硅棒切方工艺199

200910196144.8

在单晶硅基片表面制备Co3O4复合薄膜的方法及用途200

200910187632.2

用于单晶硅片化学机械抛光的抛光液201

200910172897.5

单晶硅半导体晶片及其制造方法202

200910197094.5

单晶硅片表面磷酸基硅烷-CdSe复合薄膜的制备方法203

200910035633.5

一种用于单晶硅绒面制备的正磷酸盐和苛性碱的混合溶液204

200880022738.0

重掺杂的单晶硅衬底中的氧沉淀的抑制205

201010186977.9

非晶硅/单晶硅异质结太阳能电池铝背电场制备方法206

201010205614.5

嵌入式单晶硅腔体的六边形硅膜压阻式压力传感器及方法207

200910057250.8

形成交替的P型和N型单晶硅结构的方法208

200910057253.1

提升SONOS数据保持能力的单晶硅无损伤隧穿窗口集成方法209

200910027873.0

一种大直径低氧碳太阳能单晶硅片的制备方法210

201010259895.2

光伏用单晶硅的掺杂方法211

200910099022.7

一种单晶硅太阳能电池的绒面制作方法212

201010232677.X

单晶硅棒线开方夹具213

200910035634.X

一种用于单晶硅绒面制备的添加剂214

200910100178.2

CZ单晶硅生产中吊肩后掺硼磷母合金掺杂方法215

200910182605.6

单晶硅太阳电池绒面上pn结杂质浓度分布的测量方法216

200910311756.7

一种多工位单晶硅方形棒平面磨削装置217

200910309453.1

低纯度单晶硅太阳能电池的制造方法218

200910309461.6

一种低纯度单晶硅太阳能电池的制造方法219

200910157192.6

一种用于制备单晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法220

200810107257.1

高纯多晶硅棒作为供料棒在单晶硅区域熔炼法中的应用以及制备方法221

200910175320.X

有效控制单晶硅中碳含量的方法222

200810046405.3

指状交叉背电极单晶硅太阳电池在聚光应用中的封装结构223

200810204590.4

一种单晶硅的磨面滚圆磨削方法224

200810239837.6

用于单晶硅生长过程控制的智能PID控制方法及其系统225

200910197123.8

一种在单晶硅片表面制备Co3O4复合薄膜的方法226

200810240302.0

一种太阳能电池单晶硅片的界面钝化方法227

200910263714.0

具有单晶硅在硅化物上的集成电路组件及其制造方法228

200910096021.7

单晶硅埚底料中石英的分离工艺229

201010104303.X

掺锗重掺磷直拉单晶硅片的内吸杂结构制备工艺230

201010114326.9

太阳能电池用掺镓铟单晶硅材料及其制备方法231

201010138362.9

一步法制备单晶硅太阳能电池绒面的方法232

201010161287.8

单晶硅添加剂制绒液233

200910080359.3

由硅矿产出单晶硅或多晶硅连续纯化反应处理装置及方法234

200910127197.4

用于制造单晶硅片绒面的加热装置和方法235

201010187541.1

一种多晶硅或单晶硅用坩埚涂层及其制备方法236

201010177182.1

表面具有超疏水性纳米硅线阵列的单晶硅片及其制备方法237

201010195095.9

单晶硅片碱性制绒液的添加剂及使用方法238

201010195103.X

单晶硅片制绒液的添加剂及使用方法239

201010194517.0

一种太阳能电池单晶硅片的制造方法240

201010176628.9

一种次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼241

201010198142.5

一种准单晶硅的铸锭方法242

200910044001.5

改善单晶硅太阳能电池减反射膜特性的方法243

201010259098.4

一种单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构244

201010280712.5

由单晶硅和多晶硅切割废料中回收硅和碳化硅的方法245

201010500429.9

单晶硅炉电源用滤波补偿装置246

201010284947.1

一种用于生长铸造单晶硅的坩埚及衬底片247

201010273954.1

一种降低单晶硅位错的方法248

200910057624.6

通过对称折叠梁弹簧解耦的单晶硅MEMS陀螺仪249

201010235669.0

台阶式顶层单晶硅的绝缘体上硅衬底硅片的加工方法250

201010226437.9

单晶硅太阳能电池表面微区可控修饰工艺251

201010526866.8

一种单晶硅片制绒液及其用于制绒的方法252

200980107029.7

单晶硅拉晶用石英坩埚及其制造方法253

201010520649.8

单晶硅腐蚀剂的制备方法、对凸角硅进行腐蚀的方法254

201010238046.9

单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液255

201010540745.9

单晶硅太阳能电池片制绒液256

03231427.2

双面光照单晶硅太阳电池257

200520076510.3

单晶硅切方装置258

200520113172.6

反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置259

200620002303.8

单晶硅棒切方滚磨机床260

200620003851.2

直拉法单晶硅生产用石英坩埚261

200520110444.7

单晶硅棒切方滚磨机床262

200520043749.0

N型基体单晶硅太阳电池263

200620117810.6

区熔单晶硅炉264

200620117812.5

区熔单晶硅生长炉265

200620117926.X

单晶硅炉控制装置266

200620117811.0

软轴单晶硅炉267

200620047100.0

丝网印刷铝背发射结N型单晶硅太阳电池268

200620134195.X

一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置269

200820031913.X

单晶硅取锭运锭车270

200820085030.7

改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的装置271

200820080642.7

软轴单晶硅炉272

200820080659.2

一种单晶硅炉273

200820036553.2

大面积超薄型高效率单晶硅双面照光太阳电池274

200820109321.5

一种降低单晶硅炉能耗的装置275

200820109320.0

一种提高单晶硅炉晶体生长速度的装置276

200820109366.2

单晶硅晶体切片厚度控制器277

200820186444.9

单晶硅加料装置278

200820166095.4

单晶硅加料器279

20082018