电子工厂化学品系统工程技术规范

PAGEUDC中华人民共和国国家标准PGBXXXXX—201X电子工厂化学品系统工程技术规范TechnicalcodeforChemicalSystemofElectronicFactory（征求意见稿）20ⅹⅹ年ⅹⅹ月发布20ⅹⅹ年ⅹⅹ月实施________________________________________________________________________中华人民共和国住房和城乡建设部联合发中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中华人民共和国国家标准电子工厂化学品系统工程技术规范TechnicalcodeforChemicalSystemofElectronicFactoryGB50XXX-20XX主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：201ⅹ年ⅹⅹ月ⅹⅹ日中国计划出版社20ⅹⅹ年北京PAGE前言本规范是根据原建设部《关于印发〈2007年工程建设标准规范制定、修订计划〉的通知（第二批）》建标[2007]126号文的要求，由电子工程标准定额站组织信息产业电子第十一研究院科技工程股份有限公司会同有关单位共同编制完成。在规范编制过程中，编写组根据我国集成电路工厂、平板显示器件工厂和太阳能电池工厂的设计、建造和运行的实际情况，同时考虑工厂目前的现状，对国外工程公司也进行了调查研究，广泛征求了全国有关单位与个人意见，并反复修改，经审查定稿。本规范共分7章和？个附录。其主要内容有：总则、术语、化学品配送系统、化学品回收系统、化学品监控与安全系统、相关专业设计、安装工程施工及验收。本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。本规范由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，工业和信息化部负责日常管理，信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在执行过程中有意见和建议请寄至信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司《电子工厂化学品技术规范》管理组（地址：四川成都市双林路251号，邮编：610021，传真，以便今后修订时参考。本规范主编单位、参编单位、参加单位、主要起草人和主要审查人：主编单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司参编单位：参加单位：主要起草人：主要审查人：PAGE3目录TOC\o"1-2"\h\z\u1总则 12术语、缩略语 22.1术语 22.2缩略语 43化学品配送系统 63.1一般规定 63.2设备要求 63.3管道设计 93.4管材与附件 93.5管道标识 104化学品回收系统 114.1一般规定 114.2设备要求 114.3管道设计 124.4管材与附件 125化学品监控及安全系统 135.1一般规定 135.2设备要求 135.3系统要求 145.4仪表及配件 166相关专业设计 176.1一般规定 176.2建筑结构 176.3电气与仪表控制 186.4给水排水及消防 196.5采暖通风与空气调节 207工程施工及验收 227.1一般规定 227.2设备、材料进场验收 227.3设备安装 247.4化学品配送管安装 257.5输送酸碱类管道内管穿设安装 277.6输送酸碱类管道内管焊接安装 307.7输送有机类管道安装 317.8废液管道施工 337.9管道设备标识 337.10系统检测 337.11改建工程的施工 367.12工程验收 37

ContentsTOC\o"1-2"\h\z\u1General……………12Terminology,Abbreviation………………………22.1Terminology……………………22.2Abbreviation…………………43ChemicalDistributionSystem……………………63.1GeneralRegulation…………63.2EquipmentRequirement……………………63.3PipingDesign………………93.4PipingMaterials&Fittings…………………93.5PipingIdentification………………………104ChemicalReclaimingSystem……………………114.1GeneralRegulation……………114.2EquipmentRequirement…………………114.3PipingDesign……………124.4PipingMaterials&Fittings…………………125ChemicalDetection&SafetySystem………135.1GeneralRegulation…………………135.2EquipmentRequirement……………135.3SystemRequirement………………145.4Instrumentation&Fittings……………166DesignofRelatingDisciplines……………176.1GeneralRegulation…………176.2Architecture&Structure…………………176.3Electrical&InstrumentControl……………186.4Plumbing&FireProtection……………196.5HVAC……………………207EngineeringConstruction&Acceptance…………227.1GeneralRegulation……………227.2SiteInspection&AcceptanceofEquipment&Materials………………227.3EquipmentInstallation………………………247.4PipingInstallationofChemicalDistributionSystem…………257.5Penetration&InstallatinofInnerPipingofAcid/AlkalineContainingPiping………………277.6Welding&InstallationofInnerPipingofAcid/AlkalineContainingPiping………………307.7InstallationofSolventContainingPiping…………………317.8InstallationofWasteLiquidContainingPiping……………337.9PipingEquipmentIdentification…………337.10SystemInspection&Testing………………337.11ConstructionofRenovationEngineering……………………367.12EngineeringInspection&Acceptance……………37PAGE391总则1.0．1为使电子工厂针对大宗化学品供应系统、化学品稀释系统及废化学品回收系统之设计、工程施工及验收正确贯彻国家工程建设的政策方针，质量可靠、确保安全、节约能源、保护环境、技术成熟、经济适用，制定本规范。1.0.2本规范适用于电子信息制造业中集成电路、平板显示器件和太阳能电池等工厂大宗化学品供应系统、化学品稀释系统、研磨液稀释供应系统及废化学品回收系统新建、改建、扩建工程的设计、工程施工及验收。1.0.3本规范不适用于集成电路、平板显示器件和太阳能电池等工厂中的化学品提纯、清洗设备、废水处理、纯水、废气处理等工艺系统的设计、工程施工及验收。1.0.4电子工厂化学品系统技术规范除应执行本规范规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

