SMT设备数据采集SEMI通讯指令介绍

SMT设备数据采集SEMI通讯指令介绍SECSGEM框架介绍(2)2.SECS-II消.息分类及功能(4)4.HSMS介绍(7)3.1.HSMS报⽂格式(8)3.2.HSMS的状态(14)3.3.HSMS的通信流程以及超时处理(15)GEM型介绍(18)GEM态模型(19).2.GEM定义的⽣产设备能⼒(23)数收集(24)告收集(24)9)2))6.2.获取⽣产设备的状态参数(33))))1.SECS/GEM总框架介绍SEMI通信标准模型SECS/GEM定义了半导体⽣产设备与主机之间、各⽣产设备RHSMSTCPIP(261:SECS-II定义了半导体⽣产设备与主机之间消息的通信格式、规范与内容；GEM则定义了半导体⽣产制造过程中的通⽤情景下的交互⾏为整个标准型如图2-1所⽰，这些标准为别定义在E4、E5、E30、E37的SEMI标准编号中其中通信内容包括设备状态、设备控制、物料状态、物料控制、过程处理、配⽅管理、报警事件处理等。了⼀套通⽤的半导体⽣产设备⾏为、交互机制和典型的应⽤情景。每层协议所实现的功能如下图2am的含义。表2-1部分消息分类以及活动定义treammStream备报警的相关内容；m送的报告信息；Stream管理；m1)S1F3是主机要求获取⽣产设备的状态参数；2)S1F4则是由⽣产设备把状态参数返回给主机；3)S1F17是主机要求⽣产设备ONLINE；4)S1F18则是返回ONLINE的结果。MLSML⽰：Type与数据类型的对应关系请见表2-2.t以下是⼀些具体的例⼦，如S5F1(报警报告)由设备送往服务器的消息由SML语⾔描述后为：>.4.HSMS介绍HSMS中包含以下七种服务：1)建⽴通过TCP/IP连接的主机与⽣产设备或是各⽣产设备之间的通信。2)建⽴以及维护通过SECS信息交换数据的会话协议。3)通过TCP/IP交换数据。4)识别通信中的错误条件。5)在确认连接双⽅不再需要TCP/IP协议时结束通信。6)通过连接测试来确认通信连接的完整性．7)对于不兼容标准消息予以丢弃。nSECS3.1.HSMS报⽂格式SECSIIHSMSHSMS所⽰： (4字节)(占⽤10个字节)SECS-II信息图2-4HSMS报⽂格式HSMS报⽂由3部分组成：1)前4个字节包含了整个HSMS消息的长度信息(消息长度是包含了消息SMS不同的消息类型以及消息的基本信息。可包含4G的数据信息其中HSMS报⽂头10个字节的含义如下表2-3所⽰：科技⼤学硕⼠学位论⽂S为SECS-II信息。它值的时候表⽰HSMS消息为控制消息。如下表2-4所⽰：gersp表2-5HSMS消息类型结构其中00000000A表⽰的是控制消息的长度为⽤个字节。S巧为0表⽰此消息为数据消息。在HSMS消息头之后紧接着的就是SECS-II的消CSIITCPIP再把SECS-II消息体的内容取出来。下图2(a)(b)所⽰的是HSMS-SS数据消息中连接⼀⽅所发送的S1F1SECS-II消息的例⼦。3.2.HSMS的状态图2-9HSMS状态转换不能通过HSMS协议传输SECS-II数据。S下表2-6还显⽰了这⼏个状态之间的触发条件：表2-6HSMS选择流程CTEDSSELECTEDSECSII3.3.HSMS的通信流程以及超时处理HSMS的通讯过程分为以下⼏个流程：ve为服务器端侦听来⾃⽣产设备的连接请求⽤以建⽴连接。SECSHSMSSELECTED。SELECTEDHSMS成才可以进⾏SECS数据交换。如果收到的回应的状态不为0，Select过程失败。请求可以在TCP/IP协议连接建⽴后(状态为CONNECTED后)的任何时间执⾏。常是在断开TCP/IP连接之前⾸先结束HSMS会话。为NOTSELECTED。T5。SPIP这些分段发送的数据需要经过较长的时间才能完全传送完整。⾎T8则是对这个时间进⾏计时，如果消息传送时间⼤于T8并且HSMS的通信流程模型可以通过下⾯的图形2-10到2-13表⽰出来：图2-11数据消息通信流程图2-13控制消息断开通信流程5.GEM标准模型介绍加以规范化。在这些规范化的模型中，GEM标准定义了主机与⽣产设备通信的最基本的实容。备的通信状态模型。2)控制状态模型。3)设备的⽣产过程模型。其它额外的功能包括：5)参数收集。6)跟踪数据收集。7)状态数据收集。8)报警管理。)远程控制。序管理。端服务。产企业与不同的供应商做不同的通信软件及接⼝。GEM标准的提出简化了半导体⽣产制造⼯⼚C