(高清版)GBT 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会I Ⅲ IV 1 1 1 2 3 3 88设备的洁净室适用性的表述 Ⅲ本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第14部分。GB/T25915已经发布了以下——第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(A—第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；本文件等同采用ISO14644-14:2016《洁净室及相关受控环境第14部分：按粒子浓度评估设备适VGB/T25915采用ISO14644系列国际标准，各部分设置与国际标准保持一致，拟由15个部分 1下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级3术语和定义空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进入、产生、滞留于房间的粒子2空气悬浮粒子计数浓度受控并分级的限定空间。其建造和运行使进入、产生和滞留于空间的粒子a)进行评估前，用户及测试方对GB/T25915.1中规定的空气洁净度等级及关注的粒径范围达c)目视检查(见第5章)。d)应采用第6章中的步骤进行测试，以便根据GB/T25915.1进行空气洁净度分级。e)进行测量(见6.2)。g)结论应包括设备在洁净室的适用性。应按要求进行描述(见第8章)。B.4中描述的方法可用于确定设备总释放速率。该方法提供的数据可用于确定洁净室的粒子34因素875——悬浮粒子浓度：测试环境的空气洁净度等级至少优于其应用目标等级一个级别(由 初步识别HPC位置后，使用采样流量至少为28.3L/min、采样探头开口面积为20cm²的6关注的、与产品处理有关的测点位置。按6.2.7规定的方法，使用LSAPC在所选择的位置处测量粒子浓度。适用性测量应记录下列参数：——设备的运行模式；——被测设备的位置：——初步和精确定位的HPC位置；——关注的其他测点(如产品关键部位); LSAPC采样探头的位置；——需要评估的粒径档；——单个测点处连续采样次数，应不少于100个。应使用下述步骤，对6.2.8获得的粒子浓度数据进行处理。由6.2.8获得的特定粒径档的粒子浓度数据进行统计分析。当单次测量的均值x>10.000时，应使用步骤a)(见6.2.9.2)。当测量的均值r≤10.000时，应使用步骤b)(见6.2.9.3)。使用公式(1)计算粒子数量的均值： (1)式中：n——采样数；xi,——粒径档i的第n个单次测量读数。使用公式(2)计算标准偏差： (2)式中：5——标准偏差；xi,n——粒径档i的第n个单次测量读数；应使用公式(3)来计算置信区间上限值： (3)式中：P.置信度(1-a)=95%时的置信上限；7——均值1.66——t分布系数。应使用公式(4)计算z值：若z>1.645,则说明置信度为95%时悬浮粒子浓度未超过等级限值G。基于GB/T25915.1的洁净度等级ISON的等级限值G(洁净度等级ISON级中关注粒径档的最大允许粒子浓度),将用于6.2.10中的评估。若测试结果的均值x≤10,则使用表1泊松分布来确定置信上限。置信上限P.01234567898在进行洁净室适用性评估(见第8章)时，应选择特定粒径档的最大等级数ISON(见91)对双方达成一致的粒径档进行测试；2)对测试环境进行洁净度分级；3)对采样探头及其朝向进行描述；4)采样位置。2)静电及离子发生测试的方法描述及结果；3)粒子沉降测试的方法描述及结果。2)相对湿度，3)平均风速，——测量6个粒径档；110000023311393:::000000000000对于ISO3级和粒径≥0.1μm,每次采样28.3L时的粒子数量限值G为28(见表A.3)。因为计算值z=0.05,这不满足置信度水平的要求(z≥1.645),所以不适用于ISO3级(见因为计算值z=37.49[见公式(A.4)],这满足置信度水平的要求(z≥1.645),所以适用于ISO4级根据之前的测试示例，粒径≥0.2μm的粒子数量均值为7.39,该值小于10。根据泊松统计分布理论，应根据表A.4计算不超过给定洁净度等级限值G的概率。表A.4给出了置信上限为P.=12。不超过限值的概率≥95%。根据之前的测试示例，粒径≥5.0μm的粒子均值为0.90,该值小于10。根据泊松统计分布理论，应根据表A.4计算不超过给定洁净度等级限值G的概率。表A.4给出了置信上限为P.=3。不超过限值的概率≥95%。基于GB/T25915.1—2021分级体系的评估为了基于GB/T25915.1—2021的分级体系进行评估，需考虑以下内容：采样量为28.3L,即0.0283m³,分别乘以GB/T25915.1—2021表1中的数字，可以得到表A.3中相应的G值。表A.3计算得到的G值ISO级别N12表A.3计算得到的G值(续)3456789注：根据GB/T25915.1,灰色区域表明粒径范围不适用于分级需要。置信上限P.0123456789(资料性)B.2在设备运行周期不同阶段的评估粒子释放随时间的变化特性能描述成3个阶段。a)磨合阶段：当含有运行部件的设备开始启动，粒子的释放随着时间而改变。通常释放率会用一个或多个沉降皿进行粒子分布的沉降特性测试，并进行现场或线下前后的表面粒子洁净度变化来表示结果(依据GB/T25915.9)。测试结果能用单位时间单位表面积上粒径>Dμm的粒子数量表述。B.4.1一般要求总释放速率测试方法适用于ISO6级～9级的非单向流洁净室或洁净区。总释放速率测试方法不能识别包含HPC位置在内的局部颗粒源，测试结果反映了一段时间内粒被测设备及测试环境的目视检查(见第5章)宜在测试之前进行。观察时宜采取6.2.2规定的HPC位置识别类似要求。B.4.2测试环境测试环境宜提供洁净的单向流(经过HEPA或ULPA过滤器),或者背景浓度优于设备目标应用宜测试排风中粒子浓度。采集空气量要尽可能保证测试结果具有B.4.3测试总释放速率b)测试并记录空态或静态的背景浓度(记录测点位置与浓度结果);c)测试非悬浮大粒子能采用沉降法(见B.3)。P=△C·QQ——空气流量，单位为立方米每单位时间(m³/单位时间)。B.4.6粒子负荷的影响评估[1]GB/T25915.3洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法[6]IEST-RP-CC002.3Unidirectional-flowc[7]IEST-RP-CC013.3Calibrationproceduresandgui[8]IEST-RP-CC026.2Clean[10]JISB9926Cleanroom—Testmethods[11]SEMIE49-1104(Reapproved1Performance,Subassemblies,andF[12]SEMIE137-0705(Reapproved1111)GuideforFinalAssetion,Unpacking,andRelocationofSemiconductorManufacturingEquipm