2术语、缩略语2.1术语2.1.1大宗化学品供应系统Bulkchemicalsupplysystem电子工厂中大量使用的化学品的管道系统与设备的统称2.1.2大宗化学品稀释系统Bulkchemicaldilutionsystem电子工厂中大量使用的稀释化学品管道系统与设备的统称。2.1.3大宗研磨液稀释供应系统Bulkslurrydilutionwithsupplysystem集成电路工厂中大量使用的稀释用研磨液管道系统与设备的统称。2.1.4大宗废化学品回收系统Bulkwastechemicalcollectionsystem电子工厂中用于回收生产线大量用过化学品的管道与设备的统称。2.1.5化学品槽车Chemicallorry电子工厂大用量化学品，采用1m3、1.2m3、1.5m2.1.6桶装化学品Chemicalcontainer电子工厂用量少，采用20L、0.2m3、1m3桶装供应即可满足用量需求的化学品2.1.7化学品槽车输送单元Chemicallorryunit电子工厂中用来连接化学品槽车及输送化学品原液单元的统称。2.1.8化学品输送单元Chemicaltransferunit电子工厂中输送桶装化学品原液设备的统称。2.1.9化学品供应单元Chemicalsupplyunit电子工厂中供应纯化后化学品到生产线设备的统称。2.1.10化学品稀释单元Chemicaldilutionunit电子工厂中作为稀释两种或以上化学品设备的统称。2.1.11化学品加压单元Chemicalboosterunit电子工厂中针对供应距离长，供应流量大及供应压力高的需求，在靠近生产设备周边安装提高流量及压力设备的统称。2.1.12研磨液输送单元Slurrytransferunit集成电路工厂输送桶装研磨液原液设备的统称。2.1.13研磨液稀释单元Slurrydilutionunit集成电路工厂中做为稀释两种或以上研磨液设备的统称。2.1.14研磨液供应单元Slurrysupplyunit集成电路工厂中供应纯化后研磨液到生产线设备的统称。2.1.15废化学品槽车回收单元WasteChemicallorryunit电子工厂中用来连接废化学品回收槽车的设备的统称。2.1.16废化学品回收单元Wastechemicalcollectionunit电子工厂中回收少量废化学品设备的统称。2.1.17化学品储存罐Chemicalstoragetank电子工厂中储存大用量化学品容器的统称。2.1.18化学品供应罐Chemicalsupplytank电子工厂中供应化学品到生产设备容器的统称。2.1.19化学品稀释罐Chemicaldilutiontank电子工厂中进行化学品稀释容器的统称。2.1.20化学品量测罐Chemicalmeasuringtank电子工厂中对稀释系统要求精度较高，需要做前段化学品添加精度量测容器的统称。2.1.21化学品压力罐Chemicalpressuretank电子工厂中采用压力供应化学品到生产设备容器的统称。2.1.22废化学品回收罐Wastechemicalcollectiontank电子工厂中用来回收生产设备使用过的化学品容器的统称。2.1.23废化学品回收中继罐Wastechemicalrelaytank电子工厂中针对回收距离长，在接近生产设备周边安装中继装置做前段的回收，然后再输送到后段废化学品回收罐的统称。2.1.24供应阀箱Valvemanifoldbox(VMB)指化学品供应管道可经由供应阀箱，同时供应两台或以上的生产设备，可提高生产线的产能。依照化学品的特性供应阀箱可区分塑料及不锈钢材质。2.0.25分岐阀箱TeeBox(TB)指当化学品供应管道具有两个或以上的供应阀箱，可经由分岐阀箱连接到各个供应阀箱。依照化学品的特性分岐阀箱可区分塑料及不锈钢材质。2.1.26扩充阀箱FutureTeeBox(FTB)电子工厂须依照产能做生产线的扩充，在化学品供应管道上安装扩充阀箱，可随时扩充供应管道及供应阀箱，除可以达到产能的要求外，可以做到扩建时不需要停产。2.1.27取样阀箱SamplingBox(SB)化学品供应管道上安装取样点，定期做质量检查，确保化学品供应的质量符合要求。2.1.28泄漏侦测器Leakagedetector为确保化学品单元、化学品桶槽及化学品阀箱等，在发生化学品泄漏时，可立即侦测并做出符合安全性的停机动作。2.1.29四氟乙烯共聚物管PFAtube高机械强度、钢性好、硬度高、耐磨、耐高温、抗蠕变、抗黏性、可焊接管材，一般用作酸碱无机化学品或部分有机腐蚀性化学品的输送管道。2.1.30透明聚氯乙烯管Clear-PVCpipe抗腐蚀、防静电管材，安装在PFA或PTFE管外部，主要用作保护PFA或PTFE管不受损坏。2.1.31聚丙烯管PPpipe耐腐蚀、抗冲击、可焊接管材，一般用作化学品系统的废液排放管道。2.1.32聚伸苯基硫管PPSpipe高机械强度、钢性好、硬度高、耐磨、耐高温、低蠕变管材。2.1.33氟素树酯(2F)管PVDFpipe高机械强度、钢性好、硬度高、耐磨、耐高温、抗蠕、抗黏、可焊接管材。2.1.34高洁净聚氯乙烯管CleanPVCpipe抗腐蚀，高密度洁净处理，抗静电管材。一般用作化学品系统的纯水管道。2.1.35扩口接头适用于PFA管与管件的连接方式，采用热扩或者冷扩两种方式将管口扩大，配上专用接口件，再用油拧锁紧。2.1.36入珠接头适用于PFA管与管件的连接方式，采用专门工具将固定珠植入管路，配上专用接口件，再用油拧锁紧。2.1.37化学品监测系统用来对大宗化学品供应系统，大宗化学品稀释系统，大宗研磨液稀释供应系统或大宗废化学品回收系统实现监控、显示、报警、数据收集等功能的远程监控系统。2.2缩略语2.2.1P2.2.2Cl－PVC——透明聚氯乙烯2.2.3PFA——四氟乙烯2.2.4PP 2.2.5PTFE 2.2.6CPVC 氯化聚氯乙烯2.2.7UPVC 复合聚氯乙烯2.2.8PE 聚乙烯2.2.9PPS 聚伸苯基硫2.2.10PVDF 氟素树酯2.2.11PLC 可编逻辑控制器2.2.12SCADA 数据监控与采集系统2.2.13HUB 集线器2.2.14SUS 奥氏体不锈钢。

