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  • 2019-05-21 颁布
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【正版授权】 ISO 11952:2019 EN Surface chemical analysis - Scanning-probe microscopy - Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 11952:2019 EN
  • 标准名称：表面化学分析 扫描探针显微镜 使用 SPM 确定几何量：测量系统的校准
  • 英文名称：Surface chemical analysis — Scanning-probe microscopy — Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2019-05-21

文档简介

ISO11952:2019ENSurfacechemicalanalysis—Scanning-probemicroscopy—DeterminationofgeometricquantitiesusingSPM:Calibrationofmeasuringsystems是关于表面化学分析中扫描探针显微镜（SPM）用于确定几何量度的标准。它提供了关于如何使用SPM进行测量系统校准的详细指南。

具体来说，该标准提供了以下关键部分：

1.校准概述：该部分概述了校准的基本概念，以及为什么要对测量系统进行校准。

2.校准步骤：这部分详细介绍了如何执行测量系统的校准过程，包括选择合适的校准标定板、准备仪器、测量、记录数据和计算等步骤。

3.误差分析：介绍了如何分析和解释校准数据中的误差来源，以及如何评估和调整校准结果以减小误差。

4.结果验证：说明了如何验证校准结果的准确性，并与其他方法进行比较以确定其可靠性。

ISO11952:2019ENSurfacechemicalanalysis—Scanning-probemicroscopy—DeterminationofgeometricquantitiesusingSPM:Calibrationofmeasuringsystems为扫描探针显微镜用户提供了有关如何准确、可靠地使用该技术进行表面化学分析的指导。它为测量系统的校准提供了详细的方法和步骤，以确保结果的准确性和可靠性。

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