【正版授权】 IEC 60050-523:2018/AMD1:2019 EN-FR Amendment 1 - International Electrotechnical Vocabulary (IEV) - Part 523: Micro-electromechanical systems (MEMS)

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标准号：IEC 60050-523:2018/AMD1:2019 EN-FR
标准名称：修订案1-国际电气技术词汇（IEV）-第523部分：微机电系统（MEMS）
英文名称：Amendment 1 - International Electrotechnical Vocabulary (IEV) - Part 523: Micro-electromechanical systems (MEMS)
标准状态：现行
发布日期：2019-10-17

IEC60050-523:2018/AMD1:2019EN-FRAmendment1主要涉及到的是国际电气技术词汇表（IEV）的第523部分，即微机电系统（MEMS）。该部分涉及到的内容包括了MEMS的标准化定义，及其相关的物理，机械，电子和系统层面的基本原理和技术。具体内容包括了以下要点：

*MEMS的定义：微电子机械系统是建立在微米或纳米技术上的机械系统，结合了微型传感器，执行器以及信号处理设备，在特定环境中有着重要的作用。

*MEMS的工作原理和技术：MEMS的工作原理基于物理效应，如压电效应，热电效应等，通过微型结构将这些效应转化为机械运动，从而实现功能。同时，MEMS技术还包括了微加工技术，纳米制造技术等。

*MEMS的应用领域：MEMS在医疗，工业，消费电子等领域有着广泛的应用。例如，微型传感器可以用于检测气体，液体，生物等；执行器可以用于控制微流体；微机械太阳能电池可以提高能源效率等。

此外，IEC60050-523:2018/AMD1:2019EN-FRAmendment1还对MEMS的相关术语和符号进行了定义和规范，以确保其在不同领域和系统中的一致性和准确性。总的来说，IEC60050-523:2018/AMD1:2019EN-FRAmend

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