3化学品配送系统3.1一般规定化学品柜应根据工艺要求合理进行区划，有机溶剂间应单独设置房间，酸性化学品与碱性化学品房间宜分开设置。化学品管道的布置应根据阀门箱的位置确定管道走向，管道长度应尽量短且直。洁净厂房内化学品的储存、输送方式，应根据产品生产工艺和化学品的品质、数量、物理化学特性等确定。化学品配送系统设计除符合本规范外，还应符合国标《危险货物分类和品名编号》GB6944、《危险货物品名表》GB12268、《常用危险化学品分类及标志》GB13690、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058和《工业金属管道设计规范》GB50316的有关规定。3.2设备要求3.2.1化学品系统的填充或补充单元应符合下列规定：化学品补充单元应安置于箱柜内；补充单元宜附可确认化学品种类等信息的条形码读码机；补充单元应设纯水枪和氮气枪，清洗和吹扫槽车快速接头；200升补充单元应设纯水枪和氮气枪，气枪吹扫200升化学桶快速接头；纯水枪和气枪也用于化学品泄漏时清洗；有机化学品补充单元不设纯水枪；补充单元的快速接头型号、尺寸等方面，不同化学品必须各有差异，不能相同。有机化学品补充单元应设防静电接地线，化学品补充时，静电接地线必须与200升化学桶或槽车连接；7槽车的化学品系统可设计200升化学桶补充单元作为备用系统，并应符合下列规定：1）200升化学桶的补充单元应有滚筒输送台，方便化学桶的移动2）200升化学桶的补充单元箱柜顶部宜装设高效过滤器，并与单元门有“一开门，高效过滤器即自动运行”的联动，3）补充单元箱底部应设泄漏传感器，当监控系统发现有泄漏警报时应能关闭相应的化学品供应系统。有机化学品补充单元应有热感应及火焰传感器，当传感器动作时应能自动启动CO2灭火，同时关闭排气风阀。4）补充单元箱门应设安全连锁装置，当非法打开时，监控系统应有警报。5）补充单元箱应提供适当排气连接口，连接相应的排气处理系统。6）补充单元采用泵输送时，每一类泵宜采用二组并联设计(其中一组为备用)，宜在管路系统设计缓冲罐；采用氮气输送时，两个压力桶互为备份；7）补充单元应设置紧急停止按钮，当使用紧急停止按钮时应同时有警报声及红光灯闪烁。3.2.2供应、稀释单元的设置应符合下列规定：化学品供应、稀释单元应安置于箱柜内；为避免污染，所有桶槽或容器需有氮封；3单元箱底部应设泄漏传感器，当监控系统发现有泄漏警报时应能关闭相应的化学品供应系统；4单元箱门应设安全连锁装置，当非法打开时，监控系统有警报；5单元箱应设置排气连接口，连接相应的排气处理系统；6采用泵输送时，每一类泵宜采用二组并联设计(其中一组为备用)；采用氮气输送时，两个压力桶互为备份，同时化学品流量及压力应符合各使用点需求。化学品输送应若采氮气压送，须设氮气压力调节阀、压力监控及紧急切断装置；化学品输送单元应设预过滤器和终过滤器；稀释单元应设双电导度计测量确认稀释质量，双电导度计应为温度积分式；10稀释单元应提供内循环，以确保稀释桶及供应桶内浓度相同。11化学品供应单元的出口端应设有自动和手动阀，自动阀应连接监控系统，根据工艺设备的需求而开关，并设有联动的紧急按钮装置。12系统应设过流量计，当系统流量过大或不合理时，系统应自动停机并符合下列要求：1）2）有机化学品供应单元应有热感应及火焰传感器，当传感器动作时应能自动启动CO2灭火，同时关闭排气风阀。3.2.3化学桶槽的设置应符合下列规定：化学桶槽的大小应考虑各化学品的日均消耗量，日用罐需具备1天左右的消耗量，接收罐大小则应按化学品槽车的容量来确定；化学桶槽需有氮封；化学桶槽根据体积大小，应设有检修口、检修用不锈钢爬梯和护笼等；采用氮气输送时，化学桶槽则为压力容器，应设爆破膜、安全阀等泄压装置；化学桶槽应设置液位计，具体数值可在监控界面上查看，并设有高高、高、低、低低液位报警。同时需设计可目视的U型液位计，并设有高高高、低低低液位报警；化学品桶槽外部明显处应标明桶槽编号及内含化学品名称，字体高度不小于40cm;化学品桶槽预留必要的管路出入口，并设排放口及排放阀。3.2.4阀门箱的设置应符合下列规定：阀门箱设计宜为4+1模式（4根支管，1根备用）或支管数量按工艺要求确定，但除现有供应量外，宜预留25%的管接头，以供扩充用;阀门箱每一路支管包含手动阀及N2冲洗阀或自动阀、手动阀及N2冲洗阀。阀门箱底部应设泄漏传感器，当监控系统发现有泄漏警报时应能关闭相应的化学品供应系统。阀门箱底部应设泄漏或维修用的排液阀。阀门箱应设取样阀口。所有的阀门箱应设置排气连接口，连接相应的排气处理系统。阀门箱盖宜采用易开式弹簧扣环设计，阀箱至少能承受1psig的压力，所有的接缝应具水密性。3.2.5三通箱的设置应符合下列规定：三通箱底部应设泄漏传感器，当监控系统发现有泄漏警报时应能关闭相应的化学品供应系统。三通箱底部应设泄漏或维修用的排液阀。三通箱盖宜采用易开式弹簧扣环设计，阀箱至少能承受1psig压力，所有的接缝应具水密性。3.3管道设计3.3.1化学品配送系统管道布置应满足便于生产操作、安装及维修的要求，管道宜采用架空铺设。3.3.2化学品管道设计原则流向为从下往上，即使用点为最高点。如化学品配送系统与使用设备为同一高度，管路存在最高点死角，则应配备除气泡系统。3.3.3酸碱类、研磨液类化学品管路内管采用PFA或PTFE材质，管路间无焊接点。任何存在转接头，三通，大小头，焊接点等连接点的地方都应安装阀门箱，并安装防泄漏侦测器.3.3.4酸碱类、研磨液类化学品管道需要做双套处理，外套管为透明材质，方便观察。3.3.5研磨液类化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用机台的距离，并尽量减少弯头数量。3.3.6溶剂类化学品管道采用不锈钢材质，管路之间宜采用内管无斑痕的对接氩弧自动焊接。3.3.7溶剂类化学品管道任何存在非焊接连接点的地方都需要安装阀箱，并安装防泄漏侦测器.3.3.8管道穿过墙壁或楼板时，应敷设在套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管间，应采用不燃材料填塞。3.3.9管道与阀门、设备连接宜采用其配制的阀门、设备要求的连结方式（法兰、双卡套、扩口、入珠、焊接等）连结。3.3.10供应泵应考虑到化学品的特性以及洁净度要求进行选型。3.4管材与附件化学桶槽采用不与化学品起反应的材质制成。FRP桶内衬PTFE或PFA，PE桶内衬PTFE或PFA，SUS桶内衬PTFE或PFA。3.4.2酸碱类管路中各式的阀封，均采用PFA或PTFE材质，有机类管路中各式的阀封应使用不与有机化学品反应的材质。酸碱类补充箱材质应采用PP、C-PVC制成，有机类用SUS316L制成(防爆)。过滤器应为标准品，酸、碱的膜片材质应采用PFA或PTFE。3.4.4酸、碱的主供应管道均采内管为25A的PFA450，外管为50A的C-PVC双套管，隔膜阀采PFA450。非腐蚀性有机化学品的主供应管道采用SUS316LEP管，腐蚀性有机(醋酸)的主供应管路采SUS管内衬PFA450，隔膜阀采SUS316L。表3.4.1化学品配送系统的材质选用表化学品性质酸碱化学品有机化学品补充单元外壳PP或PVC不锈钢供应、稀释单元外壳PP或PVC不锈钢阀门箱和三通箱外壳PP或PVC不锈钢大型储罐内衬PFA或PTFE的SUS304储罐内衬PFA或PTFE的碳钢储罐内衬PFA或PTFE的FRP储罐内衬PFA或PTFE的SUS304储罐内衬PFA或PTFE的碳钢储罐小型储罐内衬PFA或PTFE的PE储罐内衬PFA或PTFE的SUS304储罐内衬PFA或PTFE的SUS304储罐内衬PFA或PTFE的碳钢储罐管路材质PFA＋透明PVC双套管PFA＋SUS304双套管或EP管阀门PFA（外壳）/PTFE（膜片）SUS316EP（外壳）/PTFE（膜片）过滤器PFA（外壳）/PTFE或PE（滤芯）SUS316（外壳）/PFTE或PE（滤芯）接头PFA/PTFE/PVDFSUS3163.5管道标识3.5.1化学品管道标识形状为长方形，底色为白色，上面用不同颜色箭头表示化学品种类与流向。箭头中央采用黑色宋体字写明其中文名称以及分子式。3.5.2酸碱类化学品宜采用白底黄色箭头；研磨液类化学品宜采用白底黄色箭头；溶剂类化学品宜采用白底红色箭头。3.5.3管径等于小于2"的管道应每2m一个标识，管径大于2"的管道应每4m一个标识，且应依现场状况标于管线的一侧或两侧；设备密集区域内任两个设备间小于2m的管线至少应有一个标识；组装箱、转弯及离墙30cm处应设标识。3.5.4当管道高度低于1.6米时，标识位置应设于管线外侧显而易见的位置。3.5.5管道标识还应符合现行国家标准《化学品安全标签编写规定》GB15258、《常用危险化学品的分类和标识》GB13690及《工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识》GB7231的有关规定。

