- 现行
- 正在执行有效
- 2011-10-14 颁布
©正版授权
注：本标准为国际组织发行的正版标准，下载后为完整内容；本图片为程序生成，仅供参考，介绍内容如有偏差，以实际下载内容为准
全文预览已结束
下载本文档
基本信息：
- 标准号：ISO/TR 12705:2011 EN
- 标准名称：制图技术 平版印刷化学鬼影的实验室测试方法
- 英文名称：Graphic technology — Laboratory test method for chemical ghosting in lithography
- 标准状态：现行
- 发布日期：2011-10-14
文档简介
光刻技术是微电子制造中的关键技术之一，用于将复杂的电路图案从掩膜板上复制到硅片等基材的表面。在制造过程中，可能会出现化学漂移现象，导致最终图案偏离了原始设计。因此，了解并控制这种现象对于确保微电子制造的质量至关重要。
ISO/TR12705提供了实验室测试方法来检测和量化光刻过程中的化学漂移。这种方法涉及到一系列的化学和实验步骤，包括样品准备、暴露、处理和评估等。通过这个测试方法，可以确定化学漂移的程度，以及了解其产生的原因和影响，从而采取相应的措施来防止或减少这种现象。
该测试方法对于微电子制造厂商、研究机构和质量控制实验室等具有重要的实用价值。通过使用ISO/TR12705，可以确保光刻过程中的质量一致性和可靠性，从而提高产品的性能和可靠性。此外，该测试方法还可以帮助厂商识别和解决潜在的问题，从而降低生产成本并提高生产效率。
ISO/TR12705是一个重要的标准技术报告，提供了关于光刻技术中化学漂移的实验室测试方法，对于微电子制造的质量控制和生产效率的提高具有重要意义。
温馨提示
最新文档
- 20xx年三方合作协议书
- 6以内的加减法
- 2011年一建工程经济内部模拟题
- 2023-2024学年全国小学二年级下科学人教版期中试卷(含答案解析)
- 2023-2024学年全国小学六年级上英语人教版期末试卷(含答案解析)
- 2024版全新标准食品购销合同范本
- 全球风力涡轮机用液压螺栓拉伸器行业总体规模、主要企业国内外市场占有率及排名（2024版）
- 20xx年考研调剂这六所院校成功率最高
- 《感动中国》2023年度人物获得者牛犇事迹7篇
- 2024年美国假肢内衬套市场现状及上下游分析报告
- 鼓风机主数据管理项目讲标
- 掌纹诊病王晨霞
- 34化粪池安全风险告知卡
- 最全的网络拓扑图素材大全课件
- 燃气管道建设项目投标文件范本参考
- 山西省肇事肇祸等严重精神障碍患者信息摸排登记表
- 保险理赔课件
- 《工会基础知识试题及答案》600题
- 中外合作项目投资协议合同范本模板
- 医疗机构药品不良反应监测与上报课件
- 35kV集电线路直埋施工方案
评论
0/150
提交评论