• 现行
  • 正在执行有效
  • 2021-02-12 颁布
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【正版授权】 ISO 15632:2021 EN Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 15632:2021 EN
  • 标准名称：微束分析 用于规范和检查与扫描电子显微镜 (SEM) 或电子探针微分析仪 (EPMA) 一起使用的能量色散 X 射线光谱仪 (EDS) 的选定仪器性能参数
  • 英文名称：Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2021-02-12

文档简介

ISO15632:2021EN规定了用于扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）的能量分散型X射线光谱仪（EDS）的性能参数。它规定了电子探针显微分析仪和电子光谱分析仪性能的一些重要参数。该标准主要用于指导设备的校准、检测、验证和使用。

在标准的介绍中，包括了以下几个重要的主题：

1.仪器性能参数的定义和描述：ISO15632:2021EN标准定义了EDS的主要性能参数，包括分辨率、检测限、元素种类识别能力、线性范围等。这些参数决定了仪器对不同元素的检测能力和精度。

2.仪器性能的验证和校准：标准规定了如何通过测试和验证仪器性能的方法，包括定期对仪器进行校准，确保仪器始终处于良好的工作状态。

3.仪器的使用和维护：标准还规定了仪器的使用方法和维护要求，以确保仪器的长期稳定性和准确性。

这些参数的重要性在于它们决定了EDS设备是否能准确、可靠地测量材料中的元素成分，进而对材料进行准确的定量分析。因此，对于使用EDS设备的实验室来说，理解和遵守ISO15632:2021EN标准是非常重要的。

以上就是ISO15632:2021EN标准中关于微束分析的详细内容。如

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