4化学品回收系统4.1一般规定化学品回收系统应根据工艺排放物的性质确定。严禁将发生剧烈化学反应的两种或多种物质合并一个系统进行回收。4.1.2化学品回收宜采用集中输送系统，通过管道送至工厂废水处理中心进行处理。4.1.3化学品回收系统设计除符合本规范外，还应符合3.1.4条所列国标的相关规定。4.1.4化学品回收系统的管道标识应按照本规范3.5节的规定执行。4.2设备要求4.2.1洁净厂房内废液回收系统的设置应符合下列规定：收集桶应为一用一备，根据液位指示能自动切换；收集桶应设液位计，并有高液位指示、报警功能；当易燃性废液容器置于柜体或其他密闭空间中时，应设置CO2气体灭火系统；应设置泄漏传感器，泄漏发生时进行互锁并报警；收集桶周围应设防止泄漏的第二道保护设计；收集桶周围应设有备用的空桶、推车等；收集系统应设置联动的紧急按钮装置。化学品回收室的废液集中回收系统的设置应符合下列规定：有机化学品回收系统应与无机化学品回收系统分区域放置；回收桶槽应能储存一周左右的废液量；回收桶槽应为氮封，有机回收系统应设通向屋顶大气的排气管；回收桶槽根据体积大小，应设有检修口、检修用不锈钢爬梯和护笼等；回收桶槽应有压力式液位计，具体数值可在监控界面上查看，并设有高高、高、低、低低液位报警，同时需设计可目视的U型液位计。回收桶槽外部明显处应标明桶槽编号及内含废液名称，字体高度不得小于40公分。回收桶槽预留必要的管路出入口，并设排放口及排放阀。废液通过泵外运，回收系统在室外应有快速接头，可与外运槽车相连。有机回收系统应有防静电装置。收集系统应设有紧急时可关闭系统用的紧急联动按钮装置，当使用紧急停止按钮时应同时有警报声及红光灯闪烁。4.3管道设计4.3.1化学品回收系统管道布置应满足便于生产操作、安装及维修的要求。管道建议采用架空铺设。4.3.2一般管路设计原则化学品流向为从上往下，采用重力流。如排放设备与化学品回收系统之间无法利用重力流排放，则需增加中间储槽，采用泵输送方式将中间储槽的化学品打入最终收集槽。4.3.3酸碱类化学品管路采用耐腐蚀塑料材质管材与管件。4.3.4溶剂类化学品管路采用不锈钢材质，管路之间宜采用氩弧焊接。4.3.5中间收集桶槽应设立防泄漏围堰，并安防泄漏侦测器。4.3.6管道穿过墙壁或楼板时，应敷设在套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管间，应采用不燃材料填塞。4.3.7管道与阀门、设备连接宜采用配制的阀门、设备其要求的连结方式（法兰、双卡套、扩口、入珠、焊接等）连结。4.3.8供应泵应考虑到化学品的特性进行选型。4.4管材与附件4.4.1回收桶槽采用不与废液起反应的材质制成。FRP桶内衬PTFE或PFA，PE桶内衬PTFE或PFA，SUS桶内衬PTFE或PFA。4.4.2管道材质应与所输送液体相容；若用于易燃性液体，泵的零件应为不产生火花材质。表4.4.2化学品回收系统的材质选用表化学品性质酸碱化学品有机化学品回收单元外壳PP或PVC不锈钢回收储罐内衬PFA或PTFE的碳钢储罐内衬PFA或PTFE的FRP储罐PE桶SUS304储罐内衬PFA或PTFE的碳钢储罐管道材质PFA＋透明PVC双套管SUS304TP或SUS316BA

5化学品监控及安全系统5.1一般规定5.1.1监控系统指的是对化学品供应及回收系统运行状态进行监控并实现数据采集的系统。5.1.2安全系统指的是对化学品供应及回收系统运行中可能发生的对生命安全，财产安全产生危害的情况实时监控、报警并自动执行各种保护措施的系统。5.1.3应用多种化学品的生产厂房宜设化学品管理系统。5.1.4应用多种化学品的生产厂房应设化学品探测系统。5.1.5应用多种化学品的生产厂房应设生命安全保障系统。5.1.6应用多种化学品的生产厂房应设5.2设备要求5.2.1监控系统应设一台主可编逻辑控制器及二台或以上工业级个人计算机作为数据监控与采集系统的操作接口，并应配备打印机。5.2.2数据监控与采集系统计算机应设于化学品供应室及中控室内，并应有HD、软盘等配件。5.2.3数据监控与采集系统设备应具有下列功能：1每一化学品系统状态图，应包含各点的压力、液位高度、阀开关及泵的动作；2泄漏图及设备位置图；3补充、供应、起动、完成的时间记录；4每一化学品每小时每日、每周、每月的使用量；5历史趋势记录；6所有供应、稀释流程的分析记录(含稀释/供应之时间记录、PH值、比重、浓度百分比值等)；7警报摘要；8信息输出打印；9过滤器、泵的历史维修记录；酸、碱及有机排气监视；各桶槽液位监视；显示使用设备及化学系统接口状态，包含系统状态、设备的紧急停止运转、化学品供应系统侦错(包含桶槽已空)、化学品供应系统就绪之信息；供应系统出口阀与VMB各支罐出口阀每日开关次数与时间；泵动作次数；过滤器之前后压差值；接收设备之浓度调整系统讯号及浓度分析报表；化学品用量趋势图表；记录所有的状态改变包含所有的系统警报，事件的时间、日期、位置；各化学品供应系统应具有现场控制盘，能将控制模块连至设备流程上，至少包含系统状态、设备的紧急停止运转、化学品供应系统报警(包含桶槽已空)等信息。监控系统应能以百分比方式图示监视液位高度。5.3系统要求5.3.1化学品管理系统应符合下列要求：1化学品管理系统应配置化学品的连续检测、指示、报警、分析的功能，并应能记录、存储和打印；2化学品管理系统宜为独立的系统。3化学品管理系统宜与工厂设备管理控制系统和消防报警控制系统通过数据总线相连。4化学品管理系统应设在全厂动力控制中心，在消防控制室和应急处理中心宜设化学品报警显示单元和集中应急阀门切断控制盘。5各化学品供应系统监测、阀门箱、阀门盘的可编程控制器的通讯接口应与化学品管理系统连接。5.3.2应用多种化学品的生产厂房应设化学品探测系统，并应符合下列要求：1储存、输送、使用化学品的下列区域或场所应设置化学品探测装置：1）自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性化学品的使用场所、技术夹层等可能发生化学品泄漏处；2）自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性化学品设备间；3）自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性化学品桶槽和阀门箱的排风管口处；4）生产工艺设备用可燃性、自燃性、毒性、腐蚀性、氧化性化学品接入阀门箱及排风管内；5）生产工艺设备用化学品的废气处理设备排风口处；6）自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性化学品输送管道最低点或局部最低点。