• 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-07-31 颁布
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【正版授权-英语版】 ISO 21360-4:2018 EN Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 4: Turbomolecular vacuum pumps_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 21360-4:2018 EN
  • 标准名称：真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第4部分：涡轮分子真空泵
  • 英文名称：Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 4: Turbomolecular vacuum pumps
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2018-07-31

文档简介

ISO21600-4:2018EN真空技术—测量真空泵性能的标准方法—第4部分：涡轮分子真空泵。

以下是对ISO21600-4:2018EN的详细解释：

ISO21600是关于真空技术的系列标准，这些标准提供了评估和比较真空泵性能的通用方法。这个标准系列包括了各种不同类型的真空泵，如机械泵、分子泵、涡轮泵、热阴极泵等。

第4部分，即“Turbomolecularvacuumpumps”（涡轮分子真空泵），专门针对涡轮分子泵的性能测量提供了标准方法。涡轮分子泵是一种高效的真空泵，通常用于高真空和超高真空的场合。

这部分标准详细描述了如何进行真空泵性能的测试，包括但不限于泵的抽速、极限压力、恢复时间等关键指标。测试过程包括但不限于对泵进行预抽、负载测试、稳定测试等步骤。

标准还对测试设备和工具提出了要求，如真空计、压力计、计时器等，并详细说明了如何使用这些工具进行测试。此外，标准还对测试环境，如温度、湿度、振动等，提出了要求，以确保测试结果的准确性。

ISO21600-4:2018EN为评估和比较涡轮分子真空泵的性能提供了一套全面、精确和可重复的方法。这些标准是真空设备制造商、科研机构、实验室和工

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