- 现行
- 正在执行有效
- 2023-06-07 颁布
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基本信息：
- 标准号：IEC TS 62607-6-7:2023 EN
- 标准名称：纳米制造-关键控制特性-第6-7部分：石墨烯-片电阻：范德堡方法
- 英文名称：Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 6-7: Graphene - Sheet resistance: van der Pauw method
- 标准状态：现行
- 发布日期：2023-06-07
文档简介
1.定义和术语：该部分定义了与石墨烯片电阻测量相关的术语和概念，例如“单层石墨烯”、“双层石墨烯”、“石墨烯薄膜”、“电阻率”等。
2.测量原理：介绍了vanderPauw方法的原理，这是一种用于测量二维材料电阻的经典方法。这种方法通过在样品上放置一系列正方形或圆形导电通孔，并使用电流和电压测量来确定电阻值。
3.测量设备：该部分描述了用于执行vanderPauw方法测量的设备，包括电流源、电压表、微机械加工和制造技术所需的设备等。
4.测量步骤：详细说明了vanderPauw方法的测量步骤，包括准备样品、放置导电通孔、连接电路、进行电流和电压测量、数据处理和分析等。
5.结果解释：该部分解释了如何根据测量结果解释石墨烯的电阻率，包括单层、双层石墨烯的电阻率范围以及如何根据电阻率值对石墨烯的质量和缺陷进行评估。
6.控制措施：介绍了如何通过控制石墨烯生产过程中的参数来控制电阻率，包括温度、压力、气氛、沉积时间、沉积速率等。
7.数据记录和报告：该部分强调了数据记录和报告的重要性，包括原始数据的记录、测试方法的描述、结果的分析和解释、结论和建议等。
以上是IECTS62607-6-7:2023ENNanomanufacturing-Keycontrolcharacteristics-Part6-7:Graphene-Sheetresistance:vanderPauwmethod标准的具体内容。执行该标准需要具备一定的材料科学、微纳米制造技术
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