7）自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性化学品的双层管线内。2可燃性、自燃性化学品探测系统、有毒化学品检测装置应设置一级报警或二级报警。3自燃性、可燃性、毒性化学品检测装置报警设定值应符合下列规定：1）自燃性、可燃性化学品的一级报警设定值应小于等于可燃性化学品爆炸浓度下限值的25%，二级报警设定值应小于等于可燃性化学品爆炸浓度下限值的50%；2）毒性化学品的一级报警设定值应小于等于空气中有害物质的最高允许浓度值的50%，二级报警设定值应小于等于空气中有害物质的最高允许浓度值的100%。4应用化学品的生产厂房应设化学品连续不间断供应的监控系统，并应符合下列要求：1）各化学品连续不间断供应系统应具有现场控制盘，能将控制模块连至设备流程上，至少包含系统状态、设备的紧急停止运转、化学品供应系统报警(包含桶槽已空)等信息2）监控系统图面应能监视各桶槽液位高度。5.3.3应用多种化学品的生产厂房应设生命安全保障系统，并应符合下列要求：1自燃性、可燃性、毒性化学品的储存、分配及使用场所的安全设施应符合下列规定：1）应设置闭路电视监控摄象系统与门禁系统；2）生产厂房入口处、化学品桶槽间入口处、洁净室内宜设置安全管理显示屏；3）使用场所内及相关建筑主入口、内通道等处应设置灯光闪烁报警装置，灯光颜色应与其它灯光报警装置的灯光颜色相区别；4）化学品管道入口处与应急处理中心室必须设紧急手动按钮。2在地震多发地区，使用化学品的主要生产车间宜设置地震探测装置，地震信号应接入化学品探测系统；3化学品站房地震探测装置应在化学品桶槽的基座上设置一台；并应以化学品间为基准点，呈等距离三角形延伸至厂区内另外两点设置地震探测装置。地震探测装置不得设置于人员进出频繁的地点，且应避免受外力干扰而造成误动作；4封闭的可燃性、自燃性化学品的化学品间应设置防爆紫外红外火焰探测器；5化学品站房应配置防毒面具等安全防护设施。5.3.4应用多种化学品的生产厂房应设化学品报警的联动控制系统，并应符合下列要求：1化学品探测系统确认化学品泄漏时，应自动启动相应的事故排风装置，自动关闭相关部位的气体切断阀，并应能接受反馈信号；2化学品探测系统确认化学品泄漏时，应自动启动泄漏现场的声光报警装置，该声光报警应有别于火灾报警装置，并应自动启动应急广播系统；3化学品探测系统确认化学品泄漏时，应关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门，自动释放门禁。可联动闭路电视监控系統，启动相应区域的摄像机、并自动摄像；4化学品探测系统确认化学品泄漏时，泄漏信号应传至安全显示屏，并用文字提示现场人员怎么做；5地震探测装置探测到里氏5级以上地震，且两台地震探测装置同时报警时，化学品管理系统确认收到信号后，启动现场的声光报警装置；同时，应关闭化学品桶槽、阀门箱、阀门盘的切断阀门。5.4仪表及配件5.4.1所有的化学品供应设备应有独立的电控盘面和人机界面的LCD显示屏，并且安装在机台内部。5.4.2主要组件应有可编逻辑控制器（PLC）、CPU、主板、通讯模块、内存卡、电源单元、模拟量输出、模拟量输入、LCD显示屏、铜轴电缆、光纤、转换器、HUB等。5.4.3主要功能应符合下列要求：1应能显示并操作化学品供应单元；2应设有开关按钮或选择开关；3应设有紧急按钮开关，蜂鸣器按钮开关；4应设有自动及手动选择开关及其它控制组件。

6相关专业设计6.1一般规定6.1.1化学品站房应布置在独立的建筑物、构筑物、空旷区域，站房较小时，也可布置在生产厂房内。6.1.2生产厂房内的化学品站房应集中布置在生产厂房一楼靠外墙的区域。6.1.3化学性能不相容的化学品系统应布置在不同的房间。6.2建筑结构6.2.1布置于生产厂房内？的甲、乙类化学品间的耐火等级不应低于二级，结构构件的耐火极限应该符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。6.2.2有爆炸危险的化学品间的承重结构宜采用钢筋混凝土框架、钢框架、排架结构。6.2.3有爆炸危险的化学品间应设置泄压设施。6.2.4有爆炸危险的化学品间的设计应符合下列规定：1安全出口不应少于2个，且宜分散布置；2相邻2个安全出口最近边缘之间的水平距离不应小于5m，其中1个应直通室外，通向疏散走道的门应满足防火及防爆要求；3房间面积小于等于100m2，且同一时间的生产人数不超过5人6.2.5无爆炸危险的化学品间的安全出口不应少于2个，且宜分散布置，相邻2个安全出口最近边缘之间的水平距离不应小于5m，其中1个应直通室外，通向疏散走道的门应为乙级防火门。无爆炸危险的化学品间的面积小于等于150m26.2.6有爆炸危险的化学品间与无爆炸危险房间之间，应采用耐火极限不低于4h的不燃烧体防爆墙分隔，防爆墙上不得开设门窗洞口；设置双门斗相通时，门应错位布置，门的耐火极限不应低于1.2h。6.2.7化学品中控室应设置在独立的房间内；与有机溶剂配置分发室，有机溶剂储存室，有机溶剂回收室等有爆炸危险的房间相邻时，相邻的隔墙不得有门窗、洞口，隔墙的耐火极限不得低于3h。6.2.8有爆炸危险的化学品间的门应向疏散方向开启，有爆炸危险房间的门窗应采用撞击时不产生火花的材料制作。6.2.9有挥发性的化学品，且挥发气体相对密度小于或等于0.75时，化学品间顶棚应平整、避免死角，上部应通风良好。6.2.10有挥发性的化学品，且挥发气体相对密度大于0.75时，化学品间应符合下列规定：1应采用不产生火花的地面，并应平整、耐磨、防滑，防腐;2采用绝缘材料作整体面层时，应采取防静电措施;3地面应平整，避免死角，化学品间不得设计地沟；必须设置时，其盖板应严密，防止气体的积聚。6.2.11化学品间的高度应满足设备与管道布置的要求，且不宜低于4.5m。6.2.12化学品间内的装修材料应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的有关规定6.3电气与仪表控制6.3.1配电与照明应按照下列规定设计:1化学品间的电力负荷等级应符合下列规定：1）可燃性、自燃性、毒性与腐蚀性化学品站房应为一级负荷；2）除第1款外的化学品站房不宜低于二级负荷；3）化学品管理与化学品探测系统为一级负荷，并应配置UPS不间断电源。2有爆炸危险的化学品站房的爆炸性气体环境内的电气设施应按1区设防，并应符合现行国家标准《爆炸和火灾环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。3化学品站房的照明灯具宜安装在操作与维修通道处，不宜安装在设备正上方，并应设置备用照明。6.3.2防雷与接地设计应符合下列规定：1化学品站房的防雷分类不应低于第二类防雷建筑，并应采取防直击雷、防雷电感应和防雷电波侵入的措施。2突出屋面的放散管、排风管等物体的防雷应符合下列规定：1）排放爆炸危险气体的放散管、排风管的管口应处于接闪器的保护范围内，并应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB50057中第一类防雷建筑物对管口保护范围的有关规定；2）排放时点火燃烧的爆炸危险气体放散管、排风管，发生事故时排放物达到爆炸浓度的排风管，排放无爆炸危险气体的放散管，以及装有阻火器的爆炸危险气体的放散管、排风管等管道金属物体可不装接闪器，但应和屋面防雷装置相连；在屋面接闪器保护范围之外的非金属物体应装接闪器，并和屋面防雷装置相连。3架空敷设的可燃性化学品管道，在进出建筑物处应与防雷电感应的接地装置相连。距建筑物100m内的化学品管道，宜每隔25m接地一次，其冲击？接地电阻不应大于20Ω。4自燃性、可燃性、氧化性化学品设备与管道应采取防静电接地措施，在进出建筑物处、不同分区的环境边界、管道分岔处及直管段每隔50m～80m处应防静电接地一次。5设备或管道的接地端子与地线系统之间，可采用螺栓紧固连接；对有震动、位移的设备和管道，连接处应加挠性连接线过渡。6化学品系统的电气设备工作接地、保护接地、雷电保护接地以及防静电接地等不同用途接地采用联合接地方式时，接地装置的接地电阻值应按其中的最小值确定。7防静电接地为单独接地时每组接地电阻宜小于100Ω。6.4给水排水及消防6.4.1给水排水设计应符合下列规定：1化学品站房内的给水，除中断供水将造成较大损失外，宜采用单路供水；2化学品站房排出的废水，应排入废水处理站处理达标后排放；3毒性、腐蚀性气体的化学品间必须设置紧急洗眼器。6.4.2消防设计应符合下列规定：1化学品站房室内外消火栓的设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定；2化学品站房内应配置手提灭火器，配置应满足现行国家标准《建筑灭火器配置规范》GB50140的有关规定；3化学品站房应设置自动喷水灭火系统，其喷水强度应大于8L/min.m2，保护面积不应小于160m24化学品桶槽带有自动喷水冷却装置时，在厂房内设置的自动喷水灭火系统应为其预留管道和信号阀；5化学品站房内存储的化学品与水可发生剧烈反应时，该化学品间严禁采用水消防系统；6对酸碱类化学品房间应设置烟感报警和水喷淋消防装置；7对溶剂类化学品房间应设置烟感、火焰侦测装置和二氧化碳或者泡沫灭火装置；8对溶剂类化学品供应设备内部应安装火焰侦测器和二氧化碳或者泡沫灭火装置。6.5采暖通风与空气调节6.5.1采暖通风设计应符合下列规定：1化学品间应设置连续的机械通风或自然通风系统，风量应满足化学品桶槽的排风量要求，并应满足房间最小通风换气次数不低于每小时6次的要求；2化学品桶槽和阀门箱应设置机械排风装置；3凡属下列情况之一时，化学品间应分别设置排风系统：1）两种或两种以上的化学品挥发气体混合后能引起燃烧或爆炸时；3）混合后形成粉尘。4化学品间应设置事故通风，事故通风量宜根据事故泄漏量计算确定，但房间换气次数不应小于每小时12次。并应在化学品房间外设置事故通风紧急按钮。5化学品间排风管道应采用不燃材料制作。6可燃性、毒性、腐蚀性化学品桶槽、阀门箱的排风口与主排风管道连接的支管应采用刚性风管，不得使用柔性风管或软管。7化学品间排风口位置应根据化学品特性确定，当化学品挥发性气体相对密度小于或等于0.75时，排风口应设置在房间上部，当相对密度大于0.75时，排风口应设置在房间的下部；8化学品间排风，应根据排风的危害性和浓度设置处理装置；9化学品间通风系统应设置备用机组，化学品间通风系统电源应设置应急电源；10化学品间挥发性气体为可燃性气体和氧化性气体的排风管应设置防静电接地装置；11化学品间排风系统不得与火灾报警系统联动控制，火灾发生时，严禁关闭排风系统；12化学品间严禁采用明火采暖。6.5.2空调设计应符合下列规定：1化学品间宜设置空调系统，并应符合下列规定：1）室内温度、湿度设计参数应满足化学品桶槽的要求。无具体要求时，室内设计参数宜为温度23℃±3℃，相对湿度30％～70％；2）空调系统不得采用循环空气。2空调风管不应穿越化学品间之间的分隔墙；必须穿越时，应安装防火阀；3空调系统宜设置备用空调机组，或采用措施保证在空调机组维护或故障时，能满足化学品间的通风需求；4空调系统宜设置应急电源；5化学品间空调风管应采用不燃材料制作，保温应采用不燃或难燃材料；6空调风管应设置防静电接地装置。

7工程施工及验收7.1一般规定7.1.1本章适用于电子工厂化学品供应室至生产区阀箱之间的化学品的储存、稀释、供应及各系统运转监控设施的安装、试验、调整、检验及验收。7.1.2化学品系统工程施工使用的设备及材料不得与所输送、储存的化学品起化学反应，在规定的场所正常操作下,温度及压力变化均不致产生腐蚀、变形、减少使用寿命或疲劳，同时任何部分也不得发生过度的应力及应变,并能保证化学品供应正常运行。7.1.3设备及材料进场检验时应提供产品合格证和质量保证书，检验结论应有记录。若该工程合同约束了其它的相关质量、安全的要求，提供方也需要在设备或材料进场时提供相关的文件来满足要求。7.1.4进口设备及材料进场验收，除应符合本规范外，应提供海关的商检证明、产品质量证书和产品合格证，还应提供安装、使用、维护和试验要求的技术手册，必要时设备厂商还应提供技术培训。7.1.5设备及材料质量若有争议时应送有资质的试验室进行抽样检测，试验室出具的检测报告，确认符合本规范和相关技术标准规定，才能在工程中使用。7.1.6设备材料进场验收、管道清洗，安装安全阀、流量计、过滤器及压力试验、纯度测试、焊接试件鉴定事项，建设单位代表或监理工程师应在场。7.1.7有机溶剂供应室内安装的设备、管道、电气工程应符合《工业自动化仪表工程施工及验收规范》的电气防爆和接地规定，且静电接地的材料或零件，在安装前不得涂漆。7.1.8安装和试验用各类计量器具应检定合格并在有效期内使用。7.2设备、材料进场验收7.2.1化学品配送用设备、材料接收时应是双层包装，外部木箱和内部真空包装均应完好；桶槽或容器各接管应采用盲板法兰密封，且充入的氮气应保持2Kpa的压力，有特殊要求的除外。7.2.2设备应按到货先后顺序及搬入先后顺序来安排设备的存放位置。7.2.3化学品配送用设备、材料检验合格后应放置在通风、干净的仓库内，不得放置在室外暴晒、雨淋。7.2.4PVC管材应按不同规格放置在不同的货架上，应有防止管材弯曲变形的措施，且7.2.5阀门、组装箱、阀箱及三通箱等易碎材料应单独设置存放区。7.2.6电气材料存放时不得损坏外包装，电缆、光纤等材料还不得损坏外部保护层。

7.2.7化学桶槽进场验收应满足下列要求：1玻璃钢化学桶槽当容量大于等于200L时，内衬材质应为PFA或PTFE；2PE桶槽容量小于等于200L时，内衬材质应为PFA或PTFE；3不锈钢桶槽应内衬PFA或PTFE；4桶槽应有检修盖、通气管、防虫网及检修用不锈钢爬梯及护笼；5桶槽应有目视液位计，并有高、中、低液位报警传递接口。5桶槽的液位计能准确反应桶槽内液体的体积，并根据液位来控制加药泵的启停、报警。6预留必要的管道出入口，该接入口必须符合相应的标准，且形式简单，连接方便，并设排放口及排放阀；7桶槽外部明显处应有黑底白字标示桶槽编号及内含药品的名称。7.2.8 1小包装化学药品补充箱应附快速接头、密度指示器及氮气喷枪；2酸碱类补充箱应采用PP和CPVC制成；3有机溶剂类补充箱应采用SUS316L制成，并留排放口及排放阀；4补充箱宜有带高效过滤器的排气口及光学泄漏侦测器，且箱门应设有安全连锁装置；5补充箱宜附化学品种类、容量、补充日期条形码读码机。7.2.9稀释单元及供应单元应满足下列要求：1酸碱类稀释单元及供应单元应分别置于箱柜内，箱柜材质应采用PP配合CPVC制成；1箱柜的材质采用PP配合CPVC，一方面PP配合CPVC与酸碱系统不发生反应，不易燃烧，耐气候、耐化学药品及耐水性均优,；另一方面PP配合CPVC有良好的粘合性、成膜性和成纤性，制品轻便、经久耐用。外观呈白色或淡黄色。2箱柜应有带高效过滤器的排气口及光学泄漏侦测器，且箱门应设有安全连锁装置；3每一单元的主管道应设流量计，且每一单元的主管道末端应设取样点；3流量计对化学品系统的使用情况进行观察计量，末端的取样点便于对化学品的纯度等进行取样测试。4过滤器应为标准品，酸、碱的膜片材质应采用PFA或PTFE；5稀释桶及供应桶应配置确保桶内浓度均一的内循环装置。7.2.10阀箱及三通箱箱体应采用厚度不小于5㎜的PVC板制成，但阀箱前壁板应采用透明PVC制成，厚度不得小于5㎜。也可整个阀箱及三通箱箱体采用透明PVC制成。7.2.10P7.2.11阀箱的功能应满足下列要求：1阀箱应预留25%的备用管接头；2阀箱的漏液侦测器监控系统发现有渗漏时，应能发出警报并应联动关闭化学品供应系统，漏液侦测器设置在阀箱的最低点，通过漏液侦测器底部的试纸的潮湿来感应和传递报警信号，试纸为一次性，在报警后必须更换。3阀箱应设有供排除漏液蒸气的排气口；4阀箱应有自动操作阀、手动阀及氮气冲洗阀；5阀箱应有箱门锁开关，箱盖应采用易开式弹簧扣环设计；6阀箱应有取样阀口。7.2.12三通箱的功能应满足下列要求:1内部应含光学漏液侦测器；2内含手动阀；3有泄漏或维修时的排放管。7.2.12三通箱和阀箱是出现泄露可能性最大的地方，故在组装箱内都需要设置漏液传感器。7.3设备安装7.3.1设备搬运前，对搬运的路面和道路两端进行详细勘查，了解运输线路情况，拟定运输方案，提出安全措施和搬运措施。7.3.2搬运设备应使用专用运输车运输至搬运地点，对于搬运大型设备，应对可能的路基下沉、路面松软采取措施，防止在搬运过程中倾斜、侧翻。7.3.3大型设备在搬运过程中道路的坡度不能大于15°。道路上方如有输电线路，通过时应保证安全距离。7.3.4设备搬运过程中对搬运场地做好安全维护，无关人员不得进入。7.3.5设备卸货前应清点数量及外包装的好坏，且不得损坏设备。7.3.6设备安装前，应确认设备的位置并画线标记。化学品储罐的体积大，要在化学品间内按时间图纸布置储罐和配送柜。7.3.7设备搬运至化学品间时先拆除木箱，然后将设备搬运至标记点，设备搬运时要预留出设备的搬运通道，搬运过程中不得损坏设备，也不得损伤地面、墙面、梁等建筑物。必要的时候需要铺设钢板进行保护。7.3.8设备就位后，对设备的横向、纵向、高度进行测量，是否满足安装要求，设备安装后横向和纵向中心线偏差为5mm～10mm，高度偏差为±10mm。通过在设备下方垫设不锈钢垫片来调整横向、纵向、高度的偏差。7.3.9基础上固定设备时均应采用不锈钢螺栓。酸碱系统需要在不锈钢螺栓上外套PVC材质的衬套，并在安装完毕后，打胶密封。7.3.10设备在安装前后直至化学品供应测试阶段，施工单位应保证外部包装完好。7.4化学品配送管安装7.4.1配送化学品的管材和阀门应符合下列要求：1配送酸碱类化学品的管道应采用双套管，内管应采用PFA管，外套管应采用Cl-PVC管；2配送有机类化学品的管材可采用SUS316EP不锈钢管、SUS316BA不锈钢管；3配送有腐蚀性的有机类化学品的管材内管应为PFA管，外管为SUS304；4废液回收系统应采用CPVC管或UPVC管。5酸碱类和有机类供液管道上的阀门应选与供液管材质相同的隔膜阀。7.4.2施工应按照批准的工程设计文件和施工技术标准进行施工。施工单位对已批准的设计提出变更时，必须有原设计单位的变更通知单，才能变更施工，设计变更单应由设计单位直接下发给建设单位，施工单位负责实施更改，监理单位监督实施。7.4.3配管工程使用的主要材料、配件、设备等已检验合格，规格、型号及性能应符合设计要求。7.4.4化学品管道禁止平行设置在电缆、桥架、母线槽的上部。若现场情况不允许，必须出现管道的十字交叉时，十字交叉部位必须是直管段，不得有组装箱等存在泄露可能的部件。7.4.5化学品供给管道应安装紧急关断阀。7.4.6桶槽灌装的配管应安装电磁阀或气动阀，不得釆用手动控制阀。7.4.7输送液体的闪点低于38℃时，排气口应安装阻火器。7.4.8支架应满足管材、阀件、化学品的负载要求，并应满足液压冲击、振动的负载要求。阀箱应设置单独支吊架，严禁直接架设在管道上。7.4.9管道支吊架及电缆桥架应安装在结构件上。7.4.10化学品间管道吊架及电缆桥架应采用防腐蚀材料。7.4.11管道吊架应设防震吊杆系统。7.4.12高挥发性化学品、可燃、易燃化学品介质配管应可靠接地。7.4.13可燃、易燃介质配管应当满足下列要求：1应采取最短路径至使用点；2避免经过火灾高风险区；3室外管道距建筑物距离不应小于0.3m；4室外地下配管应置于水泥地沟内，并回填非腐蚀性材料；5地下管道所经过的路线，应在地面设置告示牌；6地下管道不应在建筑物的地下室通过；7地面管道应有防护措施；8管道应采用焊接连接，不得釆用螺纹连接，但可有限采用法兰连接。7.4.14管道穿越建筑隔墙、楼板和特殊构造时，应符合下列规定：1管道穿越建筑结构伸缩缝、抗震缝、沉降缝时应采用柔性连接；2管道穿越隔墙和楼板时应设置金属或塑料套管，套管与管道之间应采用不燃材料填实；3管道接口、焊缝不得设在套管内；4管道穿越洁净室隔断时应采用不易生锈、不产尘材料封堵严实。7.4.15法兰、焊缝和各种连接件的设置应便于检修，必须考虑足够的维修空间。并不得紧贴墙壁楼板或管架。7.4.16当采用加压泵输送化学品时，加压泵下游管道应装泄压阀。7.4.17当采用惰性气体输送化学品时,惰性气体供应管道安装应满足下列要求：1惰性气体供应管道应安装调压阀、手动关闭阀，且调压阀下游应安装泄压阀；2惰性气体供应管道应安装止回阀，且止回阀下游管道应安装控制阀。7.5输送酸碱类管道内管穿设安装7.5.1内管穿设安装应先安装外套管，外套管安装应符合下列规定：1外套管间距、支架间距应符合表7.5.1-1的规定：表7.5.1-1外套管间距及支架间距外套管规格DN405065~80100及以上支架间距m1.41.51.72层间距㎜150150200200管边间距㎜＞20＞20＞20＞202支架制造安装应根据外套管规格而定，安装应牢固，直线段每20米及转弯处，必须设置固定支架。3管段的热伸长量不得超过补偿器的允许补偿量3管段因膨胀产生的推力不得超过固定支吊架所能承受的允许推力值。4不宜使管道产生纵向弯曲。5管道切割应使用专用切割器，切割之前应将已开启的吸尘器吸尘口靠近切割处后再进行切割，切割完毕后应迅速将切割时产生的碎屑清除干净；6管材切割后应立即对切割断面的管壁内外壁进行修边处理，修边进行时修边部位应朝下。修边完成后，应尽快用塑料胶带将管道两埠封住。7弯头宜采用成品弯头，也可采用烘箱现场煨制；8管道弯曲加热温度应控制在106℃～115℃之间，加热次数不得超过三次，煨管作业要在通风的环境下进行；9套管最小弯曲半径应符合表7.5.1-2的规定：表7.5.1-2套管最小弯曲半径管径（mm）1520254050弯曲最小半径（mm）20025030035045010煨弯时管道不得产生不规则变形，变形量不得大于管外径的10%；11煨管试样应提交监理工程师，检验管道弯曲的弧度是否流畅、管道是否有不规则变形等，检验合格后方可进行煨管作业；12弯头及直管均采用直二通粘接，有特别要求时，粘接部分还应增加填丝焊接，焊条应釆用PVC焊条。13管道与三通箱、设备的连接均应采用活接形式连接，且应在粘接完成24小时后才能进行；14外套管在支架上固定时，应先用厚度大于2mm橡胶皮或衬垫缠绕固定处；15管道连接采用承插粘接法，胶水应采用速干型透明胶水，粘接面还应尽量少出现气泡，在粘接前，做粘接试样，合格后方可进行粘接作业。粘接压紧时间应符合表7.5.1-3。表7.5.1-3外套管粘接压紧时间表管径（mm）50以下65以上压紧时间不低于30秒夏季不低于1分钟冬季不低于2分钟16安装三通箱、阀门箱、连接箱应单独设置支吊架，箱上的螺帽与Cl-PVC外套管连接，并用螺帽锁紧。阀门箱的接管不得过分弯曲变形。17漏液检测器设置在箱体的最低点。18管道上每两个弯头为一组，每组第二个弯头暂不做粘接连接，待穿管作业完成后才粘接连接处。19外套管压力试验应在外套管施工完成后进行，试验介质可用瓶装氮气，试验压力为1KPa，保压4小时不降压为合格。7.5.2内管安装应在外套管试压合格后进行。内管穿设安装适用于从供给单元至使用点输送化学药品的管道，管径宜在1/4〃～1〃之间，管道宜采用100米长的卷材。整卷的材料用于距离长的管道中，切除下来的材料立即密封，用于距离短的配管和与设备连接的二次配管中。管道接口应设置在三通箱、阀门箱及设备连接箱内。7.5.3内管穿设安装应遵守下列规定：1PFA管拆除管外包装袋时应选择灰尘较少的地方进行，如洁净室，并事先应在地板处铺设透明塑料布，拆除包装时管道两端应有管帽，要是没有，应迅速用塑料胶带封上管道的两端；2内管从供给单元至三通箱、三通箱至阀门箱、阀门箱至用药设备均应分别为一根整管贯穿，中间不得设接头；3施工时施工人员应配戴洁净手套；4冬季或其它气温较低时穿管，穿管前应先将管道放在温度大于20℃的场所内两天后再进行施工；5施工人员最少应配备管线整理员、送管员、中间送管员及拉管员四人；6内管穿管前应采用未生锈且无污染的切管器将管口前端切出150㎜～200mm的斜面，之后在管内塞入可有效防止灰尘进入管内的物体及拉管绳，最后在管材外部缠上塑料胶带后进行拉管施工；7切管器用后应放入清洁的塑料袋内；8将成卷管道架设在电缆放线架上；9拉管时施工人员用对讲机互相联系，等拉管绳完全通过外套管后再进行拉管。拉管绳应不产尘且结实牢固、受力变形小，在外套管的另一端用吸尘器的负压将拉管绳引出。10管线整理员应确认PFA管道无折损后再行送管。11送管员施以送管手势后进行送管，拉管员配合送管员的手势进行拉管作业，拉管时应以送管为主力，不得以拉管为主力。12管线整理员在送管的同时，应采用纯水湿润的洁净布擦拭管道；13送管员随管线的前进而移动，如发现外套管连接处影响而无法前进时，可以轻拍外套管或从前部尚未粘接的接头处将外套管拉出后继续进行，当内管穿出外套管600mm后停止穿管；14当内管穿出后，应从外套管管口处保留200mm，将多余部分割去，进行管道与三通、设备接口的连接；15内管连接可采用加热扩管方式及PTFE管接头植入的入珠式两种施工方式，并应遵守下列规定：1)加热扩管方式是将PFA管在专用加热器上进行加热作业后，再用扩管器进行扩管作业，作业时所有施工人员都应戴洁净手套。2)需加热扩管的PFA管，管长应等于量取长度加3mm加工长度；3)扩管加热应将PFA管前端15㎜～20mm处均匀加热至管壁有类似潮湿现象出现时，再进行扩管作业，并应防止灰尘进入管道内壁；

4)扩管作业时应将洁净的扩管器插入加热后的PFA管内，应使管端与扩管器平行，在检查管端无细小裂纹后再以纯水擦拭加热部位冷却至室温；5)取扩管器的时间应在管端连接时进行，不得在管端冷却后就立即取扩管器；6)PFA管的螺帽连接施工时，首先应将螺帽轻压于接头之上，再以逆时针方向缓慢旋转，直到产生声响后即表示两者的螺纹已咬合，此时以顺时针方向旋紧至接头留有1.5～2个螺纹即可。15扩管连接尽量一次性完成，可先用废料进行试验，必须保证扩管到位，不能够出现过盈或不足的现象，以免在之后的运行过程中出现安全隐患。16组装箱内阀门安装应在外套管和内管安装完成之后进行。首先应在施工区域地板上铺设透明塑料布后再进行施工，阀门通过基座固定，阀门和基座通过螺栓连接，基座和组装箱用胶水粘接，粘接时注意胶水不宜过多，涂抹均匀即可；17采用入珠式连接时，应先将PTFE管接头以纯水擦拭干净，确认无伤痕后，将加工后的PFA管用力插入，直到管端变白后再以螺帽紧锁。7.5.4内管压力试验应符合下列规定:1内管试压应在管道接口完成后进行，试压介质采用99.999%高纯氮气；2强度试验压力为工作压力的1.5倍，保压0.5小时无降压为合格；3严密性试验压力为工作压力的1.15倍，保压24小时无泄漏，且压力变化在±1%以内为合格。7.5.5内管压力试验合格后应采用纯水进行系统冲洗，冲洗应沿药品供给流动的方向进行冲洗，从阀门箱出口排放到临时储药桶，冲洗、吹扫合格标准除应符合工艺设备的要求，还应符合本规范第7.10.2条第2款的要求。1)压力测试完毕之后应对化学品配送柜、泵、桶槽、设备和所有连接的供药液的管道系统进行纯水冲洗；2)纯水冲洗之后，还应采用氮气对系统进行吹扫；7.6输送酸碱类管道内管焊接安装7.6.1PFA管焊接安装适用于从供液单元至药品接收储罐的管道，以及从药品接收储罐至供液单元的管道连接，适合管径为1〃7.6.21支吊架制安应符合本规范第7.5.1条第1款的要求；2焊接应采用专用的PFA焊接机，焊接温度为500℃；3PFA管的焊接应在洁净加工间内进行，室内应有高效过滤器的进风设施，且顶部应有排气扇，室内温度应在10℃-35℃4进入洁净加工间的人员应穿洁净服，配戴洁净手套，穿洁净鞋；5PFA焊机操作者应经过培训，经考试合格方可进行操作；6焊接完毕后管口都必须用管帽或者塑料胶带进行管口的密封；7外套管安装应在同一直线段内的直管焊接完毕后将外套管套上；8外套管的连接采用直二通承插粘接，外套管的弯头为成品承插弯头，待内管的弯头焊接完成后，将外套管的承插弯头对称剖为两半，然后将其扣于内管弯头外，再用热风焊机将对剖缝焊接复原，弯头承口与直管仍然采用承插粘接；9压力试验应符合本标准第7.5.4条的要求；10系统清洗应符合本标准第7.5.5条的要求。7.6.2焊接PFA管一般用于化学品间内，用于供给单元和存储罐之间的连接管道，有单管和双套管之分，若采用单管输送，则按照本条第1款～第6款实施。7.7输送有机类管道安装7.7.1输送有机类化学品的管材可选用SUS316EP、SUS316BA、PFA+SUS304外管的形式。不锈钢管道连接应使用自动轨道氩弧焊，所用氩气纯度为99.999%,管道末端应安装流量计。7.7.2操作人员在作业过程中应戴洁净手套，不得裸手接触管道内壁。7.7.3材料保管、清洗、预制应在洁净室进行。洁净室应符合下列要求：1室内洁净度不得低于7级；2焊接作业间洁净度不得低于6级，且应安装排风机；3室内应保持5Pa以上的正压。7.7.4管道切割、端面处理应在洁净室中进行，但应与焊接场所隔离。7.7.5管外径小于等于12.7mm的管道切割应使用不锈钢管切管器，切割后用平口机处理管口，然后用专用倒角器将管口内外毛刺处理圆滑，切口管端面应垂直、无毛刺、无变形,不得使用塑料管割刀替代。7.7.6平口机加工余量应为壁厚的10％～20％，且加工时应采用纯度为99.999%的高纯氮气吹扫。加工后将端管口向下，另一端用高纯氮气快速吹扫,严禁将刚切割完毕的管道口向上。7.7.7管外径大于12.7mm的管道切割宜使用不锈钢管切管机，切割时严禁使用润滑油。切口端面应垂直、无毛刺、不变形，满足不加丝自动焊要求。严禁使用手工锯、砂轮切割机切割。7.7.8管道吹扫完毕，用不产尘的洁净布沾上丙酮或酒精将切口处清洗干净后迅速用洁净管帽或洁净纸胶带将管道口密封，一旦发现有破损，应及时处理。7